Способ изготовления металлических мелкоструктурных сеток

Способ изготовления металлических мелкоструктурных сеток

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

(. "

ОП ИСАЙИ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДИТИЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик (61) Дополнительное к авт. свил-ву (22) Заявлено 15,03;76 (21) 2356387/22-02

/08 с присоединением заявки № (23) Приоритет (43) Опубликовано 05.08.78. Бюллетень № (45) Дата опубликования описания 22.06.7

Государственный камнтет

Совета Мнннстроа CGCP оо делам нзобретеннй н открытнй (72) Авторы изобретения

Л. В. Воробьев, Г. В. Петрова, 3. И. Сотникова и Н. К. Кандалов (71) Заявитель (54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ МЕЛКО—

СТРУКТУРНЫХ СЕТОК

Изобретение относится к гальванопластическому изготовлению металлических мелкоструктурных сеток.

Известен способ изготовления металлических сеток, включающий создание на металлической матрице сетчатого рельефа, изоляцию поверхности матрицы между углублениями, нанесение разделительного слоя, электроосаждение слоя металла и удаление матрицы механическим путем или химическим растворением (1).

Наиболее близким к изобретению является способ получения металлических мелкоструктурных сеток путем электролитического осаждения слоя металла на сетчатую матрицу, материал которой не образует химических соединений с осаждаемым металлом, и последующего удаления матрицы выплавлением (2) .

Однако известные способы не позволяют получать мелкоструктурные сетки из тугоплавких металлов с размером ячеек 1 — 3 мкм и плотностью отверстий до 10 на см .

Предложенный способ устраняет этот»едостаток эа счет того, что при электролитическом осаждении металла па сетчатую матрицу, материал которой не образует химических сое- g5 динений с осаждаемым металлом, последний осаждают послойно при толщине слоя 1 — 2 мкм и проводят промежуточный отжиг в вакууме или инертной атмосфере при температуре равной 1,1 — 1,2 температуры плавления матрицы для ее удаления.

При отжиге происходит диффузия и испарение материала матрицы через слой тугоплавкого металла.

При этом уплотняется структура сетки и снижаются внутренние напряжения в электролитически осажденном металле.

В соответствии с предложенным способом в качестве исходной матрицы используют металлическую сетку, например медную, с размером ячеек 7 —,15 -мкм и шагом 10 — 20 мкм. На обезжиренную матрицу электролитически осаждают слой тугоплавкого металла. Осаждение металла происходит с двух сторон. После наращивания слоя в 1 — 2 мкм матрицу с покрытием отжигают в вакууме или инертной среде при температуре равной 1,l — 1,2 температуры плавления материала матрицы, в результате чего материал матрицы удаляется испарением через слой тугоплавкого металла. Многократным

618457

1966.

Составитель Л. Казакова

Техред A.Àëàòûрев

Корректор Н. Тулина

Рена:<тор М. Васильева

Заказ 4218/25 Тираж 738 Подлиснос

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР ло делам изобретений и открытиЯ

113035. Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал П!1П "Патент". г. ужгород, ул. Проекпгая, 4 повторением операций осаждения и отжига материал матрицы полностью удаляют,: а размер ячеек сетки доводят до 1 — 3 мкм с получением плотности отверстий до 10 на 1 см, Пример. Для получения рениевой сетки использовали трубчатую матрицу иэ мед- 5 ной сетки с размером ячеек 7 — 15 мкм и шагом 10 — 20 мкм, На очищенную матрицу осаждали рений из электролита состава, г/л:

Перренат аммония 9 1О

Серная кислота 25

Сульфат аммония 50 при температуре 50 С и плотности тока 20 a/дм с наложением ультразвуковых колебаний частотой 16 кг при использовании двух анодов в !5 результате чего осаждение рения происходило с двух сторон. После осаждения слоя толщиной

2 мкм проводили отжиг матрицы с покрытием . в среде водорода при температуре 1200 С в течение 15 мин. При этом атомы меди диффун- 20 дируют на поверхность осажденного металла и испаряются, а осажденный слой металла уплотняется и происходит снятие внутренних напряжений.

Операции осаждения металла и отжига по- 25 вторяли до получения трубчатой рениевой сетки с размером ячеек 2 — 3 мкм при плотности

106 на см и площадью сечения 10 мкм, причем примеси меди не превышали 0,3%.

Таким образом предложенный способ в 30 отличие от известных позволяет получать мелкоструктурные сетки из тугоплавких металлов с размером ячеек 1 — 3 мкм и плотностью отверстий до 10 на см, которые могут применяться в радиоэлектронике и других областях техники.

Формула изобретения

Способ изготовления металлических мелкоструктурных сеток путем электролитического осаждения металла на сетчатую матрицу, материал которой не образует химических соединений с осаждаемым металлом и последующего удаления матрицы, отличающийся тем, что, с целью получения сеток из тугоплавких металлов с размером ячеек 1 — 3 мкм и плотностью отверстий до 10 на см, тугоплавкий металл осаждают послойно при толщине слоя 1 — 2, мкм с промежуточными отжигами в вакууме или инертной атмосфере при температуре равной 1,1 — 1,2 температуры плавления матрицы для ее удаления.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе:

1, Патент ФРГ М 1212815, кл. 48 а, 7 — 00, 2, Б. Я. Казначей. Гальванопластика в промъппленности, Государственное издательство местной промышленности РСФСР, М., 1955, с. 117—

119, 122 — 126.