Электрод электровакуумного прибора

Электрод электровакуумного прибора

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (i i! 654c((8О

Ьюз бметскял

Социалистических

Республик (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 15.07.77 (21) 2508669/18-25 с присоединением заявки № (23) Приоритет (43) Опубликовано 30.03.79. Бюллетень № 12 (45) Дата опубликования описания 30.03.79 (51) М. Кл.

Н 01J 9/04

Государстненный комитет (53) УДК 621.3.032.22 (088.8) оо делам изобретений и открытий (72) Авторы изобретения В. А. Хмара, А. А. )Кучков, Г. Г. Гонтарев и А. М. Морозов (71) Заявитель (54) ЭЛЕКТРОД ЭЛЕКТРОВАКУУМНОГО ПРИБОРА

Изобретение относится к области электронной техники, в частности, к электродам электровакуумных приборов СВЧ.

На поверхности электродов при отборе на них тока возникают плазменные микрообразования, вследствие этого ухудшаются многие электрические и эксплуатационные характеристики электровакуумных приборов (уровень шумов, электрическая прочность, порог возбуждения, величина допустимой тепловой нагрузки и т. д.).

Известны электроды, на которые с целью подавления плазменных микрообразований наносятся антидинатронные покрытия, например, путем золочения или чернения (1).

Недостатком таких покрытий является невозможность их применения для электродов, подвергающихся интенсивной электронной бомбардировке.

Известны электроды, содержащие метал- 20 лическую основу с антидинатронным покрытием {2), представляющие собой медную основу, покрытую тугоплавким металлом.

Это позволяет снизить уровень плазменных микрообразований, и тем самым увеличить 25 допустимые нагрузки на электрод, что затруднительно, особенно для электродов сложной формы. Отсюда эксплуатационные параметры прибора являются недостаточными. 30

Цель изобретения — повышение эксплуатационных параметров прибора путем подавления плазменных микрообразований, возникающих при отборе тока на электрод.

Поставленная цель достигается тем, что в качестве материала покрытия использован дисульфид молибдена толщиной от 100 до 1000 А.

Дисульфид молибдена имеет ламеллярную микропластинчатую структуру, поэтому для обеспечения устойчивого закрепления покрытия на поверхности металла оно полностью должно находиться в поле молекулярного притяжения поверхностных сил металла, отсюда максимальная толщина поо крытия не должна превышать -1000 А.

Минимальная толщина слоя определяется следующими факторами: дисульфид молибдена при электронной бомбардировке воздействует на дефекты тонкой структуры поверхности металла, минимальная величина которых оценивается 10- — 10- см или о

10 — 100 А, толщина наносимого покрытия поэтому не должна быть меньше этой величины; для сохранения антидинатронных свойств покрытия его толщина не должна быть меньше 10 — 20 монослоев или

60 †1 А. Следовательно, для подавления плазмеHHых микрообразований, сопрОБОгк— дающих электронную бомбардировку и обусловленных дефектами поверхностного слоя металла, величина слоя дисульфида молибдена должна лежать в пределах 100-1000 А, Пример. Электроды прибора подвергались предварительной очистке по типовой технологии, после чего на рабочую поверхность методом натирания или ионно-плазменного напыления наносилось покрытие из обезвоженного дисульфида молибдена.

Электрод устанавливался в прибор, после чего происходила откачка и обезгаживание прибора по принятой технологии. Стабилизация свойств покрытия проводилась посредством электронной бомбардировки в процессе тренировки прибора.

Электроды из меди, молибдена, вольфрама, покрытые дисульфидом молибдена позволили снизить плотность плазменных микрообразований на поверхности их на один— два порядка, в результате чего достигнуты увеличение предельной импульсной нагрузки на медную поверхность анода в 1,6—

1,8 раза за счет повышения порога самофокусировки электронного луча; подавление паразитного возбуждения, повышение элек1рической прочности, устранение вторичного электронного резонанса и снижение уровня шумов па ряде образцов электровакуумных приборов СВЧ; снижение коэффициента вторичной электронной эмиссии па меди до 0,8 — 0,9.

Покрытие проявляет эффективность раооты в течение длительной эксплуатации.

Формула изооретения

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Эспе В. Технология электровакуумных материалов. Т. 1, М-Л., Госэнергоиздат, 1962, с. 132.

2. Патент Франции ¹ 1382046, кл. Н 01J, опублик. 02.11.64.

Электрод электровакуумного прибора, содерхкащий металлическую основу с антидинатронным покрытием, отличающийся

15 тем, что, с целью повышения эксплуатационных параметров прибора путем подавления плазменных микрообразований, возникающих при отборе тока на электрод, в качестве материала покрытия использован

20 дисульфид молибдена толщиной от 100 до

1000 А.

Составитель А. Киселев

Редактор T. Рыбалова Техред H. Строганова Корректоры: О. Тюрина и А. Степанова

Заказ 309/6 Изд. ¹ 239 Тираж 922 Подписное

НПО Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, )К-35, Раугпская наб., д. 4, 5

Типография, пр. Сапунова, 2