Способ изготовления электродной системы с автоэмиттером

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Союз Советских

Социалистических

Республмк

ОП ИСАЙ Е

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВКДВТЙЛЬСТВУ (11) 641537 (б!) Дополнительное к авт, свид-ву (22) Заявлено0806.76 (2)) 2382844/18-25 (51) М, Кл, H 01 У 9/02

Н 01 У 1/ЗО с присоединением заявки №

Гооударствеикмй комитет

СССР по делам иэооретений и открытий (23) ПриоритетОпубликовано 05.01.79.Бюллетень № 1

Дата опубликования описания 08.01.79 (53) УНК 621.385..032. 212 (088.8) (72) Автор изобретения

В. A. Кузнецов (7!) Заявитель

Московский институт инженеров гражданской авиации (54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ЭЛЕКТРОДНОЙ

СИСТЕМЫ С АВТОЭМИТТЕРОМ

Изобретение относится к области вакуумной электроники и может быть использовано прн создании триодных систем с автоэмиттером.

Для эффективного управления электронным потоком управляющий электрод необходимо размещать как можно ближе к поверхности автоэмиттера, что обычго достигается монтажом предварительно изготовленного автоэмиттера в управляющем электроде И ) .

Известен также способ изготовления электродной системы с автоэмиттером, сегласно которому изготовляют острие электролитическим травлением заготовки н монтируют его в управляющем электроде (2)

Такой способ изготовления электродной системы с автоэмиттером не обеспечивает эффективного управления электронным потоком, поскольку практически невозможно точно определить оптимальное положение управляющего электрода относительно острия. Точность же установки должна быть соизмерима с размерами автоэмиттера, т. е. порядка 10 см.

Целью изобретения является повышение коэффициента управления электронным потоком.

Поставленная цель достигается тем, что . сначала монтируют заготовку для изготовления острия в управляющем электроде, а затем производят электролитнческое травление заготовки до получения острия, используя в качестве электродов тра вящей ванны заготовку и управляющий электрод.

Благодаря такой последовательности операций размещение кончика автоэлектронного эмиттера в управляющем электроде в веесте с наибольшим коэффициентом управления осуществляется автоматически, так как церетравливание заготовки, т. е. обраtg зование ъмиттера, происходит там, где напряженность поля в данной системе электродов максимальна.

Предлагаемый способ может быть осуществлен следующим образом. Управляющий электрод, который выполняется в виде пластины с отверстием в центре, жестко закрепляется на изоляторах относительно катододержателя. В катододержателе закрепляется заготовка, из которой в дальнейцтем будет изготовлено острие-автоэмнт641537

Составнтель Г. Кудннцева

Редактор T. Орловская ТехредО. Луговая Корректор Л. Веселовская

Заказ 7521 49 тнрвж à Подпнсное

ИНИИПИ Государственного номвтетв СССР по делам ввобретеннй н открыл и А

t i 3035, Москва, Ж-ЗЬ, Раушскаа наб.. д 4/б

Фивнав ППП «Патенте. г. Ужгород, ул Проектная, 4 тер. Заготовка располагается таким образом, что она проходит через центр отверстия диафрагмы. Далее в соответствии с классическими способами получения острий, наносят каплю электролита в отверстие управляющего электрода и производят электролитическое травление -заготовки, используя в качестве электродов пластину, кбторая является управляющим электродом, и нижний конец заготовки.

Перетравливание проволоки происходит в отверстии в пластине в том месте, где напряженность. поля максимальна.

Предлагаемым способом был изготовлен макет триода с параметрами: коэффициент усиления м=20 при общем токе 1 ма и мощности 10 вт (обычно мЗ-:4).

Формула изобретения

Способ изготовления электродной сис темы с автоэмиттером, включающий изготовление острия путем электролнтнческого травления заготовки и монтаж его в управляющем электроде, отличающийся тем, что, с целью увеличения коэффициента управления электронным потоком, сначала производят монтаж заготовки в управляющем электроде, после чего осуществляют электролитическое травление заготовки до получения острия, используя в качестве электродов травящей ванны заготовку и управляющий электрод.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе:

1. Koyama Masaki, Komai Hiroshi. Field

15 Emission Diode and . Triode, Rev. Sci. instr., 1966, v. 37, № 9, 1159.

2. С. С. Baker, Н. К. Forsen, !. Vlilliams

« investigation of the energy and impurity

content of a rrossed - field plasma g»n», 3. Appl. Phys. 1974, № 5, 1,р.2105.