Способ обнаружения незагерметичности замкнутых изделий

Способ обнаружения незагерметичности замкнутых изделий

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Союэ Соаетсиик

Социалистических

Республик « 654870 (6l) Дополнительное к Bit. снид Ву (22) Заявлено10.10.77 (2!) 2532439/25-28 с присоединением заявки № (23) Приоритет

Опубликовано 30.03.79Бюллетеиь 3412

Дата опубликовании описания 02.04.79 г (5L) М. Кл.

G 01 М 3/10

&аеудаР&те&нньФ N&&w&l

СССР ее диан изебрет&еа а атер@тай (53) @gal 620.165. .29(088.8) (72) Авторы изобретения

B. Т. Кузьмина и Л. E. Левина (73) Заявитель (54) СПОСОБ ОБНАРУЖЕНИЯ НЕГЕРМЕТИЧНОСТИ

ЗАМКНУТЫХ ИЗДЕЛИЙ

Изобретение относится к испытательной технике и может быть использовано для обнаружения чезагерметизированных замкнутых изделий.

Известен способ обнаружения негерметичности замкнутых изделий, заключающий- ся в том, что проверяемое изделие погружают в нагретую высококипящую жидкость и о незагерметизированности замкнутого изделия судят по появлению пузырьков, газа, вытекающего из имеющейся течи (1), Однако данный способ имеет ограничение по верхнему пределу течи, малую производительность труда и невозможность автоматизации процесса контроля.

&5

Наиболее близким к изобретению по технической сущности и достигаемому эффекту является способ обнаружения не« герметичности замкнутых изделий, напри мер полупроводниковых приборов, согласно которому испытуемое изделие помещают в контрольную камеру, соединяют камеру с датчиком давления и о негерметичности изделия судят по уровню давления в системе измерения, достигаемому к моменту завершения ее (2).

Недостатком этого способе является ограничение по верхнему пределу обнаруживаемых течей в негерметичных изделиях, из которых газ. откачивается практически сразу.

Цель изобретения - повышение надежности обнаружения негерметичности изделий.

Эта цель достигается тем, что объем

V контрольной камеры выбирают из соагХ ношения P

y y ИЯЯ, +y аРмин и подсоединяют его без откачки к предварйтельно откаченноМу вспомогательноМу объему Ч, выбираемому из соотношения

75®Чк- и)+Ч l- Р RV -V )+,+ Ч

l4HH к и

ЖЭ. мин

760((Ч н)+4 P |N„-Ч )+v +y<) 654Й70 мо

V4» V мокс к в р и мин

В случае негерметичности изделия Щ . датчик давления регистрирует увеличение давления по сравнению с установпенным дпя герметичных изделий. Для надежной регистрации негерметичности издепия это увеличение давления, соответствующее определенному сигналу датчика, должно быть не менее еигнапа, вызываемого минимапьным изменением давпения в системе измеРениЯ ьР„ии, достовеРно Регистрируемым на фойе давпения максимапь., ©

НОГО ДПЯ ДаННОГО ДатЧИКа Р кс

Предложенный способ дает. возможность. надежного опредепения негерметичности замкнутых изделий различного.объема пу

° тем вкпюченкя вспомогательного объема, разпичиого при разпичных объемах внутренних полостей испытуемых изделий, позвопяет автоматизировать процесс испыта ний при массовом производстве замкнутых иэделий, особенно микроминиатюрных.

Составит

Редактор H. Суханова Техред подсоединяют контрольную камеру с вспомогательным объемом к предварительно откаченному измерительному объему Vg" датчика давления и с его помощью определяют уровень давления, 5 где 1/;, — наружный объем испытуемого изделия;

V - внутренний объ м испытуемого а изделия;

Др - минимальное изменение цавпе- 9а

МИН ния в системе измерения, регистрируемое датчиком, мм, рт.. ст.; †. минимальное давление, регистримин руемое датчиком на фоне остаточного давпения в системе измерения, мм рт. ст.; 9$

Р а„- максимальное давление, регист-. рируемое датчиком, мм рт. ст.

Способ осуществпяют следующим образом .

29

Размещают изделие в контрольной ка мере с объемом 7„, подсоединяют его без откачки к предварительно откаченному вспомогательному объему V, подсоединяют контрольную камеру с вспомогательным объемом к предваритепьно откаченному измерительному объему Vg дат чика давления, например U «образного жидкостного манометра, Формула изобретения

Способ обнаружения негерметичности замкнутых изделий, например попупроводниковых приборов, заключающийся в том, что изделие помешают в контрольную камеру, соединяют камеру с датчиком давпения и ло уровню давления в системе измерения судят о негерметичности изделия, отличающийся тем,что,с целью повышения надежности обнаружения, объем V контрольной камеры выбирают из соотйошения подсоединяют его без откачки к предварительно откаченному вспомогательному объему У, выбираемому из соотношения подсоединяют контрольную камеру с вспомогательным,объемом к предварительно откаченному измерительному объему Vy датчика давления и с его помощью определяют уровень давления, где V - наружный объем испытуемого изделия;

- внутренний объем испытуемого

Ь изделия;

ЬР - минимальное изменение давления мин в системе измерения, регистрируемое датчиком, мм рт. ст.;

Р - минимальное давление, регистриИИМ руемое датчиком на фоне остаточного давпения в системе измерения, мм рт. ст.;

Р - максимальное давпение, регистйюкс рируемое датчиком, мм. рт. ст.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Патент США № 3548636, кл. 73-40.7, 1970.

2. Патент Франции ¹ 1379106, кп. & 01 L 1973. епь В. Махров

Н. Строганова Корректор Г. Назарова

Ф Заказ 2273/4 Тираж 1089

UHHHHH Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Фипиап ППП Патент, г. Ужгород, ул, Проектная, 4

Подписное