Термоэлектрическое устройство для контроля неоднородности сплавов
Иллюстрации
Показать всеРеферат
ОП ИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕН Ия
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. саид-ву (22) Заявлено 04,04. 77 (21) 2469772/18-2 5 с присоединением заявки № (2З) Приоритет (43) Опубликовано05.12,78,Бюллетень № 45 (45) Дата опубликования описаиия06.12.78 г
Союз Соватсимх
Социалистических
Республик
iiii6365 1 8 г (511 M. Кл.
С; 01 И 25/32
° Говуаврстввнниб ионитот
Совета иинивтрвв СССР вв долам иэюбрвтвиий и отирытий (53) УДК 536.42 (088.8) Ю. А. Браташевский, B. М. Васильков и Н. A. Дорошенко "
i
Ъ
i (1
° I
Донецкий физико-технический институт АН Украииской - ССР .
i (72) Авторы изобретения (71) Заявитель (54) ТЕРМОЭЛЕКТРИЧЕСКОЕ УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ
НЕОДНОРОДНОСТИ СПЛАВОВ
Изобретение относится к измерительной технике для контроля материалов, а именно к устройствам для измерения неоднородности сплавов и может быть использовано на предприятиях по производству полупроводниковых м атериалов и в научных исследованиях.
Известно устройство для контроля состава сплавов методом термоэдс, содержащее горячий и холодный электроды, нагревательный блок, термопару, f0 блок регистрации температуры и блок иэ= мерения термоэдс fl) .
Однако оно не обеспечивает достаточной точности измерений.
Наиболее близким к изобретению тех- 15 иическим решением является термоэлек трическое устройство для контроля неоднородности сплавов, содержащее два электрода в виде зондов с вмонтированными в них термопарами,соединенными по диффе- ° 2Ц ренциальной схеме, измеритель термоэдс, источник нагрева одного из электродов и тереключатель знака термоэдс $2).
Существенным недостатком этого устройства является низкая разрешающая способность, обусловленная конструкцией зондов с вмонтированными в них термопарами, ограничивающая возможность использования прибора для контроля материалов с целью надежного определения неоднородных областей с размерами в несколько мкм. Кроме того, из-за неконтролируемых градиентов температуры и тепловых потоков через термопары прибор обладает большими погрешностями измерений температуры, связанными с состоянием теплового контакта зонд;-образец.
Цель изобретения - повышение разра шающей способности и точности измерений.
Для этого устройство снабжено преобразователем тока, измерителями тока и напряжения, причем измеритель тока включен в цепь источника тока через один иэ неподвижных контактов преобразователя тока, измеритель термоэдс соединен
636518 с другим его неподвижным контактом, а зонд соединен с измерителем напряжения подвижным контактом преобразователя тока.
На чертеже представлено предлагаемое $ термоэлектрическое устройство, Устройство содержит Остроконечный зонд 3L установленный на образец 2, преОбразователь тока 3 с контактами 4-6, трансформатор 7, одна из обмоток которого служит источником питЯния преоб уаэователя 3, а другая - источником тока для создания градиента температуры
s области локализации зонда, измеритель тока 8» измеритель напряжения 9» изме ритель термовдс 1 О, переключатель знака термоэдс 1 1, переключатель
12 для Отключения тока через зонд; при переводе зонда в новую область образца, диод 13 и фильтр 14 для эапц(ты контактов - 4 и 5 От подгорачия, огряничиваиицие сОпрОтиВления 15 и 16 и филь% р
17.
При замыкании контактов 4 и 5 им.пульс тока про одит через зонд и образец и создает в области локализации зонда градиент температуры. При этом измеряется тОк и падение HBIIpHXBHH$t HE» контакте зонд-образец, а тем самым з&трачив»аем IHIH Q )gggHEEg gградиентH те»(3д пер атуры м ицн ость
При замыкании контактов 5 и 6 измеряется Относительчая термоэд(., прО. порционацьнан градиенту темп ературы»
При леревОде ВОнда B другую область Об
3@ раэца перекхцочате»ем 12 QYKIIIQ»IIIBTcII пр(»дотяращая»»BM самым п»„*»т.ооа нию ocTpNH зонда»
Устройство HcIEbITEIHQ HG многочисле»» ных Образцах тВердых pacTBQpQB интиме».-. нида индия с ВисмутОМ, Действующее значение тока составляло
16Î мА, мощность B области локнлиза« ции зонда не превышала 0,03 Цт» г (диент температуры был не более 2(3 („
Погрешность измерений составляля 5,7 / .
Предлагаемое устройство имеет qocтаточно высокую степень разрешения неоднородности (несколько мкм), проще
IIo устройстВу и обслуживанию и м ожет дать экономию на предприятиях по производству многокомпонентиых сплавов и в научныK исс ледованиях»
Формула изобретения .»ермозлектрическое устройство для контроля неоднородности сплавов» содер жаЩЕЕ ЗОНД»»»СТОЧ%4К TQKII» ИЗМЕРИТЕЛЬ
» ермоэдс и переключатель знака
ТЕРМОЗДСФ О Т Л H Ч Я Ю Щ Е Е С Я тем» HTQ» c @ель»о новы»1епия pggpBEIE IQ щей способности и тОЧНОсти кзмерений, оно снабжено преобразователем тока, измерителями тока и напряжения, причем измеритель тока включен и цепь источника тока через один из неподвижных контактов пржбpBBQBBTeEEH тока, измеритель термо-ЗПС
CQBEEHHBEE С друУ ИМ ЕЧ О НЕПОДВИ?КНЫМ КОН тактом» а зонд соединен с измерителем пап ряж(-. »п(я подвн I» f »»антик g ом EEpBQIQ рязовятеля тока, " -точники пнф„у" >„гани(» пвинятые вн»» я\»е НрН э» сп(»ртиз ъ»
1, ЛBTQpcHQB свидетельство СССР ,„,; 2.Р 1,,л С r g 25/3О.
Двт QQcE ое свил; те а» c E.@Q (» СР г »(45аоб» 1) (И 27/14 ) с) 70
Составитель С. Беловодченко
Редактор А. Рожкова Техред Э, Чуя ик Корректор П. Макаревич
Заказ 6931/34 Тираж 1070 Подписное
UHH HAH Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий
113035, Москва, 5> Раушская наб., д„4/5
Филиал ППП Патент, г. Ужгород, ул. Проектная, 4