Способ изготовления магнитной головки
Иллюстрации
Показать всеРеферат
ОПИСАпИ
ИЗОБРЕТЕпИ
К АВТОРСКОМУ СВИ ЕТЕЛЬСТВ
CoIos Советских
Соцреалистических
Республик (61) Дополнмтельное к авт. свид-ву (22) Заявлено 010877 (21) 2514316/18-1 с присоедмнением заявки М
Государственный комнтет
СССР оо делам нзобретеннй н открытнй (23) Приоритет
Опубликовано 250579. Бюллетень Ио
Дата опубликования опмсания2505.79 (72) Автор изобретения
В. Ф. Сурганов (71) ЗаяВИтЕЛЬ Минский радиотехнический институт (54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МАГНИТНОИ ГОЛОВКИ
Изобретение относится к магнитной записи, а именно к способам изготовления магнитных головок.
Известен способ изготовления магнитной головки путем раздельного изготовления магнитного сердечника и обмотки и последующего их соединения (1) . Известный способ обеспе-. чивает относительную простоту изготовления магнитной головки .
Недостаток подобного способа состоит в сложности получения малых габаритов магнитной головки.
Известен также способ изготов ления магнитной головки путем формирования на подложке подковообразного пленочного магнитного сердечника и элементов пленочной обмотки (2). Этот способ обеспечивает изготовление магнитной головки с малыми габаритами.
Однако изготовленная этим способом магнитная головка не обладает высокой износоустойчивостью.
Цель изобретения-повышение износоустойчивости магнитной головки.
Для этого по предлагаемому crioсобу при формировании подковообразного пленочного магнитного сердечника и элементов пленочной обмотки наносят слои вентильного металла, на которые осаждают маски фоторезиста. При этом каждую маску фоторезиста удаляют после формирования диэлектрического слоя анодного окисла вентильного металла анодированием открытых участков слоя вентильного металла.
Способ осуществляется следующим
10 образом.
На немагнитной подложке производят формирование подковообразного пленочного магнитного сердечника и элементов пленочной обмотки. Фор15 мирование подковообразного пленочного магнитного сердечника и элементов пленочной обмотки производят нанесением слоев вентильного металла, например алюминия, на ко20 торые осаждают маски фоторезиста.
При этом каждую маску фоторезиста удаляют после формирования диэлектрического слоя плотного или пористого анодного окисла вентильного
25 металла, которое осуществляют анодированием открытых участков слоя вентильного металла, например анодным окислением в электролите или плазме. Маски фоторезиста обес30 печивают при анодировании либо фор664199
Составитель Ю. Розенкранц
Редактор Т.Иванова Техред З.Фанта Корректор Е. Лукач
Заказ 3006/48 Тираж 680 Подписное
ЦЯИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий
113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5
Филиал ППП Патент, r.Óæãîpîä, ул.Проектная,4 мирование подковообразного пленочного магни7Н9 сердечника и элементоВ плейоуЬой обмотки иэ слоев (ВЬЙЫЛ ьН.ОГО" МЕтаЛЛа, ЛИбО Образсэание на них поверхностных защитныхх пленок плотного анод ного окисла вентильного металла.
Предлагаемый способ обеспечивает изготовления магнитной головки, состоящей из укрепленной на немагнитной подложке.многовитковой пленочной обмотки, в которой укреплен посредством диэлектрических слоев подковообразный пленочный магнитный сердечник.
Испсжьэование изобретения позволит повысить износоустойчивость изготовленной в соответствии с ним магнитной головки.
Изобретение может быть использовано при изготовлении интегральных
"магнитных головок.
Формула изобретения
Способ изготовления магнитной головки путем формирования на подложке подковообразного пленочного магнитного сердечника и элементов пленочной обмотки, о т л и ч а ю щ и йся тем, что, с целью повышения износоустойчивости магнитной головки, при формировании подковообразного пленочного магнитного сердечника и элементов пленочной обмотки
10 наносят слои вентильного металла, на которые осаждают маски фотореэис-, та, причем каждую маску фоторезиста удаляют после формирования диэлектрического слоя анодного окисла вентиль15 ного металла анодированием открытых участков слоя вентильного металла.
Источники информации, принятые во внимание при экспертизе
1. Авторское свидетельство СССР
20 В 424227, М.Кл G 11 В 5/42, 1972.
2. Патент США Р 3662361, кл. 340-174.1, 1972.