Устройство для нанесения покрытий в вакууме

Устройство для нанесения покрытий в вакууме

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

рI) 6596

О П И С-ЖЯ-"Й-Е

ИЗОБРЕТЕНИЯ

Сонзз Советских

Социалистических

Республик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Г )Ъ@,„, к1б: -

/ " (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 09.08.77 (21) 2516191/18-21 с присоединением заявки № (23) Приоритет (43) Опубликовано 30.04.79. Бюллетень № 16 (45) Дата опубликования описания 30.04.79 (5I) М. 1(л.-

С 23С 13 08

Государственный комитет (53) УДК 621.793. .14002.52 (088.8) по делам изобретений н открытий (72) Авторы изобретения

Я. М. Латышев (71) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ

В ВАКУУМЕ

Изобретение относится к электровакуумной промышленности и предназначено для использования его в составе установки для вакуумного напыления тонких пленок с помощью термического испарения вещества в вакууме на дисках (мишенях) стеклянных баллонов ФЭП.

Известно устройство, в котором при термическом испарении вещества в вакууме испаряемое вещество помещают внутрь стеклянного баллона в тигель из тугоплавкого металла, внутри oaллона создают вакуум и с помощью высокочастотного индуктора, надетого снаружи на стеклянный баллон, обеспечивают разогрев тигля до температуры интенсивного распыления вещества. Вакуум внутри стеклянного баллона нужен для увеличения скорости диффузии атомов напыляемого вещества от испаритсля к мишени и предотвращения химического воздействия испаряемого веьцества с активными газами.

Экран, устанавливаемый в процессе напыления внутри стеклянного баллона между тиглем и испаряемым веществом и мишенью, необходим для точной фиксации начала времени напыления и получения более чистого слоя на мишени, так как в начальный момент испарения присходит отпыление первых слоев вещества, уже загрязненного атмосферным воздухом.

I(недостаткам такого устройства относятся сложность конструкции и ее большая металлоемкость.

Из известных технических решений наиболее близким к изобретению по технической сущности является устроиство для нанесения покрытии в вакууме, содержащее

1р камеру-баллон из пемагнитного материала с размещенными в ней испаритслсм наносимого вещества Ilл, спестковым экраном с держателем.

Недостаток такого устройства заключаетсяся в сложности его конструкции.

Цель изобрстения — упрощение конструкции. Это достигастся благодаря тому, что устройство для нанесения покрытии в вакууме, содержащее камеру-баллон из немагнитного материала с размещенными в ней пспарителем наносимого вещества и лепестковым экраном с держателем, снабжено коаксиально расположенным цилиндрическим экраном, выполненным из немагнитного материала, а лепестковый экран имеет V-образный фиксатор, одно плечо которого закреплено на верхнем торце цилиндрического экрана, а на другом плече размещена пластина из магнитного ма30 териала, >>

- Ф;659641

На черте;кс изображен всртика Il>ill>lll разрез экранирующего устройства в положении, кОГдя . Ic(IEÑTêOÂ ûÉ экран за к1) ы Вя. ет исг!а рител ь.

Держателем 1 к стеклянному цилин 1)l! IccKo1I), экран ) 2, ) cT, (нс(В;(и»яемому дь(й раз внутрь камеры-ба. Iëof!à 3 !!)) l! напылении прикрепляется леисстко»ыи -экран 4 с помощью зажима 5.

С противоположной стороны;(сржат(ля

1 на предусмотренную на цилиндрическом экране 2 фаску с помощь!о крючка зацепляется V-образный фиксатор 6 с отоп(утым

КОНЦОМ, На KOTOPOI!» I OP!13011TH.I(I(0 (I IIOложенги! перед каждым напылением устанавливается лепестковый экран 4.

Для обеспечения открывания (pl(ccT!<0»oI 0 экрана 4 K >>> --Ooj) 3:(((0.>(), (j) II Kc3 To)) x б

НP НВLIPИВЯСТС)1 ИЗ \! 3ГII I!Тl!О! О )I il ТСР Il H, (I! плаcTина 7.

Экраниру(он(сс устройство pH()0T;! cт сл(дующим образом.

:) Става»ЛИ»с(!От На С»ОС МССтО IIC!(HP!Iтель 8 с исиарясмым всщест»ом. ЛсисстK0вый экран 4 II V îáðHç»ûé фиксатор (>

ЗЯЦЕПЛЯК)Т С»01(МII КPIОЧKс(МИ i<;! СKс()l, предусмотренным ня цилиндрическом )K.— ране 2. Лепестковый экран 4 с помоии ю >> -Обp 23HQTО (I)II KcHTop 2 б уста и а»ли» 110 горизонтальное положение, цилиндрический экран 2 устанавливают на место. Камсрубаллон 3, подготовленную для напыг!ения, насаживают на цилиндрический экран 2.

Внутри камеры-баллона 3 обссисчивакп с помощью вакуумной системы нсоб <одимое давление и на нее устанавливают»ысокочастотный индуктор 9.

Высокочастотным нндуктором р азогрс»ают испаритель 8 до интенсивного исиарсНИ Я»CIII,ÑÑÒÁЯ, Зс(,(ОЖ IIIIOI 0» II(. (О, Il С IIO мощью ма(инта 10, установленного прот(!» п13cTi!ны 7, оттягивают фиксатор от лепесткового экрана 4. Последний под своим соост»сииым несом на шарнире перемсщасгс)(»(ill» ll занимает вертикальное полоЖЕНИ(, OO(. CII(. ЧИВЯ)(ДОСТУИ ЧИСТОГО ИСПЯР )((.;!ОГО» Ill»> Т»Я»и> ТРИ Ка М(.:j) f>i-()3, IЛОН с!

) l1ii (. Го i! (111! (((1, »:iа,(Я f(1(f>lй . >(ОМСI! Т В РС)И .)(II LK

Ус!ро(к(; î имс(т следуlol;III(. прсимущсст»а: простоту конструкции и малую ес металлосмкос»>, (добство сборки и разборки соста»иы.; частей устройства перед

)) кажды((112!i»! (ение)(, которая необходи !3 для чистки де((()(ей экранирующего устройс на, с целью получения на Ai(1(1(cни наибо,(сс >!Всть(.< с,!ос», о!»(>13(он(и): заданным

Ис(Рс!МС(Рс(М; ОтКРЫВЯНИС ЛСИСС »<О»ОГО )K >() j) fill!i IIO, (дСИ С(ВИ(".с! (. ООС I !>Си »ОГО ВССЯ

»НИ.), ООСС ll(>I I! ((Я IO(l(C(. ()O, I С(И сl.((. )КН > IO Pil бо у ус ро((с ! я. (j) О P М М Г(сl I I 3 0 0 P С Т С Н И >1

> СТРОИСТ»0 ДЛ)! IIHIICCC(((I)I ИОКРЫТИ(! В

Вакууме, содержащее камеру-оаллон из немагнитно!.о материала с размещенными в ией исиарнтслем наносимого »с(цест»а и лепестков(>(ì экраном с держателем, о тл и;)() l 3 10!!(C С С и ТСМ, ЧТО, С ЦЕЛЫО УI(POII(СНИЯ

K 011 C T j ) М К Ц I I » > "> C T P 0 и C T В 0 C l (Я 0 iK C H 0 K 0 B K C 1( яльио рас(юложенным цилиндрическим экраном, выполненным из нсмагнитного маТСPIIB, 13, ii ЛСli(.ÑÒKÎÂÛ!! HKPH f1 СНЯОЖ ll

3 -обрс(зным фиксатором, одно плечо которого закреплено иа Вер:<нем торце цилиндрического HKpiil!2, а на другом плече размещена илас !IHH из магнитного матер((ала.

659641 — 1!

J i e,гактор Е. Караулова

3: киз I!5!13 Изд. М 302 Тираж 138 Подписное

I lIlO Государственного комитеза СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раугиская наб., д. 4/5

Типография пр. Сапунова, 2

Составитель Л. Беспалова

Техред Л. Орлова (1

Корректоры: А. Галахова и Е. Хмелева