Устройство для резки пластин полупроводниковых материалов

Устройство для резки пластин полупроводниковых материалов

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

На чертеже дана кинематическая схема предлагаемого устройства для резки пластин полупроводниковых материалов.

Устройство состоит из корпуса 1 с направляющими 2 и неподвижно закрепленным ходовым винтом 3, снабженным гайкой 4 для продольной подачи, жестко связанной с червячным колесом 5 и винтовой шестерней 6. Червячное колесо 5 входит в зацепление с червяком 7, являющимся приводом подачи, а винтовая шестерня 6 входит в зацепление с винтовой шестерней 8, которая жестко закреплена на ходовом винте 9 поперечной подачи, связанном с салазками 10 при помощи опор 11 вращательного движения. Ходовой винт 9 поперечной подачи взаимодействует с гайкой 2, жестко связанной с узлом 13 крепления детали. Узел 13 крепления имеет указатель

14, а на корпусе салазок 10 закреплена линейка 15. Алмазный круг 16 установлен на шпинделе разрезного станка (на черт. не показан). Ходовые винты 3 и 9 выполнены с резьбой различного направления.

Работает устройство следующим образом.

На узел 13 крепления наклеивают разрезаемую пластину и устанавливают относительно алмазного круга 16. Вращением червяка 7 сообщается вращение червячному колесу 5, жестко связанной с ним гайке 4 и винтовой шестерне 6 и от нее винтовой шестерне 8. Последняя вращается с винтом 9 поперечной подачи в опорах 11.

Так как опоры 11 жестко связаны с гайкой 4, а сама гайка перемещается в противоположную сторону относительно на617271 правления перемещения салазок 10, величина перемещения отсчитывается по шкале 15.

Предлагаемое устройство позволяет ис5 пользовать отрезные круги при их одиночной установке на отрезном станке с достижением высоких точностей при раскрое изделий или прорезке пазов порядка 5 мкм, при точности отсчета по линейке 0 05 мм и

10 угле разворота, равном 5 46 .

Формула изобретения

Устройство для резки пластин полупроводниковых материалов, содержащее кор15 пус с ходовым винтом, снабженным гайкой для продольной подачи, салазки, расположенные относительно корпуса под углом и снабженные ходовым винтом и гайкой для поперечной подачи, связанной с узлом

20 крепления детали, а салазки связаны с гайкой продольной подачи, привод, отл ич а ю щ ее с я тем, что, с целью повышения точности и производительности устройства, ходовые винты выполнены с противоположным направлением резьбы, при этом винт корпуса установлен неподвижно, а гайка для продольной подачи, снабженная приводом подачи, кинематически связана с винтом салазок, имеющим возможность вращательного движения в опорах.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР № 327074, кл. В 28D 1/18, 1970.

2. Телинкичиев В. К. Металлорежущие станки. М., «Машиностроение», 1973, с. 31.