Расходомер

Расходомер

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Союз Соеетсммз

Соцмалмстнцесюа

Республик

ОП ИКАНИЕ

ИЗОБРЕТЕ Н ИЯ . К АВТОРСКОМУ СВИДВТВЛЬСТВУ (6!) Дополнительное к авт. свнд-ву— (22) Заявлено05.07.77 (21) 2504048/18-10 с присоединением заявки № (5!) М. Кл?

С 01 F 1/З6

Гесудврвтвекиый комитат

СССР кк делам кзобретенкй.н открытий (23) Приоритет

Опубликовано15.02.79. Бюллетень № 6 (53) УДК 681.121 (088.8 ) Дата опубликования описания 19.02.79 (72) Авторы изобретения

Ю. М. Спалек, В. Н. Борщев, Г. В. Буеров и П, Н. Богатов (71) Заявитель (54) РАСХОДОМЕР

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано, в частности, для измерения расхода жидкости.

Известны расходомеры, измеряющие расход протекающей среды по деформации чувствительного элемента, например, диафрагмы. При ртом деформация чувствительного элемента воспринимается тензорезистором (! J, Этн расходомеры имеют сравнительно невысокую чувствительность.

Наиболее близким к изобретению по тех- 1п нической сущности является расходомер, содержащий корпус с расположенными внутри него двумя радиально размещенными друг против друга пластинами, ыа которых закреплены тензорезисторы, соединенные по мостовой схеме. Изменение сопротивления 1 тензорезисторов приводит к разбалансу моста и служит мерой расхода (2}.

Однако использование тензорезисторов, выполненных, например, из тонкой проволоки или образованных напылением яа под- > ложку полупроводниковой пленки, приводит к снижению чувствительности, надежности и ухудшению метрологических характер исти к.

Для повышения чувствительности и То«ности измерения в предлагаемом расходомере чувствительный элемент выполнен в виде полупроводниковой диафрагмы, состоящей из центральной части, отделенной от периферийной С-образной щелью, на перемычке между торцами которой размещены тензорезисторы.

На фиг. показан разрез описываемого расходомера по оси симметрии; на фиг. 2--вид расходомера сверху; на фиг. 3 — сечение чувствительного элемента.

Расходомер содержит корпус !- (например, часть трубопровода) с фланцами 2.

Поперечное сечение корпуса перегорожено чувствительным элементом — диском 3.

Диск 3 состоит из двух частей: центральной 4 и отделенной от нее кольцевой С-образной щелью 5 периферийной части 6, зажатой при помощи колец ? и винтов 8 в корпусе .

Чувствительный элемент — диск 3 выполнен в виде монокристаллической полупроводниковой диафрагмы, а в теле ее на участке наибольшей деформации, ва перемычке между торцами С-образной щели размещены тензорезисторы 9, изготовленные

114 7535

Формула изобретения

1.

Составитель Ь. Розовская

Редактор C. Хейфйи Техред О. Луговая Корректор И. Макаревич заказ 289/Зз Тираж 865 Г1однисное

ИИИИИИ Государственното комитета СССР ио делам изооретеннй и о крыо й

1 18035, Москва, Ж-Э5, Рауиьская иао., д. 4/5

Филиал ill lA «Патент>, г. Уж ород, ул. Проектная, 4

3. .,M(тодом плавание-эпи аксиальной технологии.: --. -: -и

Для - првы ценея туфтвительности расходомера с..тыловой стороны диска 3 иод тензорезГ1 тофами 9 "фделана прямоуголь- 5 ная выборка 10 (дриго), уменынающая толщину диска,3., Яа 4тдддмер «рабфГает следующим обра1 l При т1р от екан йпотока измеряемой сре10 ды через корпус 1. перед чувствительным эле. ментом — диском 3 и за ним возникает перепад давления, обуславливающий деформацию центральной части 4 чувствительного элемента 3.

Зта деформация воспринимается тензо- 1S резисторами 9, выходной сигнал с которых может быть значительным, что позволяет применять его без промежуточных усилителей по схеме измерительный мост — индикаторный прибор.

Расходомер, содержащий корпус, внутри которого размещен чувствительный элемент с тензорезисторами, соединенными по мостовой схеме, отличающиися тем, что, с целью повышения чувствительности и точности измерения, чувствительный элемент выполнен в виде полупроводниковой диафрагмы, состоящей из центральной части, отделенной от периферийной С-образной щелью, на перемычке между торцами которой размещены тензорезисторы.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе:

l. Левин В. М. Расходомеры малых расходов для схем промышленной автоматики.

М, 1972, с. 55.

2. Патент Франции № 2194953, кл. G 01 F 1/00, 1974.