Схема для измерения давления в отпаянных электровакуумных приборах

Патент 656126

Авторы

Иллюстрации

Показать все

Реферат

Союз Советских

Социалистических

Республик

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

1111 656126 и (51) М. Кл.

Н 01 J 9/42

С 011 21/32 (6l) Дополнительное к авт. свил-ву (22) Заявлено 23.06.76 (21) 2376831/18-25 с присоединениеее заявки № (23) Приоритет

Опубликовано05.04. 79.Бюллетень № 13

Дата опубликования описания 09.04.79

Гооударстеенный комитет

СССР оо делам нзооретеннй н открытнй (53) УДК 531.788 (088. 8) В. К. Базылле, В. А. Коротченко, И. А. Милюхин и П. В. Пошехонов (72) Авторы изобретения

Рязанский радиотехнический институт (71) Заявители (54) СХЕМА ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ДАВЛЕНИЯ В ОТПАЯННЫХ

ЗЛЕКТРОВАКУУМНЫХ ПРИБОРАХ

Изобретение относится к области вакууметрии, в частности, к устройствам для измерения давления в отпаянных электровакуумных приборах (ЭВП).

Известна схема для измерения давления остаточных газов в ЭВГ1, содержащая источник накала катода, источник ускоряющего напряжения, источник смещения катода, усилитель ионного тока и стабилизатор электронной эмиссии (1).

Недостатком такой схемы является значительная инерционность системы, особенно при измерении давления в мощных ЭВП, приводящая к ограничению пороговой чувствительности за счет возрастания фонового тока в цепи коллектора ионов при разогреве внутренних деталей ЭВП.

Известна также схема для измерения давления в отпаянных ЭВП, содержащая дополнительно блок компенсации фонового тока и запоминающий усилитель ионного тока (2).

Наличие в этой схеме стабилизатора эмиссии определяет недостатки, присущие известной схеме. Блок компенсации фонового тока нс может обеспечить значительНОГО ПОВЫIПЕНПЯ ПОРОI ОВОй Ч3 13CT131ITC;tl>ltOCTII, TBK как с прОГрсвом фОНОВЫ1 . Токи Возрастак>т и эффективность компснсацпи оказывается низкой.

Кроме того, относительно велика погрешность измерения давления за chicò элсктри tccIx0I 0 lloI 101t3cl111H cаза в замкнмтОAI Обьеме ЭВП, Tati I ax «роцесс измерения Оказывается длительным.

Такая схема измерения давления имеет огранпченнук1 применимость, обусловленнуlî отсутствием эффективных стабилизаторов эмиссии для ЭВП разных типов. При подключении ЭВП с подогревом катодом и стабилизатору эмиссии промышленных вакуумомстров в схеме, как ttpHItltло, возникают незатухающие колебания, делающие невозможным процесс измерения давления.

Lle1b предлагaev010 изобретения вЂ” снижение погрешности измерения давления, повышение пороговой чувствительности схемы и расширение возможности ее применения.

Для этОго в цепь катода электровакуумного прибора между источником смещения катода и нулем схемы введен блок управ656126 ления, соединенный с запоминающим усилителем ионного тока.

Блок управления состоит из источника опорного напряжения, измерительного резистора и нуль-органа, выход которого соединен с запоминающим усилителем ионного тока.

Конкретная схема блока управления определяется типом запоминающего усилителя ионного типа.

С целью упрощения процесса измерения давления схема содержит блок автоматического переключения диапазонов измерения, в частности, выполненный по схеме триггерного счетчика, в выходные цепи которого включены обмотки реле, а их контакты соединень1 с резисторами на входе запоминающего усилителя ионного тока.

На фиг. 1 изображена схема устройства для измерения давления, на фиг. 2 кривая зависимости величины электронного, тока от времени.

Измерение давления осуществляется следующим образом.

На электроды ЭВП 1 (фиг. 1) подают ускоряющее напряжение (100 вЂ” 300 В) от источника 2 и напряжение смещения катода (20 вЂ” 50 В) от источника 3; появляющийся при этом в цепи анода (коллектора ионов) фоновый ток компенсирует с помощью блока 4 компенсации. Включают накал катода от источника 5. Измерение возрастающего тока коллектора в процессе разогрева катода осуществляется запоминающим усилителем 6 ионного тока с автоматическим выбором диапазона измерения. Блок 7 управления вырабатывает импульс включения памяти усилителя ионного тока, когда электронный ток достигает заданного уровня. Измерение давления производится непосредственно в момент времени (, (фиг. 2), а не в момент времени t2, как это делается в известных схемах измерения давления.

Недостатки, присущие известным схемам измерения давления, устраняются в предлагаемой схеме следующим образом.

1. Время измерения давления значительно сокращается, так как исключаются .операции по регулировке тока эмиссии и его измерению, а переходный процесс установления электронного тока практически отсутствует. В связи с этим резко уменьшается эффект электрического поглощения газа и вызыванные этим эффектом ошибки измерения давления.

2. За малое время измерения давления электроды (кроме катода) и изоляторы ЭВП не успевают заметно прогреться и поэтому фоновый ток коллектора сохраняется на том же достаточно низком уровне, что и в холодной лампе. Поэтому компенсация обеспечивает эффективное подавление фонового

S тока и, тем самым, повышение пороговой чувствительности.

3. Отсутствие необходимости стабилизации эмиссии позволяет измерять давление по предлагаемой схеме в ЭВП с тремя и более электродами независимо от мощности накала, что обеспечивает универсальность предлагаемой схемы.

Малое время измерения давления обеспечивает высокую производительность труда при обследовании ЭВП в условиях крупноls серийного производства.

Формула изобретения

1. Схема для измерения давления в отпаянных электровакуумных приборах, содержащая источник накала катода, источник ускоряющего напряжения, источник смешения катода, блок компенсации фонового тока и запоминающий усилитель ионного тока, оТличающаяся тем, что, с целью снижения погрешности измерения, повышения пороговой чувствительности схемы и расширения возможности ее применения, в цепь катода прибора между источником смешения катода и нулем схемы введен блок управления, соединенный с запоминающим усилителем ионного тока.

2. Схема по п. 1, отличающаяся тем, что блок управления состоит из источника опорного напряжения, измерительного резистоз5 ра и нуль-органа, выход которого соединен с запоминающим усилителем ионного тока.

3. Схема по п. 1 и 2, отличающаяся тем, что, с целью упрощения процесса измерения давления, она содержит блок автоматического переключения диапазонов измерения.

4. Схема по п. 3, отличающаяся тем, что блок автоматического переключения диапазонов измерения выполнен по схеме триггерного счетчика, в выходные цепи которого

45 включены обмотки реле, а их контакты соединены с резисторами на входе запоминающего усилителя ионного тока.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Матвейко P. П. и др. Измерение давления в ЭВП с помощью промышленных вакуумметров. Электронная промышленность ЦНИИ «Электроника», 1974, № 4, с. 89.

8. Авторское свидетельство СССР

ss № 298973, кл. Н 01 3 9/42. 1969.

656126

Фиг.!

tg фиг. Х

Составитель Г. Жукова

Техред О. Луговая Корректор О. Билак

Тираж 922 Подписное

Редактор Б. Павлов

Заказ 1538/43

LLHИИПИ Государственного комитета . СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб. д. 4/5

Филиал ППП «Патент», r. Ужгород, ул. Проектная, 4