Устройство для каталитического оксидирования металлов и полупроводников

Устройство для каталитического оксидирования металлов и полупроводников

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОП ИКАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К ЛВтОРСКОМ СВИДатВЛЬСтВ (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 20.04.77 (21) 2484849/29-0 с присоединением заявки №

Гпсударственн1нй камнтет

Соната Мнннстров 1:CC1I пв делам нзвбрвтеннй н вткрытнй (23) Приорнтет—

8. (43) Опублнковано25.10.78.Бюллетень № 3

:,"6; Дата оп lбликова??ия аннсанкя23М7Х (088.8) В., Отрт ков ? 1-1, П i нэк?ц е а (72) Лвторы изобретения

Воронежский политюхни .еокий инотитут (71) Заявитель

С, (54) YCT}>OAC I PO, IH KAT, 11 ? И 1 С 1 0I 0

ОКСИЛИРОВАНИЯ МЕТА, 1:1ОВ 4 ПОЛУПРОВОЛНИКОВ

Изобретение относится к устройствам для окисления металлов и полупровол;щков, в частности для тепмического оксидирования в присутствии катализаторов.

Известна печь для ведения металлургических, химических и тепловых процессов, содержащая колпак, патрубки !. oäâîäà и отвода газа, размещенные на разных уровнях, и нагреватель (1).

Цель изобретения — упростить констр. ;;— цию и обеспечить безопасность при работе с окисляемым веществом.

Это достигается тем, что устройство снабжено механизмом прижима катализатора к образцу, размещенным на нагревателе и выполненным в виде стойки с кольцом и груза, а колпак выполнен из стекла.

На чертеже дана принципиальная схема предлагаемого устройства.

Нагревательная печь смонтирована va основании 1, расположенном на стойках 2.

Ввод термопары 3, трубок 1 и 5 подвода и отвода газа, стоек 6 для подвода электроэнергии и крепления нагревательного элемента 7 под стеклянным колпаком 8 осуществляется через отверстия в основании 1, которые уliлотняются с юх;ощью резиновых прокладок. ,.тск.,я" пь и колпак 8 печи с помощью устройства. вклю аюшего прижих1 9, прокладку 10 и пружины 1, прижимается к резиновой прокладке 2. Контакт катализатора

s !3 с окислясмым образцом 14 обеспечивает устройство, состоящее из стойки 15 с кольцом 16. у, ерживаюцн1м груз 17, прчжимающ1гй катализатор 13 к образцу 14.

Устройство работает следующим обра4 Q зом.

М11крокох?прсссор 18 подает через трубк. 4 воздух внутрь стеклянного колпака 8.

Г!оступа?оц?ий? воздух удаляется после циркуляции пол тек 1янным колпаком через трубку 5 < твола li промывную склянку 19,15 заполнепн ":; полой. T(ìiII ðàòóðà реакционного простра1ства печи поддерживается постоянной с помощью автоматики блока питания нагревателя 20 и потенциометра 21 в интервале 20 — 700" С с точностью + 10 С.

Наблюдение з-. ходом химического взаимодействия осуществ 1яется визуально с помощью осветителя 22 с блоком питания 23.

Безопасность при работе с окисляемым веществом, например GaAs, достигается тем, 629428

Формула изобретения

Составитель Г. Кибовский

Редактор Т. Фадеева Техред О. Луговая Корректор Д. Мельниченко

Заказ 6055/36 Тираж 767 Поднисное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб. д. 4/5

Филиал ППП «Патент», г. Ужгород, ул. Проектная, 4 что пары мышьяка, образующиеся при термическом разложении образцов 14 арсенида галлия, не удаляются за пределы используемой печи, а конденсируются на внутренней поверхности стеклянного колпака 8. Конденсация мышьяка обусловлена тем, что стеклянный колпак имеет более низкую температуру, чем нагревательный элемент и окисляемый образец.

Коэффициент полезного использования подаваемой на печь электроэнергии достаточно велик (60 — 80 /o), поскольку, кроме образцов и катализатора, другие элементы печи не подвергаются специальному нагреву, а теплоотвод от нагревательного элемента 7 по стойкам 6 и за счет теплового излучения при температурах до 700 С невысок.

При использовании предлагаемого устройства упрощается конструкция печи для термического окисления металлов и полупроводников; обеспечивается возможность проведения окисления при низких температурах и увеличивается коэффициент полезного использования подаваемой на печь электроэнергии; обеспечивается равномерное перемешивание газа в реакционной зоне; достигается безопасность при работе с окисляемым веществом.

Устройство для каталитического оксидирования металлов и полупроводников, включающее печь с колпаком и патрубками подвода и отвода газа, размещенными на разных уровнях, внутри которой установлен нагреватель, отличающееся тем, что, с целью упрощения конструкции и обеспечения безопасности при работе с окисляемым веществом, оно снабжено механизмом прижима катализатора к образцу, размещенным на нагревателе и выполненным в виде стойки с кольцом и груза, а колпак выполнен из стекла.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе:

1. Авторское свидетельство СССР № 199833, кл. F 27 В 5/00, 1965.