Репродукционный объектив

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

It АВТОРСКОМУ СВИДВТИЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистимескик

Республик

647632 (6l) Дополнительное к авт. свил-ву(22) Заявлено 04 07.77(2т } 2504919/19-10 с присоединением заявки №(51} М. Кл.

0 02 В 13/24

{3 02 В 11/34

Государственный каметет ссср ка делам нзабретеннй н атнаытнй (23) Приоритет(53) УЛК 535.824..2(088.8) Опубликовано15.02.79. Бюллетень №6

Дата опубликования описания 19.02.79 (72) Авторы изобретения

А. П. Грамматин и Т. А. Фролова (71) Заявитель (54) РЕПРОДУКЦИОННЫИ ОБЪЕКТИВ

Изобретение относится к обпасги приборо троения, а именно к линзовым реп родукцнонным объективам, и может быть использовано в установках проекционной фотолитографии при производстве микроэлектронных приборов.

Известны репродукционные объективы, содержащие две разделенные диафрагмой группы линз (1) Эти объективы имеют малое поле зрения (2ц =40 мм) и качество изображения, не удовлетворяющее требова-. ниям микроэлектронного производства (разрешение 3040 лин/мм по полю иэображения) .

Наиболее близким к изобретению по технической сущности является репродукционный объектив, содержащий пФсть компонентов, из которых три расположены перед диафрагмой, причем положительные второй, третий и пятый компоненты выполнены в виде одиночных линз (2) 2

Этот объектив имеет малое поле изображения (от 30 до 43 мм).

Оельто изобретения является увеличение линейного поля зрения и повышение разрешающей способности.

5 . Это достигается тем, что в предлагаемом репродукционном объективе первый и шестой компоненты выполнены и виде двусклеенных отрицательных линз, четвертый компонент - в виде двусклеенто ной положительной линзы, при этом третий компонет - положительный мениск, выпуклостью обращенный к диафрагме.

На чертеже изображена оптическая схема описываемого объектива, состоять щего иэ щестикомпонентов 1-6 н расположенной между компонентами 3 и 4 апертурной диафрагмы 7. Компоненты 1 и 6 выполнены в виде отрицательных двусклеенных линз, компоненты 2 и 5

20 одиночные плосковыпу итые линзы, обращенные выпуклостями к диафрагме 7, ком понент 3 - одиночный положительный мениск, обращенный выпуклостью к диаф647632

Составитель М. Лебедев

Редактор С. Хейфиц Техред О. Андрейко Корректор А. Власенко

Заказ 302/39 Тираж 587 П одписное

lIIHHIIH Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал 1И1П Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4

parve 7, компонент 4 - двухлинзовый склеенный положительный.

Волновые аберрации для точек в центре и на.краю поля лежат в пределах

0,25 длины волны, т.е. разрешающая способность объектива определяется дифракцией в пределах всего поля изображения и составляет примерно 400 линlмм.

Формула изобрете ния

Репродукционный объектив, содержащий шесть компонентов, из которых три расположены перед диафрагмой, причем положительные второй, третий и пятый компонейты выполнены в виде одиночс, ныхлинз, отличающийся тем, что, с целью увеличения поля зрения и повышения разрешающей способности, первый и шестой компоненты выполнены в виде двусклеенных отрицательных линз, четвертый компонентв виде двусклеенной положительной линзы, при этом третий компонент - положительный мениск, выпуклостью обращенный к диафрагме.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе1. Авторское свидетельство СССР .

No. 437997, кл. Cj 02 В 11/34, 1972.

2. Авторское свидетельство СССР

М 226883, кл. Cz 02 В. 11/32, 1977.