Турбомолекулярный вакуумный насос

Турбомолекулярный вакуумный насос

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

Союз Советских

Социалистических

Республик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву— (22) Заявлено 01.10.76(21) 2407553/25-06 с присоединением заявки №вЂ” (23) Приоритет—

Опубликовано 250279. Бюллетень № 7

Дата опубликования описания 2702.7

Государственный комитет

СССР по делам изобретений и открытий (72) Авторы изобретения

В. И. Бойцов, Б.В.Иванов и Ю.Э.Кононов (71) Заявитель

Ордена Трудового Красного Знамени Московский институт химического машиностроения (5 4 ) ТУР БОМОЛЕКУЛЯРНЫИ ВАКУУМНЫИ НАСОС

Изобретение относится к вакуумной технике.

Известен турбомолекулярный вакуумный насос, содержащий корпус со статорными дисками, по оси которого в подшипниках установлен ротор с роторными дисками $1). Известный насос имеет низкую производительность.

Наиболее близким к изобретению по технической сути и достигаемому результату является турбомолекулярный вакуумный насос, содержащий корпус с размещенными в нем роторными дисками с лопатками (21. Статорные. и роторные диски снабжены облопаченным венцом, лопатки которого выполнены с переменным углом наклона к торцовым плоскостям дисков, увеличивающимся в радиальном направлении от центра диска к его периферии.

Однако этот насос имеет ограниченную производительность, определяемую прочностными характеристиками диска.

Целью изобретения является повышение производительности насоса.

Это достигается тем, что поверхность лопаток, обращенная к набегающему потоку, отполирована, а противоположная — зачернена, и перед первыми по ходу потока роторными дисками установлены источники лучистой энергии.

На фиг.1 изображен насос, продольный разрез; на фиг.2 — сечение лопаток роторного диска.

Турбомолекулярный вакуумный насос содержит корпус 1 с размещенными в нем роторными дисками 2 с лопатками

3. Поверхность 4 лопаток 3, обращенная к набегающему потоку, отполирована, а противоположная поверхность

5 зачернена. Перед первыми по ходу потока роторными дисками 2 установлены источники лучистой энергии б.

Насос работает следующим образом.

При наборе роторными дисками 2 рабочего числа оборотов включаются источники лучистой энергии б, нагревающие первые роторные диски 2 ° В результате взаимодействия лучистого потока с поверхностями 4 и 5 роторного диска 2, имеющими различные оптические свойства, поверхность 5 нагревается до более высокой темпеРатуры, чем поверхность 4, и сообщает дополнительный импульс молекулам газа, соударяющимся с ней в процессе откачки. Благодаря этому по648753

Формула изобретения иг. 2

Составитель О.Тишина

Техред М.Петко Корректор П. Макаревич

Редактор Т.Клюкина

Заказ 521/33

Тираж 771 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д.4/5

Филиал ППП Патент, г.ужгород, ул. Проектная, 4 вышается скорость перехода откачиваемых молекул на сторону форвакуума и, тем самым,производительность насоса.

При отношении температур.зачерненной и полированной поверхностей, равном 8-10, производительность насоса повышается на 15-20%.

Турбомолекулярный вакуумный насос, )0 содержащий корпус с размещенными в нем роторными дисками с лопатками, отличающийся тем, что, с целью повышения производительности, поверхность лопаток, обращенная к набегающему потоку, отполирована, а противоположная — зачернена, и перед перHHMH IIO a pOTOpHblMH дисками установлены источники лучистой энергии.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Патент Франции Р 2065418, кл. F043319/00, 1971 °

2. Патент Англии Р 1308263, кл. F 1 С, 1973.