Вакуумный натекатель
Иллюстрации
Показать всеРеферат
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Сеюэ Советскик
Социалистических
Республик
«я641221 (61) Дополнительное к авт. свил-ву (22) Заявлено 26.0476 (21) 2352919/25-06 с присоединением заявки №
{23) Приоритет
Опубликовано 050179.Бюллетень №
Дата опубликования описания 100179 (51} М. Кл.
F 16 К 51/02
Государственный комитет
СССР но делам изобретений и открытий (53) УДК 621.521-333.1 (088.8) (72) Авторы изобретения
А.Ф. Скляров, С. И. Гоникберг, В.M. рыбников, и М.И.Холкин (71) Заявитель (54) ВАкуу14ный нАтекАтель
Изобретение относится к вакуумной технике.
Известны вакуумные натекатели, содержащие корпус с седлом и примыкаюший к седлу упругий запорный элемент, установленный в корпусе и соединенный с поиводом (1) .
Использование в натекателе пневматического привода не позволяет обеспечить высокого быстродействия натекания.
Известны также вакуумные натекатели, содержашие корпус с седлом и примыкаюший к седлу упругий запорный элемент, установленный в корпусе, закрепленный на нем одним концом и соединенный с электроприводом t2j .
Известные натекатели позволяют обеспечить импульсный напуск газов.
Однако их быстродействие ограничено разогревом запорного элемента при пропускании по нему электрического ток а.
Иелью изобретения является повыше- ние быстродействия натекателя.
Это достигается тем, что электропривод выполнен в виде пьезопреобразователя, запорный элемент — предварительно деформированным, и его второй конец соединен с пьезопреобразователем, а угол между продольной осью элемента и поверхностью седла о равен 2-8
На фиг. 1 показан предлагаемый натекатель, разрез; на йиг. 2 — вариант выполнения упругого запорного элемента.
Вакуумный натекатель содержит корпус 1 с седлом 2 и примыкающий к седлу 2 упругий запорный элемент 3, установленный в корпусе 1, закрепленный на нем одним концом и соединенный с электроприводом. Электропривод выполнен в виде пьезопреобразователя
4. Запорный элемент предварительно деформирован и em второй конец соединен с пьезопреобразователем 4, а угол А между продольной осью элемента 3 равен 2-8 . Льезопреобразователь
4 соединен с блоком питания 5, который управляется блоком управления 6. (ля обеспечения герметичности натекателя на упругий элемент может быть прикреплен резиновый уплотнитель 7.
Вакуумный натекатель работает следующим образом.
Ча пьезопреобразователь 4 от блока питания 5 подают переменное напряжение с заданной частотой, вследствие