Способ нанесения покрытий из неорганических материалов

Способ нанесения покрытий из неорганических материалов

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

6."". нс т8. яз-:есня б-

Союз Советских

Социапмстмческмх

Реслубпмк (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 1 4.08. 76 (Я) 2167816/22-02 (Я) М. Кл.

23 С 11/08ii

//С 03 С 17/00 с присоединением заявки ¹ (23) Приоритет(43) Опубликовано 26.09.78Бюллетеиь РА35 (45) Дата опубликование описания 06.69.78

ГвоудоРотееннме хометет

608ото ИикеотРоо СССР оо делом кзооретеей и открытий (бЗ) УДК621.793..4 (088,8) B Г. Буткевич, B. й. Senses, С. И. Васильев, М. LL данчев и Н. И. Экивоата (73) Заавитель

Изобретение относится к способам нанесения покрытий, в частности, иэ неорганических материалов, путеМ термического разложения химических соединений на нагретой поверхности, оно может быть использовано в электронике и электротехнике при изготовлении изделий с электропроводящими пленка и и.

Известен способ нанесения пленок из неорганических материалов путем разложения на нагретой поверхности изделий паров реагентов, транспортируемых во вращающуюся камеру осаждения сжатым воздухом или другими газами (1}.

Известен также способ нанесения покрытий на нагретую поверхность иэделии, включающий диспергирование жидких реагентов с помощью ультразвукового генератора и подвод диспергированной жидкости к нагретой поверхности изделий I2)

Данные способы относительно просты в аппаратурном оформлении, однако не обеспечивают получения однородных по составу покрытий, особенно при осаждении на внутреннюю поверхность трубчатых изделий.

Наиболее близким по технической сущности к предлагаемом) является способ на2 несения покрытий из неорганических материалов на внутреннюю поверхность трубчатых изделий путем подачи раствора реагентов вдоль покрываемой поверхности,нагретой выше температуры разложения реагентов j3). По данному спскобу раствор реа.

S гентов постоянно самотеком движется вблизи нагретой подложки, за счет теплоизлучения последней испаряется и разлагается на ее поверхности с образованием покрытия.

Однако этим способом получают покрытия с относительно высокой неравномерностью, достигающей 45%.

Целью изобретения является повышение равномерности получаемого покрытия.

Поставленная цель достигается тем, что раствор реагентов циклически перемешают

is относительно покрываемой поверхности с по. мощью возвратно-поступательного движения плунжера-носителя.

Предлагаемый способ обеспечивает повышение равномерности получаемого покрытия (неравномерность его не превышает 5% при толщине около мкм). Кроме того, сушественно повышается однородность свойст покрытий, в частности электросопротивлеиия, по длине иэделия. Способ прост в аппара