Способ автоматического контроля и управления процессом электрохимического травления микропроволоки

Способ автоматического контроля и управления процессом электрохимического травления микропроволоки

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

N АВТОРСКОМУ СВИДЕ3 ЕДЬСЧЗУ (61) Дополнительное к авт. саид-ву— (22) Заявлено 170877(21) 2517965/22-02

Союз Советских

Социалистических

Ресл1 блнк с присоединением заявки ¹

С 25 D 21/12

Государственный комитет

СССР по делам изобретений и открытий (23) Приоритет (53) УДК 621. 794. .4(088.8) Опубликовано 250579. Бюллетень № 19

Дата опубликования описания 250579 (72) Авторы изобретения

Ю. В. Думченко и П.М. Соколов (71) заявитель (54) СПОСОБ АВТОМАТИЧЕСКО1 О КОНТРОЛЯ И УПРАВЛЕНИЯ

ПРОЦЕССОМ ЗЛЕКТРОХИМИЧЕСКОГО ТРАВЛЕНИЯ

МИКРОПРОВОЛОКИ

Изобретение относится к области гальванотехники и может быть использовано для автоматического контроля и управления процессом электрохимического травления микропроволоки иэ тугоплавких металлов, применяемой в радиоэлектронике и приборостроении.

Известен способ автоматического контроля и управления процессом электрохимического травления микропрово10 .локи, включающий измерение выходного диаметра микропроволоки, протягивае мой через многосекционную травильную ванну с постоянной скоростью, и управление током травления в зависимости от отклонения диаметра проволоки на выходе от заданного (1).

Целью изобретения является снижение неравномерности микропроволоки по диаметру. 20

Это достигается тем, что измеряют первую производную по электропроводности ванны на входных ее секциях в направлении движения микропроволоки и корректируют величину тока трав-25 ления в соответствии с отклонением производной от заданного значения увеличивают при положительном значении отклонения производной и умень шают при отрицательном.

На чертеже приведена принципиальная электрическая схема устройства, реализующего предлагаемый способ.

На входных секциях травильной ванны измеряют производную по электропроводнасти и в зависимости от знака прбизводной формируют корректирующее воздействие на силу тока травления.

Проводят автоматический контроль и управление процессом электрохимического травления вольфрамовой микропроволоки 1 в многосекционной электролитической ванне, имеющей электроды

2 и 3. Мостовой схемой, образованной дифференциальным трансформатором 4 и электродами 2,3 и 5 входных секций электролитической ванны, непрерывно измеряется первая производная электропроводности в направлении движения микропроволоки,.причем измерительная диагональ моста подключается к входу дифференциального кондуктометрического преобразователя 6.

Затем величину первой производной электропроводности, которой пропорционален сигнал преобразователя б, сравнивают с величиной сигнала блока

7 задающих воздействий с помощью схемы сравнения регулятора 8 и регулятором изменяют мощность, подво663767

4ормула изобретения

ЦНИИ ПИ Э аказ 2 9 30/2 4 Тираж 719 Подпи сное филиал ППП Патент, г.ужгород, ул.Проектная,4 димую к электродам ванны от выходного трансформатора 9, посредством суммирующего усилителя 10 мощности.

Одновременно с помощью емкостного преобразователя 11 измеряют выходной диаметр микропроволоки. Полученную величину в схеме сравнения корректирующего блока 12 сравнивают с сигналом блока 7 задающих воздействий и в зависимости от отклонения блоком 12 корректируется мощность, подводимая к электродам ванны посредством сумми-10 рующего усилителя 10 мощности.

Способ позволяет снизить неравномерность микропроволоки по диаметру, вйзванную изменением. скорости протягивания микропроврлоки через 15 ванну из-за дефекта настройки механизма раскладчика. Это обусловлено тем, что изменейие скорости движения сразу отражается на первой производной электропроводности ванны 20 в направлении движения микропроволоки, измеренной на первых секциях ванны, и через блок сравнения регулятора передается на,суммирующий усилитель мощности, с помощью которого изменяется ток травления.

Кроме того, способ снижает неравномерность микропроволоки по диаметру при возмущениях со стороны сети питания двигателя намотки по частоте и напряжению, а также со стороны входного диаметра.

Способ исключает дополнительную перемотку микропроволоки, так как получаемая конусность намотки остается в пределах, установленных допусков.

Способ автоматического контроля и управления процессом электрохимического травления..микропроволоки, включающий измерение выходного диаметра микропроволоки, протягиваемой через многосекционную травильную ванну с постоянной скоростью, и управление током травления в зависимости от отклонения диаметра проволоки на выходе от заданного, — о т л и ч а ющ и и с я тем, что, с целью снижения неравномерности микропроволоки по диаметру, вычисляют первую производную по электропроводности ванны на входных ее секциях в направлении движения микропроволоки и корректируют величину тока травления в соответствии с отклонением производной от заданного значения — увеличивают при положительном значении отклонения производной и уменьшают при от« рицательном.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Способ автоматического измерения и регулирования диаметра вольфрамовой микропроволоки. Информационный листок Алтайского межотраслевого центра НТИ и пропаганды 266-76, 1976.