Конденсатор постоянной емкости

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ПАТ .:".

ОПИСА ИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

Союз Советских

Социалистическкк

Республик оо 661621

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕПЬСТВУ (61) Дополнительное к авт, свид-ву(22) Заявлено 24.11.77(21) 2546284/18-21 (51)М, Кл.2 с присоединением заявки ¹

Н 01 8 4/14

Государственный комитет

СССР ио делам изобретений и открытий (23) Приоритет—

Опубликовано 050579. Б оллетень ¹ 17 (53) УДКб21. 319. . 4 (088. 8), Дата опубликования описания 0К0579 (72) Авторы

H3Q6p9TAHH$I В. М. Калюжный, Б. В. Ткачук и В. А. Цендровский (71) 3+»«e» (54 ) КОНДЕНСАТОР ПОСТОЯННОЙ ЕМКОСТИ

Изобретение относится к микроэлектронике, в частности к технологии изготовления элементов микросхем.

Известен конденсатор посто .нной емкости в ниде нанесенных на иэо5 ляционную подложку металлических обкладок, разделенных диэлектриком. B качестве диэлектрйка используют триацетат, ацетобутират, полистирол и др. (1).

Недостатки этого устройства обусловлены типом диэлектрика. На пример, при использовании полистирола область рабочих температур конденсатора сильно ограничена. f5

Наиболее близок к предлагаемому конденс .тор постоянной емкости, содержащий нанесенные на диэлектрическую подложку металлические обкладки,изолированные друг от друга плен-.20 кой органического диэлектрика, в качестве которого использован полипараксилилен (2}.

Недостатки такого устройстваограниченная область рабочих температур и сложная технология его изготовления.

Цель изобретения — расширение области рабочих температур конденсатора и упрощение технологии. ЗО указанная цель достигается тем, что в конденсаторе, содержащем нанесенные на диэлектрическую подложку металлические обкладки, изолированные друг от друга пленкой органического диэлектрика, в качестве органического диэлектрика использована желатина.

Конструкция описываемого конденсатора постоянной емкости изображена чертеже.

На диэлектрическую подложку 1 нанесены металлические тонкопленочные обкладки 2 и 3, разделенные желатиновой пленкой 4.

При изготовлении конденсатора на диэлектрическую подложку 1 напыляют в вакууме металлическую обкладку 2, затем наносят водный раствор желатины таким образом, чтобы он покрывал большую часть обкладки, и высушивают до получения твердой желатиновой пленки 4. После этого вакуумным напылением Формируют вторую металлическую обкладку 3,Ниже приведены сравнительные характеристики различных органических диэлектриков.

661621

Тип диэлектрика

Характер тики олифе ни ксид ацетат цетобу ат елатина

Диэлектрическая проницаемость 3,5-4

2, 3-2,6

2,5-2,6

2,7

2,0

-4 -ф

5х10 (1-2) х10 (1-2)х10

3, 5х10

Иаксимальна я темБература, С

175

125

200

250

Напряжение пробоя, в /см 1х10

7, 5х10 5х10 (Р б Зх10 5x10 @

7х10

Прочность на растяжение, кг/см

900-1200 800-900 600

160 (1200) 700

600

Формула изобретения

Составитель B. Куликов

РЕДахтОО Б. ФЕдртОВ ТЕХ Е !кБаОРРКа КО Ехтр А. Ввааавхе

Заказ 2489/55 Тираж 922 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 3о

Филиал ППП Патент, г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Диэлектричес- -ф кие потери (5-10) х10 (2-3) х10

Конденсатор постоянной емкости, содержащий нанесенные на диэлектрическую подложку металлические обкладки, изолированные друг от друга пленкой органического диэлектрика, о т л и ч а ю шийся тем, что, с целью расширения области рабочих температур и упрощения технологии, в качестве органического диэлектрика использована желатина.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Дюммер В. А. и др. Конденсаторы постоянной и переменной емкости, И.-Л., ГЭИ, 1963, с. 163-174.

2. Авторское свидетельство СССР

9 232385, кл. Н 01 G 3/095, 1969.