Зондовая головка
Иллюстрации
Реферат
<>661862
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Советскик
Социаяистическнк
Республик (61) Дополнительное к авт. свид-ву— (51)М. Кл. (22) Заявлено 14g 377 {21) 2461945/18-21
Н 05 К 1/04
G R 1/06 с присоединением заявки М—
Государственный комитет
СССР но делам изобретений и открытий (23) Приоритет (53) УДК 621 315.
° б 84 (088 . 8) Опубликовано 050579. Бюллетень 8о 17
Дата опубликования описания 050579 (72) Авторы изобретения. Н.И.Сменов и Х.Г.Салимов (71) Заявитель (54) ЗОНДОВАЯ ГОЛОВКА
Изобретение относится к радиотехнике, а именно к конструктивному выполнению зондовой головки, предназначенной для измерения электрофизических параметров твердых схем, мо кет быть йспользовано напрймер, в микроэлектронике.
Известна эондовая головка, включающая игольчатый подпружиненный оп с механизмом подвода его к контактирующему элементу, и держатель, кото-; рый посредством плоских пружин соеди- . нен с подвешенной На диафрагМв в)тай -".
1ой и Связан.1три помощи гибкого троса с подпружиненным штоком (11. 15
Однако зта головка обладает рядом недостатков, обусловливающих".низкую точйость йзмерения удельного. сопротивления полупроводниковых материалов (погрешйость сходимости состав-ляет ф60% при доверительной вероятности 0,95). При использовании ее.в устройствах для измерения удельного сопротивления по сопротивлению растекания необходима высокая точность досцронэведевйя. Расстояния между эои» дами и контактной площади зонда с образцом. Последнее преимущественно ч зависит от стабильности давления зонда на образец. Зв
Известная конструкция не обеспечивает стабильности давления зонда на образец по следующим причинам а) имеются .невоспроизводимые поте« ри на трение качения в шарнирных соединениях обводных роликов, трение скольжения" толкателя с поверхностью клинового полэуна и трения троса при его перекатывании по желобуt б) возможны автоколебання -в свободно подвешенной уйругой системе под действием собственных колебаний и
:внешних возмущающих воздействийу в) имеется совокупность нерегулируемых упругих характеристик плоских пружин li пружин сжатия
Известна эондовая головка в виде игольчатого щупа с держателем щупа, связанным с механизмом перемещения щупа и струной механизма подъема и опускания щупа на контактируеьый эле мент. При этом механизм перемещения ,щупа снабжен горизонтально установленным напряженным пружинным параляелограммом, опирающимся на конец
)толого цилиндра, имеющего торцовую стенку, на которой в полости цилиндра одним концом закреплена струна, противоположным концом соединенная с Регулируемой планкой, связанной
66 186 2 механизмом перемещения, к которому посредством пружины прикреплен другой конец цилиндра (2).
Однако н данной конструкции настройка зонда на заданное давление сопряжена с большими трудностями. В каждом случае настройки зонда на иное давление необходимо тарировать силы упругости напряженного прижимного параллелограмма, что значительно усложняет регулировку давления зонда. 10 цель изобретения — упрощение регулировки давления зонда — достигается тем, что эондовая головка, содержащая корпус с механизмом перемещения зонда в виде пружинного параллелог- 15 рамма, на котором размещен держатель зонда, и механизмом подъеМа и опускания зонда в виде струны, снабжена механизмом регулировки давлейия зонда с винтом и трибкой и размещенным внутри пружинного параллелограмма рычагом, один конец которого соединен с ним при помощи терированйой пружины, а другой шарнирно закреплен в корпусе и подпружинен с возможнос- тью взаимодействия с винтом механизма регулировки величины давления зонда.
Иа чертеже изображена описываемая зондовая головка.
В корпусе 1 закреплены пластины пружинного параллелограмма 2, механизма перемещения зонда 3, не=ущего держатель 4 зонда, кииематически связанного посредством гибкой тяги
5 с механизмом 6 подъема и опускания 35 зонда в виде бтруны. Иеханизм регули- ровки величины давления зонда включает рычаг 7, одним концом соединенный с подвижным звеном 8 пружинного па-: раллелограмма посредством тарирован- 40 ной пружины 9, а другим шарнирно закрепленный в корпусе и подтягиваемый пружиной растяжения 10 к сферическому концу винта 11 с трибкой 12, находящейСя в зацеплении с зубчатым колесом 13 с делениями на торце, на которые указывает стрелка 14, Настройка и работа зондовой голов ки.
Зная передаточное отношение рычаж« но-зубчатого механизма регулировки величины давления зонда, включающего рычаг 7, винт ll с трибкой 12 и зубчатое колесо 13, и упругую характеристику тарнрованной пружины 9, посредством винта 11 с трибкой 12 устанавливают колесо 13 на число делений, соответствующее необходимой величине давления зонда на образец. Пружина 9 растягивается и воздействует силой упругой деформации на подвижное звено
8 пружинного параллелограмма 2,. удерживаемое в неподвижном положении гибкой тягой 5 механизма 6 подъема и опускания зонда. При нагреве струны механизма 6 зонд опускается и создает в точке контакта с образцом давление, равное упругой деформации тарированной пружины.
Конструкция зондовой головки позволяет стабилизировать величину заданного давления на зонд, расширяет диапазон регулировки давления, дает воэможность удобства регулировки и быстрой перенастройки на заданное давление.
Формула изобретения
Зондовая головка, содержащая корпус .с механизмом перемещения зонда в виде пружинного параллелограмма, на котором размещен держатель зонда, и механизмом подъема и опускания зонда в виде струны, о т л и ч а ю щ ая с я тем, что, с целью упрощения регулировки давления зонда, она снабжена механизмом регулировки величины давления зонда с винтом и трибкой и размещенным внутри пружинного парал» лелограмма рычагом, один конец которого соединен с ним при помощи тарированной пружины, а другой шарнирно закреплен в корпусе и подпружинен с возможностью вэаимодействия с винтом механизма регулировки величины давле- ния зонда..
Источники информации, принятые во внимание при экспертизе
1. Авторское свидетельство СССР
Р190956, кл. Q 01 R 1/06 1965 °
2. Авторское свидетельство СССР
9553763 кл. Н 05 К 1/04, 1975.
661862
Составитель Л.Прокопенко
Техред Э.Чужик Корректор С . Шекмар
Редактор S.Федотов
Филиал ППП Патент, г.ужгород, ул,Проектная,4
Заказ 2543/69 Тираж 943 Подписное
ЦНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретениЯ и открытий
113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5