Токоввод для установки ионного азотирования

Токоввод для установки ионного азотирования

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Oll САНИЕ

ИЗОБРЕТЕН Ия

Союз Советских

Социалистических

Республик п1 653627

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (6l) Дополнительное к авт. свна-ву— (22) Заявлено 13.10.77 (21)2539153/24-07 с присоединением заявки № (23) Приоритет— и (51) М. Кл.

Н 01 В 17/26

Гооударотееииый комитет

СССР

IID делам изооретеиий и открытий

Опубликовано 25.03.79.Бюллетень № 11 (53) УдК 621 315 (088. 8) Дата опубликования описания ГЬ.ОЬ. З

Ю. П. Данипов, H. Q. Морозов, В. А. Сипицкий, B. Н. Метпов, Л. С. Попяков и В. В. Пионтковский (72) Авторы изобретения (71) Заявитель (54) ТОКОВВОД ДЛЯ УСТАНОВКИ

И ОН НОГО АЗОТ ИРОВ А НИ Я

Изобретение относится к электротехнике, а именно к токовводам и может быть использовано для подвода высокого напряжения к электроду, находящемуся в вакуумной камере.

Известен токоввод, состоящий из токоведущего элемента, изоляторов, зажимных втулок и корпуса вакуумной камеры установки (1) .

Токоведущий элемент изолирован от корпуса изолирующими элементами, винтовая тп крышка, установленная на внешней стороне камеры, обеспечивает герметичность токоввода. В нижней части устройства изолирующий элемент поджимается к основанию корпуса металлической втулкой, которая перекрывается металлическим колпаком.

Между металлической втулкой, основанием и металлическим колпаком устанавливаются зазоры, необходимые для предотвращения возникновения тлеющего разряда между элементами анода и катода. го

Однако система зазоров не обеспечивает длительную эксплуатацию токоввода из-за быстрого возникновения металлизированного слоя на катоде в результате напыления металлических частиц.

Наиболее близким по технической сущности к изобретению является токоввод, содержащий корпус проходящей через него токоведущий элемент, два расположенных между корпусом и токоведущим элементом и установленных с зазором между собой и коаксиально токоведугцему элементу изолятора и крепежные элементы (2).

Во внешнем изоляторе устанавливается дополнительный изолятор с размещенным на нем металлическим кольцом, в результате чего образуются защитные зазоры между токоведущим элементом (катодом) и зажимной втулкой, соединенной с корпусом установки (анодом).

Однако большой зазор между зажимной втулкой и токоведущим элементом приводит к напылению металлических частиц на изоляторе; кроме того, введение дополнительного металлического кольца приводит к образованию на нем дополнительного положительного потенциала, что может привести к явлению пробоя.

Кроме того, в известном токовводе токоведущий элемент жестко закреплен во внешнем изоляторе, что не позволяет регулиро65362

-- --3---вать расстояние между токоведушим элементом и корпусом.

Для повышения надежности и расшире- ( ния функциональных возможностей известный токоввод для установки ионного азоти- 5 рования, содержащий корпус, проходящий через него токоведуший элемент, два расположенных между корпусом и токоведушим элементом и установленных с зазором между собой и коаксиально токоведушему элементу изолятора и крепежные элементы, снабжен расположенным с одного из торцов коаксиальных изоляторов со стороны, противоположной корпусу, дополнительным изолятором, выполненным в виде шайбы с цилиндрическим пазом в центре, при этом коакси- 15 альные изоляторы расположены на части своей длины в пазу, торец внутреннего изот лятора непосредственно прилегает к шаибе, а торец внешнего изолятора расположен на расстоянии 0,2 — 0,5 мм.

Кроме того, токоввод снабжен установленной между токоведушим элементом и внутренним изолятором металлической втулкой и установленной соосно ей со стороны корпуса цангой, при этом зажимные элементы выполнены в виде дисков, один из которых расположен .на шайбе, а другой— на цанге.

На чертеже изображен предлагаемый токоввод, разрез.

Формула изобретения

1. Токоввод для установки ионнного азотирования, содержащий корпус, проходяший через него токоведуший элемент, два расположенных между корпусом и токоведушим элементом и установленных с зазором между собой и коаксиально токоведушему элементу изолятора и крепежные элементы, отличающийся тем, что, с целью повышения надежности, он снабжен расположенным с одного из торцов коаксиальных изоляторов со стороны, противоположной корпусу, дополнительным изолятором, выполненным в виде шайбы с цилиндрическим пазом в центре, при этом коаксиальные изоляторы расположены на части своей длины в пазу, торец внутреннего изолятора непосредственно прилегает к шайбе, а торец внешнего изолятора расположен на расстоянии 0,2 — 0,5 мм.

2. Токоввод по п. 1, отличающийся тем, что, с целью расширения функциональных возможностей, он снабжен установленной между токоведушим элементом и внутренним изолятором металлической втулкой и установленной соосно ей со стороны корпуса цангой, при этом зажимные элементы выполнены в виде дисков, один из которых расположен на шайбе, а другой — на цанге.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Патент США № 3018409, кл. 315-111, 1963.

2. Патент ФРГ № 1143078, кл.48 В 11)20, 1963.

Он состоит из корпуса 1, токоведушего элемента 2, внутреннего изолятора 3, внешнего изолятора 4, установленных с зазором между собой и коаксиально токоведушему элементу. На торцах коаксиальных изоляторов со стороны, противоположной корпусу, расположен третий изолятор, выполненный в виде шайбы 5 с цилиндрическим пазом 6 в центре. Шайба 5 расположена непосредственно на торце внутреннего изолятора 3, а от торца внешнего изолятора отстоит на

40 расстоянии 0,2 — 0,5 мм. Между токоведушим элементом 2 и внутренним изолятором 3 установлена металлическая втулка 7 с наружной резьбой на одном ее конце, посредством которой на ней закреплен диск 8. Соосно втулке 7 расположена цанга 9, посредством которой можно регулировать расстояние между торцом токоведушего элемента и корпусом.

С внешней стороны корпуса 1 установлен другой диск 10, который винтами 11 крепится

4 к корпусу 1. Диски 8 и 10 стягивают всю конструкцию токоввода. Между втулкой 7 и цангой 9 расположен уплотнительный элемент 12.

Токоввод для установки ионного азотирования работает следуюшим образом.

При подаче на токоведуший элемент высокого напряжения и возникновении тлеющего разряда (за счет системы зазоров между изоляторами во время процесса очистки) частицы металла не проникают в промежуточное пространство между вертикальными изоляторами. Тем самым исключается возможность напыления внутреннего изолятора а также исключается явление пробоя. Перемешение стержня токоввода осуществляется за счет ослабления цанги.

653627

Составитель Л. Масальцева

Редактор Т. Шагова Техред О. Луговая Корректор И. Ковальчук

Заказ !295)36 Тираж 922 Подписное

НННН11Н Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий ! 3035. Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП «Патент», r. Ужгород, ул. Проектная, 4