Способ изготовления биморфного элемента

Способ изготовления биморфного элемента

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

CoIo3 Соеетских

Сецмаяистичесмих

Республик (ii 641630 (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) ЗВЯВлено 05.08,77 (Я) 2410458/18--2 1 с присоединением заявки ¹ (23) Приоритет—

2 (51) М. Кл. н оз н залог

Опубликовано05,01.79Х)юллетень Ь2 1

Дата опубликования описания 06„01.79 (53) УДК 621.372.

412 621 791 .з (088.8) (7?) Авторы изобретения

В. Н. Христсфоров и В. Н. Банков (71) Заявитель (54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ Б )МОРФКОГО ЗЛЕNЕHTA

Изобретение относится к технологии микроэлектронных и пьезоэлектрических устройств, предназначено для использования при изготовлении биморфных колеблющихся элементов.

Известен способ изготовления. биморфного элемента, включающий полировку, металлизацию, склеивание, сдавливание и натрев кристаллических пластин (1I.

Недостатками этого способа являются большие разбросы электрических параметров биморфных элементов н резкое снижение добротности после склейки, что объясняется дестабилизирующим и демпфирующим влиянием клеевой массы между двумя колеблющимися кристаллическими пластинам: . Указанные недостатки в известной степени устраняются при переходе от склейки к спаиванию.

Известен способ изготовления бнморфного элемента, включающий металлизацию неполнрованных кристаллических пластин, облуживание одной из их поверхностей мягким прн поем, наложение кристаллических пластин друг на друга облуженными поверх2 постями, сдавлпвание нх с помощью груза

H нагРеВ (2J.

Однако этот способ <е позволяет достичь высокой механн-lecKAA прочности в расчете на эксплуатацию биморфных элементов в современной специальной аппаратуре; биморфные элементы, изгоговленные таким способом, облака к т неудовлетворительными электрическими параметрами — большим

ТКЧ, низ.ой добротностью. Разбросы значений электрических f.а раметроВ В одной flap

16 тин бимсрфных элементов значительны. Кроме того, экстремум температурно-частотной характеристики в таких биморфных элементах не удается установить выше + l0 С.

Цель изобретения — улучшение электрических параметров бнморфного элемента.

Поставленная цель достигается тем, что при изготовлении биморфного элемента способом, Включаюгцнм металлнзацию кристаллических пластин, аблуживание одной из поверхностей каждой пластины мягким припоем, соединение пластин облуженными поверхностями, сдавливание их с помощью груза и нагрев, перед облужнванием металлизированные поверхности пластин полиру