Стекло
Иллюстрации
Реферат
@о оз оввтс
С©йиалмстимесннн
Республик
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕН ИЯ
Й ВТОРСИОМУ СВИДБТВЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву— (22) Заявлено 02.08. 77(2) ) 2458049/29-33 с присоединением заявки №вЂ”
{23) Приоритет
Опубликовано 28.02. 79.Бюллетень ¹ 8
Дата опубликования описания 03.03.79
««649668 (5!) М. Кл.
С 03 С 3/12
Гееударстеенньй неннтет
СССР а делам нзееретеннй н етнрюнй (53) УДК 666. 112..4 (088.8) 3. П. Мипберг, Э. Ж. Фрейденфепьд, Л. В. Корзунова и P. А. Е1имдиньш (72) Авторы изобретения
Рижский ордена Трудового Красного Знамени попитехнический институт (71) Заявитель (54) СТЕКЛО
Изобретение относится к составам стекла, например, дпя конденсаторов иди покрытий на квемниевую подложку и используется в микроэпектронике.
Известно стекло, применяемое в электронной промышленности, вкпючающее, вес.%;
Р2 05
15-30
m0 20-40
М205 30-50
,О, 1О 15 Pj
Указанное стекло напыпяют с УО на кремниевые ипи графитовые подпожки, и полученная композиция имеет удепьное . о электрическое сопротивпение, при 200 С, равное 2 10 Ом см.
Наиболее бпизким к изобретению по составу является стекпо, содержащее, масс. %:
РЪО 55-66 е0 17-28
Р О 17 (21.
Однако указанные стекла не пригодны для получения покрытий, поскопьку вспедствие микронеоднородного строения поспе термообработки они теряют свою прозрачность, и их диэпектрические потери на высоких частотах резко возрастают (до термообработки Ъдд"стекол при
5 j =10 Гц (12-13) 10 4, поспе термообработки — (12-18). 10 ; на чистоте
8. 10 Гц ted =(53-56) 10 и на частоте 108 Гц 1д d ==(57-76) 10 .
-4 цепь изобретения — сохранение прозрачности после . термообработки и уменьшение диэлектрических потерь.
Это достигается тем, что стекло преимущественно дпя легкоплавких покрытий, включающее РЪО, ЧУЮ„Р 05, допопнитепьно содержит P 5 С 2, Ss О
4 0, вес.%:
РЪО 35-52 ма ЗЗ-5О
Р О, 13-2 1
ФЬСг, - О,3-0,7
2 3
О, 5-0,8
О, 1-0,8
649668
Табпица1
1 51,48 33,43 13,65 0,50 0,71 0,22
2 4604. 3892 1362 О 50 О 70 О 22
0,50 0,70 0,22
3 40,59 44,40
4 35, 18 49,84 13,56 0,50 0,70 0,22
0,22
0,72
5 47,05 34,11 11,40 0,50
6 41,49 39,70 17,37 0,50 0;72 0,22
7 3596 4528 1732 050 072 022
Введение в состав стекпа Р С1, а также окиспитепей 5Ь 0 и I,1 О дает возможность попучить стекпа с микрооднородным строением, которые после термообработки (нанесения покрытия) не теряют своей прозрачности и необходимых диэлектрических свойств (диэпектрические потери).
B качестве компонентов шихты испопьзуют окиспы свинца, вопьфрама, сурьмы, однозамещенный фосфат аммония хпорид свинца и карбонат лития марок хч" и "чда .
Шихту из расчета на 100 r ппавят о в корундовых тиглях при 1200 С в течение 1 ч. Температура отжига стекла
450-520 С.
Светопропускание стекла находится в предепах 95-92%; показатель препомпения — 1,93-2,12; ппотность окопо
6,5 г/см; температура начапа размяг- чения 430-480 С; коэффициент термичес-7 -1, кого расширения (96-100) 10 /град; удельное сопротивнение окопо 10 Ом см;
-И диэлектрические свойства на частоте
10 Гц Я 20-26 и Дд (7-15),- 10
B табл.1 приведены конкретные составы предпагаемого стекпа, а в табл.2—
1% их свойства. и и P CD О (О tf3 0:) Л t0
С3 3 О В Я
Я с"3 Р3
С0 С 3 а с 3 CD с33 Ф сО е7 сЧ с р сч < сч
I» 3= п сО с3 < .с) ж сч 3 : с Ф с33 а © О О щ
/ 3 сЧ О3 у
3 I p0 I
3С3 О
°
О CD О а П с С9 С4 Р3 с 3 Я сЧ О3 сЧ
П О С-.3 с3 с
С> И О С33 О с 3 с 3 сЧ С 3 сО 3 .
tÎ Ю с 3 с 3 п ю
О сО
00 30 3 у сЧ о3 сЧ р
tQ с 3 I сЧ
O и е3 а а о tO Я Ф ч3 и С0 сО
О3
Ol сО о сЧ
Ю о
О3
CD
CD
Ф о
С4
Я
333 и
Я о
CV о с 3"
649668
Составитепь О. Самохина
Редактор Т. Кузьмина Техред 3. Фанта Корректор И. Муска
3аказ 2248/2 Тираж 555 Подписное
ЦНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий
113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5
Филиап ППП "Г!атент, г. Ужгород, уп. Проектная, 4
Описываемое стекпо можно использовать как конденсаторный материал на радиочастотах и на СВЧ, а также для герметизации и пассивации приборов в микроэпектронной технике.
Формула изобретения
Стекпо преимущественно дпя легкоппавких покрытий, включающее P Q О, %0g, Р2 0, о т л и ч а ю щ е ес я тем, что, .с целью сохранения прозрачности после термообработки и уменьшения диэпектрических потерь, оно допопнительно содержит Р QCC, 9ф О, L1>0 при следукицем соотношении компонентов, вес.%:
Р00 35-52 О 33-50
5 Р20 13 21
P Ь CB 0,3-0,7
St) О 0,5-0,8
4 0 О, 1-0,3
Источники информации, принятые во внимание при экспертизе
1. Авторское свидетельство СССР
l4 409975, кл. С ОЗСЗ/12, 1971.
2ЯОЮСГЮМ J-,ÊîñÂ-НаП Sun,ÁÈ— ча тои А. "Р о рИс Ме Ыжв. PbO- ÌO-P O eastern", t. Amer. Се сит . посв
% 32, 1949, р. 153-160,