Способ изготовления эмиттера типа металл-диэлектрик-металл

Способ изготовления эмиттера типа металл-диэлектрик-металл

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

О П И А Н И Е «64189О

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

Союз Советских

Социалистимеския

Республик (61) Дополнительный к патенту

2 (22) Заявлено 29.02.74(21) 1995635/18-25 {51) М. Кл, (23) Приоритет — (32) 31.01.73 (31) 7303212 (33> Франция

Н 01 У 9/02

Н 01 O 1/30

Гюсударстеееный еометет

СССР ео делам ееобретеяей н открытий

{53) УДК 621 385.032.21 2 (088.8) Опубликовано 05,01, 79.Бюллетень М 1

Дата опубликования описания 08.01.79

Иностранцы

Жак Эмиль Дюбуа, Пьер Лвквэ, Даниель Массиньой, и Клод ле Грессюс (Франция)

Иностранная фирма

"К омисс ври ат в л Э не ржи AT омик (Франция) (72) Автори иэобретения (71) Заявитель (54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ЭМИТТЕРА ТИПА МЕТАЛЛ-ДИЭЛЕКТРИК-МЕТАЛЛ

Изобретение относится к области электронной техники и может быть использовано при изготовлении эмиттеров электровакуумных приборов, Известны способь1 изготовления эмиттеров, содержащих диэлектрический слой, расположенный между двумя металлическими слоями jlj. Диэлектрический слой обычно изготавливается из окисных пленок, нвцример А0еО или Be О . Такие эмиттеры получают путем электролитичеокого осаждения нв металлическую подложку слоя диэлектрика (21, Указанный способ трудно реализовать при формировании слоев диэлектрика на большой площади подложки.

Цель изобретения — упрощение технологии получения слоя диэлектрика.

Поставленная цель достигается тем, что готовят раствор из органического растворителя (гексаметилфосфоротриамидв и тетрагидрофурана) и электролита-перхлорвта щелочного металла, погружают в этот раствор металлическую подложку, подают нв нее отрицательное напряжение и проводят осаждение метвллоорганического соединения.

Отрицательное напряжение соответст вует напряжению разряда катионов рвствс ра или напряжению пассивации подложки.

Для осуществления способа достаточно приготовить раствор, образованный органическим растворителем, в котором щ растворен электролит, погрузить в этот раствор проводящую подложку и .подать

HB эту подложку отрицательный потенциал, что вызовет электрохимическую реакцию, в результате которой произойдет освждение слоя на подложку. Этот cno";. не будучи окислом, -квк в известных способах, является диэлектрическим. Сцепление диэлектрического слоя с подложкой очень хорошее и превосходит сцепление ф) известных окислов с соответствующими подложками.. Пример . Раствор содержит органический растворитель — гексвм

641890

Составитель Г. Кудинцева Редактор Т, Орловская Техред С. Мигай Корректор Т. Вашковнч

Заказ 7578/60 Тираж 922. Поцписн ое

ЫНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий. 113035, Москва, Ж 35, Раушская наб„д, 4/5

Филиал ППП "Патент, r, Ужгород, ул, Проектная, 4 тилфосфорочриамид и электролит — перхлс рат лития с концентрацией 0,1 Й . Проводящую подложку из платины погружают в приготовленный раствор и на нее подают оч нцательное относительно опорного элек- тропа напряжение, которое делает эту подложку катодом. Величина напряжения соответствует напряжению разряда присутствующих в растворе катионов (в случае Bi ) 44 или несколько меньше на- 10 пряження пассивации подложки. Изучение полярографии процесса возволяет cqeлать заключение о том, что в результате разряда катионов образуется металличеокий литий, который воздействует на расв- t5 воритель и на следы воды, содержащиеся в этом растворителе, в результате чего возникает пленка металлоорганического типа, которая осуществляет пассивацию металлической поверхности, 20

Рентгеновский микроанализ осадка, полученного в результате описанного электрохимического процесса, показывает, что слой содержит углерод. Кроме того, 25 анализ посредством дифракции быстрых электронов показывает, что слой образован текстурированным соединением, в ко» торое входит органическое соединение и металлические элементы, соответствующие 30 используемой .,металлнческой соли.

Достигнутое преимушество — упрощение операции нанесения диэлектркческого слоя« цривоцит в результате к снижению стоимости и сокращению времени изготовления эмитте ра. формула изобретению

l. Способ нзготовления эмиттера типа металл-диэлектрик-металл, включающий электролитическое осаждение на металлической подложке слоя диэлектрика, отличающийся тем, что, с целью упрощения технологии получения слоя диэлектрика, готовят раствор из гексаметилфосфоротриамида или тетрагидрофурана н электролита, в качестве которого используют перхлорат щелочного металла, погружают в этот раствор металлическую подложку, подают на нее отрицательное напряжение и провоцят осаждение металлоорганического соединения, 2. Способ по и, 1, о т л и ч а юшийся тем, что приложенное отрицательное напряжение соответствует напряжению разряда катионов раствора, 3. Способ по и. 1, о т л и ч а юшийся тем, что приложенное отрицательное напряжение соответствуят напряжению пассивации подложки.

Источники информации, принятые во вынимание при экспертизе

1, Авторское свицетельство СССР

Х 171471, кл. Н 01 Х 1/30, 1971, 2.М ег М Иагд G, Buninger E. А,Дcornpavc4tive МосЬо anodized,ечаро га11д and shuttive4 а отюигп oxide .Иип & бои, " 3. vacuum $ с1 ап0 Тесййоб.", 1969, M 4, рр. 727-730,