Катодный узел

Катодный узел

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Союз Советских

Социалистических

Республик

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЙИЛЬСТВМ!

f

< (61) Дополнительное к авт. свил-ву (22) Заявлено30,12.76 (21) 2437753/18-21 с присоединением заявки Мо (23) Приоритет

Государстоенный комитет

Совета Миностроо СССР оо делам изобретений и открытий (43) Опубликовано 25.08.78,Бюллетень М 3 (45) Дата опубликования описания 12.07.78 (72) Авторы изобретения Б. И. Андреев, В. П. Ефимов и E. Ю. Музалев (71) Заявитель (54) КАТОДНЫЙ УЗЕЛ

Изобретение относится к области нанесения покрытий в вакууме и может найти применение при изготовлении тонкопленочных покрытий сложного состава.

Известна конструкция катодног узла, где катод вь<полнен из сплава соответствующих материа лов (1)

Недостатком такого устройства является то, что не всегда можно приготовить сплав из необходимь<х исходных материалов.

Наиболее близким к предлагаемому по технической сущности является катоднь и узел преимущественно для нанесения многокомпонентных покрь<тий катоднь м распылением, содержащий водоохлаждаемое основание с размещеннь<ми на нем мише— нями из основного и легирующих материалов.

Цель изобретения — обеспеченис е30 <можности регу <иронания co<:òàâà покрь<тля.

Это достигается т-.м, что в катодНоМ узле преимущественно д <я нанесения многокомпононтных покрытий катодным распылением, соаержащего вопоохлаждаемое основание с размещенными HB нем мишенями из основного и легирующих материалов, мишень из основного материала выполнена в < иде двух перфорированных пластин, установленных с возможностью перемещения относител но друг друга над мишенью из легирующе! о материала, 1о На чертеже представлена конструкция катодного узла.

Мишень 1 из легирующего материала, например хрома, размещена на охлажденном основании 2, мишени 3 и 4 выполнень< из основного материала. В них сделаны расположеннье в шахматном поряаке отверст«я, мишени 1 и 3 неподвижны, а ми пень 4 может перемещаться за счет

20 жесткого ирикрепл енного к н ей стержня

5. Для устранения влияния границ миц HH 4 HB состав покрьтия исп0льзуется кварцевый экран 6 с отверстием.

Стержень 5 защищен от ps<.ïüëåíèÿ м

25 таллическим экраном 7.

620513

Составитель А. Хахлов

Редактор Н. Хлудова Техред 3 Фанта

Корректор С. Патрушева

3аказ 4599/20 Тираж 1177 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений н открьтий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., ц. 4/5 филиал ППП Патент", r, Ужгород, ул, !!роектная, 4

Устройство работает следующим образомм.

Когда отверстия в мишенях 3 и 4 полностью совпадают, идет совместное распыление основного и легирующего материалов. При этом содержание легиру|рщего материала в покрытии является наибольшим. По мере движения мишени 4 отверстия в мишени 3 закрываются, Площадь распыления мишени 1 иэ легирующего материала уменьшается, соответствен10 но уменьшается содержание легирующего материала в покрытии. Когда мишень 4 сместится, все отверстия в ми шекии 3 будут полностью закрыты и будет распыляться только мишень из основного материала.

Предлагаемый катоцный узел может найти применение при изготовлении различных тонкопленочных приборов, например,, в микроэлектронике при соэдднии полупроводниковых приборов, когда необходимо иметь покрытия сложного состава с изменением процентного содержания легирующей примеси по толщине покрь° тия.

Формула изобретения

Катодный узел, преимущественно цля нанесения многокомпонентных покрытий катодным распылением, содержащий водоохлаждаемое основание с размещенными на нем мишенями из основного и легирующих материалов, о т л и— ч а ю а и и с я тем, что, с целью обеспечения возможности регулирования состава покрытия, мишень из основного материала выполнена в вице двух перфорированных пластин, установленных с возможностью перемещения относительно друг друга над мишенью иэ легирующего материала.

Источники информации, принятые во внимание-при экспертизе:

1. Авторское свидетельство СССР

М 491734, С 23 С 15/00, 1975.

2. Патент ФРГ № 1515314, кл. С 23 С 15/00, 1973.