Способ изготовления высокотемпературных тензодатчиков

Способ изготовления высокотемпературных тензодатчиков

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Союз Соватскин

Социалистическин

Республик 636473

{6l) Дополнительное к авт, свид-ву

{22) Заявлено 05.04.76 {21) 2343866/25-28 г (5!) 14. Кл, G 01 В 7/18 с присоединением заявки

{23) Приоритет

Госудвротвеннвй Квинтет

Совета Инннотров СССР но делам нэооретеннй н откРь4тнй (43) Опубликовано 05.12.78.Бюллетень %45 (53) УДК 531.781.,2 (088.8) (45) Дата опубликования описания 18.12.78

C, A. Васильев (72) Автор. изобретения (71) Заявитель

{54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЙ ВЫСОКОТЕМПЕРЛТУРНЫХ

ТЕНЗОДАТЧИКОВ

Изобретение относится к измерительНОЙ ТЕХНИКЕ, G ИМЕННО K . .ТЕХНОЛОГИИ ПЗ готОВления Высокотемпературны х тензс » метрических датчиков, и может быть г использовано при изготовлении датчиков на металлических подложках. 5

Известен способ изготовления высокотемпературных тенэодатчиков, заключа1ощийся в том, что металлическую подложку датчика подвергают фосфатированию и HBM BTbl B BKYF н& нее тенз Очувстви тель ную проволку (11.

Однако этот способ не применим для тензодатчиков, В которых тенэочувствнтельный элемент в форме решетки. Кроме того, сопротивление изоляции фосфатной пленки может изменяться вследствие пробоя и механических повреждений, что снижает метрологические характеристики датчиков.

Наиболее близким по технической сути» ности и достигаемым результатам к данному изобретению является способ изготовления высокотемпературных тенэодат»чиков, заключающийся в том, что на металлическую ОснОВЧ напыляют изоляционный слой и закрепляют на нем тензорешеч ку Одним из известных спосОООВ f2) °

Однако и этот способ не обеспечивает высоких метрологических характеристик датчикОВ Вследствие нарушения иэолирукьmего слоя при различных температурных ко=-ффш нентах линейного расширения металла и иапыленного окисла.

Пелью изобретения является повышение метрологических характеристик высокотемпературных тенэодатчнков.

Эта цель достигается тем, что перед напыле птем изоляционного слоя окисляют металл Основы до образования дополнительного изоляционного слоя.

Способ осуществляют следующим образом.

Металлическую основу, напрмер пленку тантала, покрывающую металлическую подложку, окисляют до образования изо» ляционного слоя, имеющего плавную псевдодиффузионную границу атомов жаростойкого скисла. При этом исключается воз можнос гь возникновения температурных

636473 что на металлическую основу напыляют изоляционный слой и закрепляют на нем тензорешетку, отличающ ийс я тем, что, с целью повышения метрологиу ческих характеристик датчика, перед напылением изоляционного слоя окисляют металл основы до образования дополнительного изоляционного слоя. напряжений на границе окисел-металл.

Затем на полученную поверхность изоляционного слоя напыляют следующий изоляционный слой, например, иэ боросиликатного стекла и закрепляют на нем тензорешетку одним из известных способов.

Применение способа, основанного на формировании двойного изоляционного слоя позволяет существенно повысить качест- 1© во изоляции между основой и тензорешеткой, а следовательно метрологические характеристики датчика и его надежность.

Формула изобретения

Способ изготовления высокотемператур- у ных тензодатчиков, заключающийся в том, .

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе:

1. Авторское свидетельство СССР,No. 186186, кл. (j01 В 7/18, 1965.

2. Авторское свидетельство СССР

% 200859, кл. Q 01 В 7/18, 1966.

Составитель Н. Тимошенко

Редактор А. Мурадян Техред 3. фанта Корректор Л, Веселовская

Заказ 6926/31 Тираж 830 Подписное

ЦДМИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж35, Раушская наб., д. 4/5 филиал ППП "Патент, r. Ужгород, ул. Проектная, 4