Резистивный сплав
Патент 647750
Авторы
Резистивный сплав
Иллюстрации
Реферат
Союз Соеетскии
Социапмстмиескии
Рбспубпмк
< 647750 (61) Дополнительное к авт. свиа-ву— (22) Заявлено 23. 09. 77 (21} 2527311/18-21 с присоединением заявки _#_..— (23) Приоритет— (51} И. Кл. .Н OI С 7/06
С 22 С 27/06
Госудорстеенный комитет
СССР оо делам изобретений
k открытнй
Опубликовано15.02.79.Бюллетень Ме 6 (о3) УДК 621. 396. .69-181.5 (088.8) Дата опубликования описания 18.02.79 (72) Авторы изобретения А. С. Минеев, В. И. Кочуков и И. П. Еарымов (71) Заявитель (54) РЕЗИСТИВНЫЙ СПЛАВ
Изобретение относится к области микроэлектроники и может быть использовано при изготовлении высокоомных резистивных элементов интегральных схем.
Известен резистивный материал для изготовления тонкопленочных резисторов, содержащий хром, окислы кремния и других металлов (1) .
Недостатком этого материала являются сравнительно высокий температурный коэффициент сопротивления, что не позволяет изготавливать прецизионные резисторы с ТКС порядка 105 град, узкий диапазон удельного поверхностного сопротивления пленок на его основе и невысокая стабильность сопротивления.
Известен также резистивный сплав, содержащий хром, кремниЙ; церий и металл переходной группы (2).
Однако этот материал имеет недостаточно низкое значение температурного коэффициента.
Цель изобретения — снижение температурного коэффициента сопротивления.
Это достигается тем, что резистивный сплав, содержащий хром, кремний, ц рий или магний it металл переходной гру.ппы, содержит в качестве металла переходной группы тантал при следующем количественном соотношении компонентов, вес.%:
Хром 36,0 — 40,9
Тантал 5,0 — 19,0
Цсрий или магний 1,0--10,0
Кремний, Остальное.
Для изготовления сплава приготавливают шихтовуго смесь, Крупность исходных материалов составляет < 20 мкм. Для синтеза материала порошки исходных составляюгцих подвергают мокрому смешиванию в среде этилового спирта (200 мл на 1 кг порошка) в течение часа. Затем полученную смесь сугцат в термошкафу при 100 — -110 С в течение 5 ч и подвергают протирке через сито 40мкм для разрушения конгломератов.
Готовую смесь прессуют под давлением 1 — 1,5т/см в брикеты 4= 20мм, h=
= l5 — 20 мм и подвергают высокотемпературной вакуумной термообработке в вакуумной печи типа СМВЛ при вакууме 3 — 7 10 мм. рт. ст и 1300 С в течение 4 ч. После этого продукты взаимодействия измельчают в яммовом барабане ем647750
ФОР,<<УЛ<Г тпбРЕГЕН
40,9
1.0,0
5,0
44,1
Составитель 13. (олодоаа редактор Л. натанова !ехред О.J(yro)>>» Корр<ьтор Д. 1>3«.>ь<>н генко
3анат 325145 Гараж 922 !о.(г<н< но<
А(13 ! !111!! осуда рстн< нного ><о>< нтета (.(".(.! го делам наО6ретеннй н отярьо и!<
I )З<>З5, <х3ос><ва, )К-З5. Рау><>сьая на6., д. 415
<ннлиал I I !1! «Г)агент», г Ужп>род, ул. !1рое><тнан, 4 костью 0,5 л В теч<)ние 4 ч в ср(де этилово!О спирта. Далее получсннуIo сл<есь cушат в термошкафах при 1=-50--10 (.. в течение Зч и просеивают через сито 4 мкм.
Примеры конкретного выпол Гения < нлав I с оптимальным содергканием ингреди(.Hтов, 33ес,%;
Лример 1
Хром 38,4
Тантал 12» 2
Церий 2,9
Кремний <11!5 5
При.3(е/) 2
Хром
Магний
Тантал
КремнийУказанные составы позво IHIoT получить методом ионноплазменного распыления Bblсокоомные прецизионные тонкопленочные резисторы со следую!ними характеристиками: нрн толщине резистивной пленки от 0,02 до 0,14 мкм стабильность сопротивления за 000 ч при t = 130 С составляет 0,05—
0,06%, температурный коэффициент сопротивления {0,2 — 0,53. 10 4 град, уд< льное поверхностное сопротивление 200--2000 ом/п
Г1реи<<3уц(ество предлагаемого резистивного материала заключается в том, что при
TeXI!0. IOf H ICCH(>k» T<) 1HlHHC ()(. 3H(. TII I3H(>II IIJI< Ilки cIII>IHIc 100 им .(ем))ературный к(Гаффин ис нT соп1)(>ти влепи<1 ??(????!1)?? ???? ii<;,!>33(1<>ê в(ЛИ III НЬ>, icT(>3)I < температурным коэффициенто.,(с(>I!1!<>TIIII,>lc) !)орядка 10 грал, "
Ре3HcTHI)1kb!A cIIJI;III, coJI cP)H33313311 хРОм, кремний, цсрий или магний н металл переХОДНОй ГРУППЫ, Оте)1<<<а<О Щий ЕЯ тЕМ, ЧтО, С целью сниукения температурного коэффициента сопротивления, он содержит в качестве металла переходной группы тантал при следу)ощем количественном соотношении компонентов, вес. /о..
Хром 36,0 — 40,9
Тантал 5,0 — 19,0
Церий или магний 1,0 — 10,0
Кремний Остальное.
Источники информации, принятые во внимание при экспертизе
1. Авторское свидетельство СССР № 352319, кл. Н 01 С 7/00, 1970.
2. Авторское свидетельство СССР № 287161, кл. Н 0! С 3/14, 1969.