Криогенная ловушка

Криогенная ловушка

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОПИСАНЙЕ

ИЗОБРЕТЕЙИ Я

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (i ii 659791

Союз Советских

Социалистических

Республик (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 06.08.76 (21) 2392768 25-06 с присоединением заявки М (23) Приоритет (43) Опубликовано 30.04.79. Бюллетень ч" 16 (45) Дата опубликования описания 30.04.79 (51) Ч. Кл.-

F 04F 9 06

Гасударственный комитет

Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий (53) УДК 621.52.8 (088.8) (72) Лвторы нзобэетения

Л. 3. Закиров, В. М. Мухин, Е. В. Чубаров и Г. Я. Шумаков (71) Заявитель (54) КРИОГЕИНАЯ ЛОВУШКА

Изобретение относится к области вакуумной техники.

Известна ловушка, содержащая корпус с внутренним сосудом, заполненным хладагентом, и защитные элементы (1).

Защитные элементы этой ловушки резко снижают вакуумную проводимость. Возможен, кроме того, и прямой пролет газа на сторону высокого вакуума.

Известна также крпогенная ловушка, со- 10 держащая охлаждающее устройство, размещенное в торообразном корпусе с фланцами, расположенными во взаимно перпендикулярнь|х плоскостях (2j.

В данной ловушке исключен прямой про- 15 лст молекул газа, однако вследствие небольшого проходного сечения, образованного охлаждающим устройством, пропускная способность ловушки ограничена.

Целью изобретения является увеличение 20 проводимости.

Указанная цель достигается тем, что охла>кдающее устройство выполнено в виде спирали, повторяющей форму корпуса и располо>кенной в последнем с минималь- 25 ным зазором.

На чертеже показана предлагаемая ловушка.

Криогенная ловушка содержит охлаждающее устройство, размещенное в торооб- 30 разном корпусе 1 с фланцами 2 и 3, расположенными во взаимно перпендикулярных плоскостях. Охлаждающее устройство выполнено в виде спирали 4, повторяющей форму корпуса 1 и расположенной в последнем с минимальным зазором.

Изгиб корпуса 1 ловушки и спирали 4 охлаждающего устройства делает ловушку оптически непроницаемой в молекулярном режиме течения газов, а расположение спирали 4 охлаждающего устройства вдоль всей длины корпуса 1 ловушки исключает пленочную миграцию рабочей жидкости по стенке.

При работе ловушки откачиваемый газ и обратный поток рабочей жидкости от диффузионного насоса (на чертеже не показан), проходя через оптически непроницаемый канал с малым сопротивлением, образованный изогнутой спиралью 4, конденсируется на ее поверхности. Газы, имеющие температуру конденсации ниже, чем температура жидкого азота. откачиваются диффузионным насосом.

Использование описываемой ловушки в высоковакуумных агрегатах, например в диффузионных, в 1,5 — 2 раза увеличивает проводимость ловушек и соответственно производительность откачного оборудования.

659791

Формула изогрет сии я

Составитель О. Тишина Корректор T. Добровольская

Редактор Т. Горячева

Заказ 560/8 Изд. № 272 Тираж 779 Подписное

НПО Государственного комитета СССР по делам изобретений и огкрыгнй

113035, Москва, K-35, Раушскач наб., д. 4,5

Типография, пр. Сапунова, 2

Криогенная ловушка, преимущественно диффузионного насоса, содержащая охлаждающее устройство, размещенное в торообразном корпусе с фланцами, расположенными во взаимно перпендикулярных плоскостях, о т л и I а ю щ а я с я тем, что, с целью увеличения проводимости, охлаждающее устройство выполнено в виде спирали. IIoBTp.ðÿþïp.II форму корпуса и расположенной в послеонсм с хнг нимальнь|м.,а. зором.

Источники информации, принятые во в IIIuaIIIIe при экспертизе

1. Липко А. И. Конструирование и pac9 åò вакуумных систе vl. М., -Энергия», 19il), с. 212.

2. Патент ФРГ Мз 1428291, кл. 27<1 ;1111>, 10 опублик. 1964.