Проекционный объектив

Проекционный объектив

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

О П И С А Н И Е „6з7 2

ИЗОБРЕТЕНИЯ

Союз Советских

Социалистических

Республик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТИЛЬСТВУ (6!) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 24.06.77 (2ф) 2497818/18-10 с присоединением заявки ¹ (23) Приоритет (53) М, Кл й

002 В 17/08

Гееуднрственнмй кемнтет

Самта Мнннетрее СССР но делам нзебретеннк н еткрктнй (43) Опубликовано 15.12.785юллетеиь № 46 (5З) уд) 5д5.824. .2(088.8) (45) Дата опубликования описания 20.12.78 (72) Авторы изобретения и Во И Цур&н (7l) Заявитель (54) НРОЕКБИОННЫЙ ОБЬБКТИВ

Изобретение относится к проекционным объективам со сферическим полем изображения и может быть применено в микроэлектронике в установках, где необходимо нолучнть изображение плоского предмета на сферической поверхности.

Известен репродукционный объектив, содержащий две трехкомпонентные группы линз и одиночный мениск (l) Объектив имеет сферическое поле изображения. Однако 08 имеет малое разрешение и не может работать в )льтрафиолетовой области спектра.

Известен также зеркально-линзовйй объектив, содержащий компенсатор, первичное вогнутое и вторичное выпуклое зеркала Маижена и вспомогательную положительную линзу (2). Объектив имеет сферическое поле изображения. Однако этот объектив не может работать в ультрафиолетовой области спектра и имеет малое разрешение.

Наиболее близким по технической сущности к изобретению является проекционный объектив, содержащий выпуклое, два вогнутых сферических зеркала и концентрический мениск, ось симметрии которого наклонена к оптической оси выпуклого зеркала под углом 9-20 . Этот объектив имеет разреше2 ние 330 „, работает в области спектра

А = 404 — 546 нм и строит изображение только на плоской поверхности(Я.

Целью изобретения является получение изображения иа сферической поверхности в ультрафиолетовой области спектра и увеличение разрешения объектива.

Это достигается тем, что в предлагаемый объектив, содержащий три зеркала, из которых .первое и третье вогнутые сферические концентрические зеркала, а второе выпуклое, и концентрический мениск, ось которого наклонена к оси выпуклого зеркала, введены дополнительный концентрический мениск и две отрицательные линзы, одна из которых установлена перед первым вогнутым зеркалом, а дополнительный концентрический мениск и другая отрицательная линза установлены за основным концентрическим мениском, причем оптические оси введенных элементов параллельны друг другу и равноудалены от центра сферических поверхностей зеркал.

На чертеже приведена оптическая схема описываемого объектива, состоящего из семи компонентов 1 — 7: компонент 1 — отрицательная двояковогнутая линза; компонент 2— вогнутое сферическое зеркало; компонент 3— выпуклое сферическое зеркало; компонент

4 — вогнутое сферическое зеркало; компонент 5 — концентрический мениск, ось симметрии которого наклонена к оптической оси выпуКлого зе1жала 3 под углом 9 — 20, компонент 6 — отрицательная двояковогиутая линза; компонент 7 — концентрический мениск.

Центры сферических поверхностей вогнутых зеркал 2, 4, выпуклого зеркала и концентрического меииска 5 совпадают.

Оптическая ось.отрицательной линзы и ось отрицательной линзы 6 н концентрического мениска 7 параллельны друг другу и лежат на равном расстоянии от общего центра сферических поверхностей зеркал 2, 3, 4 и концентрического.меииска 5.

Объектив рассчитан для ультрафиолетовой области спектра и работает с апертурой А 0,09 и полем зрения 2у - 60 мм, разрешение = 580 4.

Формула изобретения

Проекционный объектив, содержа1цнй три зеркала, из которых первое и третье вогнутые сферические концентрические зеркала, а второе — выпуклое, и концентрический мениск, ось которого наклонена к осн выпуклого зеркала, отличающийся тем, что, 5 с цельо получения изображения на сферической поверхности в ультрафиолетовой области спектра и увеличения разрешения объектива, в него введены дополнительный концентрический мениск и две отрицательные

30 линзы, одна из которых уста новлена перед первым вогнутым зеркалом, а дополнительныч концентрический мениск и другая отрицательная линза установлены за основным концентрическим мениском, причем оптические оси введенных элементов параллельны

35 друг другу и равноудалены от центра сферических поверхностей зеркал.

Источники информации, принятые во,внимание прн экспертизе:

l. Авторское свидетельство СССР

K 417758, кл. G 02 В 1324, 1972.

2. Авторское свидетельство СССР

Pte 489061, кл. G 02 В 13/14, 1974.

3. Авторское свидетельство СССР № 478546, кл. G 02 8 17/08, 1972.

Составитель М. Лебедев

Редактор С. Хейфиц Техред О. Луговая Корректор Л. Веселовская

Закаэ 7102I37 Тираж 579 Подписное о

ЦИИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам иэобретений и открытий

113035 Москва, Ж-35, Раушская иаб. д. 4/5

Филиал ПЪП <Патент>, r. Ужгород, ул. Г1роектная 1