Преобразователь механических величин

Преобразователь механических величин

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОЛ ИСАКИИ

И ЗОБРЕТЕ ЙИЯ

Союз Соеетскиа

Социалистических

Республик (11} Ваэааа

К АВТОРСКОМУ СВИДВТВЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22} Заявлено05.07.76 (21) 2378805/18-10 с присоединением заявки ¹ (23) Приоритет (43) Опубликовано05.09.78.бюллетень ЭЙ 33 (45) Дата опубликования описания 26.07.78 (51} М. Кл.

&01 Ь 1/22

Гевудвратвевный цветет

Сввете Иеееетрее ССО ев девеи евебрететеМ н еткевпее

РЗ) УДК 5З1.781 (088.8) (72) Авторы изобретения (71) Заявитель (54) ИРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ МЕХАНИЧЕСКИХ ВЕЛИЧИН

Цель изобретения — уменьшение теае нер«турной погрешности.

Эта цель достигается за счет того, что в нем термоэлектрические элементы

% тепла и холода выполнены в виде тонких пленок, а терморезистор и тензорезистор

:расположены между ними.

На чертеже представлен преобразователь механических величин.

Йреобразоватещ содержит чувствительный элемент 4, на котором сформированы термоэлектрические элементы 2 и 3 тепла и холода в виде тонких пленок, между которыми заключены тензореэистор 4 и термореэистор 5, изолированные друг от друга, а также от чувствительного элемента и окружающей среды тонкими пленками диэлектрика 6-9. В цепь термоэлек трических элементов 2 и 3 включен регулирующий элемент 10, а в цепь тенэорезистора 4 - измерительный прибор 11, Чувствительный элемент l воспринимает воздействие изменяющейся механической величины. От тензорезистора 4, 25 расположенного в области максимальной

Изобретение относится к области кон- трольно-измерительной техники, в частно сти к системам приборов и средств автоматизации для получения информации о величине измеряемых механических параметров, и может быть использовано для измерения давления жидкости и газа, упругих сил и вибрации на изделиях космической, авиационной и судостроительной техники.

Известнттй тензорезистор с температурной стабилизацией, содержащий упругий элемент, теиэорезистор и терморезистор, не обеспечивает необходимой температурной стабилизации тенэорезистора )if .

Наиболее близким по технической сущности является преобразователь механических величин, содержащий чувствительный элемент, на котором сформированы тензорезистор и термореэистор, соединенный с регулирующим элементом, выход которого подключен к термоэлектрическим элементам тепла и. холода f2).

К недостаткам известного преобразователя относятся значительные температурные погрешности.

П. Н. Богатов, В. Н. Борщев, Э. Б., Манышев. и А. И. Яковлев погрешность, а также увеличивают быстродействие преобразователя.

Формула изобретения

Преобразователь механических величин, содержащий чувствительный элемент, на котором сформированы тензорезистор и терморезистор, соединенный с регулирующим элементом, выход которого под ключен к термоэлектрическим элементам тепла и холода, и измерительный прибор, отличающийся тем, что, с целью уменьшения температурной погрешности, в нем термоэлектрические элементы тепла и холода выполнены в виде тон«ях пленок, а терморезистор и тензорезистор расположены между ними.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе.

1. Авторское свидетельство СССР

М 434284, кл. G 01 Q 1/18, 1972.

2. Материалы 1У конференции по полупроводниковой тензометрии, 22-27 сентября 1969 r.,éîëóïðîâîäíèaîâàÿ теи-. зометрия Львов, 1971, с. 123-126, Ф

3 623 120 деформации чувствительного элемента„ выходной сигнал поступает на измерит льный прибор" 11. Величина сигнала зависит не только от величины деформации чувствительного элемента, но и от температуры, при которой находится тензоре- g зистор.

Терморезистор S, находящийся s ана;логичных условиях с тензорезистором 4, выдает сигнал на вход элемента 10, который изменяет величину и направление f0 тока в цепи термоэлектрических .элементов тепла и холода 2 и 3, поддерживая постоянную оптимальную температуру тензорезистDp&, Миниатюрные размеры тензорезисто- 1s ра позволяют достичь высокой однородности поля температур в области его расположения. Малые массы термоэлектричес-

/ ких элементов тепла и холода, тензорезисторов, терморезистора и тонкие изоля- 26 ционные слои обеспечивают высокое быстродействие преобразователя механических величин.

Тонкопленочное йсполнение и миниатюризация размеров упрощают конструкцию, 25 уменьшают вес, габаритные размеры, потребляемую мощность, температурную

Х ф

Составитель А. Н овиков

Редактор О. Филиппова ТехредИ. Климко Корректор А. Власенко ,Заказ 4896/41 Тираж 1112 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-З5, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП Патент, г. Ужгород, ул. Проектная, 4