Светочувстивтельная негативная композиция

Светочувстивтельная негативная композиция

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕ Н Ия

М Авт ОееСКОМу СВИдВТИЛЬС7ВМ ())) 622036

Мюз Советских

Сомали сти нескин

Республик (6l) Дополнительное к авт. свид-ву(22) Заявлеио26,03.76 (2l) 2338004/23-04 с присоединением заявки №вЂ” (23) Приоритет— (43) Опубликовано 30.08.78ДЗюллетеиь № 32 (45) Дата опубликования описания17.07,78 (51) М. Кл. .G 03 С 1/68

Гвоудврственный ноннтет

Саввтв йтнннотров СССР во делан нзоорвтеннй и открытий (53) УДК 771.5 (088.8) Л. К. Бурыкина, Г. С. Былина, И. П. Зятьков, В. В. Григорьев и Й, И. Сагайдак (72) Авторы изобретения (71) Заявитель (54) СВЕТОЧУВСТВИТЕЛЬНАЯ НЕГАТИВНАЯ

КОМ ПОЗИ LIH Я

Изобретение относится к светочувсгвительным негативным композициям, используемым при производстве печатных плат и интегральных микросхем в фотолитографии.

Известна светочувствительная негативная композиция, включаюшая светочувствительный сополимер стирола и аллилового спирта, модифициоованный хлорангидридом фуранкарбоновой кислоты, сенсибилизатор-4,4 -бис (диметиламнно)

1 ,бензофенон и органический растворитель, например хлорбензол 1).

Недостатком извес. гной негативной композиции является ее низкая светочув ствитепьность.

Цепь изобретения — повышение светочувствительности негативной композиции.

Поставленная цель достигается тем, что предлагаемая светочувствительная негативная композиция, вклкчаюшая светоI чувствительный сополимер стирола 4,4бис (диметипамино) бензофенон и хлорбензоп, в качестве светочувствительного сопопимера стирола содержит сополимер стирола н П -формилстирола при следуюшем соотношении компонентов, вес 96:

Сополимер стирола

H fl -формилстирола 3-5

5 4,4-бис-(диметипамино) беизофенон О, 1-0,2

Хлорбензол Остальное

Предлагаемая композиция обладает повышенной светочувствительностью, вхо10 дяший в ее состав сополимер стирола и тт-формилостирола дешев и доступен.

Пример 1. Получение сополимера стирола и fl-формилстирола.

1,00 r (0,008 моль) П-формилстит5 рола; 1,42 г (0,014 моль) стирола;

0,0096 r (0,025 моль/л) динитрипа азоизомаспяной кислоты к 0,012 r (0,025 моль/л) додецилмеркаптана помешают в ампулу, подсоединенную к фор2о вакуумному насосу. Из реакционной смеси удалятот воздух, ампулу заполняют азо том. Сополимеризацию пооводят в термостате при 70 р 0,05 С в течение

4,5 ч. По окончании реакции ампулу ох>5 лаждают, содержимое растворяют в бен622036 4.

Травление алюминия проводят горячей (85 С} ортофосфорной кислотой. Композиция проявляет удовлетворительную стойкость к травителю в течение 8-10мин, получены вытравленные рельефы.

Предлагаемая композиция обладает, -4 - -4 светочувствительностью 1 ° 10 лк с что на порядок выше светочувсгвительиости композиции-прототипа.

Кроме того, предлагаемая композиция и-1О обладает хорошей адгеэией к алюминию и хорошей стойкостью к ортофосфорной и- кислоте, может использоваться в качесгое. ве негативного фоторезиста при nposasoA» стве печатных плат, и микросхем. золе н высаждают 5-6-кратным избытком метилового спирта. Сополнмер суша до постоянного веса.

Выход сополимера 1,84 г (76%) °

С6попимер представляет собой белый аморфный порошок. Содержание звеньев формилсткроле 37,2 мол.%. Мол.вес обра ца 35,5 10 .

Пример 2. Получение негативно работающего защитного слоя.

Готовят светочувствительную композ цию следукпцего состава, вес.%: светочувствительный полимер 3-5, сенсибил затор 0,1-0,2, растворитель - остальн

На обезжиренную кремниевую подлож ку с напыленным слоем алюминия наносят1> методом центрифугирования при 2,5тыс. об/мнн. слой полимерной композиции толщиной 0,15-0,20 мкм. Слой высушивают в течение 10 мин при комнатной температуре и 20 мин при 75-80оС.

Экспонирование фотослоя проводят методом контактной печати лампой ДРШ-250 на установке экспонирования и совмешения УСП-02 при освещенности 2025 тыслнжс в течение 30-35 с.

Проявление изображении осуществляют погружением в раствор хлорбензола иа 2 мии и высушнванием струей .воздуха. Качество йэображения контролируют с помощью микроинтерферометра

МИИ-4, Разрешающую способйость светочувствительной композиции онределяют с помощью штриховой миры (100 линий/мм

Получено четкое разрешение линий во всех элементах миры.

Сушку йроявленного слоя (задублива ние),Ъсушествляют ступенчато: в течение 10 мин нри 110 С и затем 15 мян

npN 130 С.

Формула изобретения

Светочувствительная негативная композиция, включающая светочувствительный сополимер стирола, 4,4-бис-(диметиламино) бензофенон и хлорбензол,о т л ич а ю щ а я с я тем, что, с целью повышения светочувствительностн композиции, в качестве светочувствительного сополимера стирола композиция содержит сополнмер стирола и гг -формилстирола при следующем соотношении компонентов, вес.%:

Сополнмер стирола и it -формилстирола

3-5

4,4-бнс(днметиламйно), бенэофенон

Хлорбенэол

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе:

1. Патент США No 3738973, кл. 260-47, 1973, Составитель A. Круглов

Редактор А. Соловьева Техред О. Андрейко Корректор С. Шекмар

Заказ 5007/6 Тираж, 564 Подписное

БНИИПИ Гегударственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент, r. Ужгород, ул. Проектная, 4