Механизм шагового перемещения

Механизм шагового перемещения

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

И АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик (iii 666037 (6!) Дополнительное к авт. саид-ву (22) Заявлено 27.04.77(21) 2480141/25«08 с присоединением заявки № (23) Приоритет

Опубликовано 05.06.7дБюллетень № 21

Лата опубликования описания 08.06 79 (51) М. Кл

В 23 Я 5/00

В 25, 7/00

Гааударатвеннв и намнтет

СССР аа делам нзааретеннй и атнрытнй (53) УЛ.К 62-589 (088. 8) (72) Авторы изобретения

Н. И. Никулин и В, Ф. Северинов ъ г (Я

1 «ВЯЗ Ю (71) Заявитель (54) МЕХАНИЗМ ШАГОВОГО ПЕРЕМЕШЕНИЯ

Изобретение относится к технике изготовпецпя полупроводниковых приборов и может найти применение в сборочном кпассификационном оборудовании полупроводникового производства.

Известен механизм шагового перемешения, входяший в автомат разбраковки микросхем на пластине(11, Механизм содержит направпяющие, в которых во взаимно-перпендикулярных направпениях перемешаются две каретки, одна из которых имеет предметный стол с приводом его вертикального возвратно-поступатепьчого перемешения. Перемешение кареток осушествпяется шатовым эпектродвигатепем через передачу винт — гайка, а вертикапьное перемешение предметного сто« па — от эпектромагнита через клин.

К недостаткам известного механизма шагового перемешения относятся спожность изготовнения и эксппутации и сравнитепьно большие габариты, обусповпенные наличием отдельных приводов дпя линейного перемешения кареток и электронного блока управления шаговыми двигате.тями, а также недостаточная надежность в работе, так как электронная система управления подвержена действию помех, что ведет к сбоям по шагу.

Известен координатный стол, содержа ший две каретки с эпектромагнитными зажимами, установленные на направпяюших, и предметный стоп с приводами пинейного и врашатепьного движения. При вод линейного перемешения вьптопнен в виде цилиндрической направляюшей, представпяюшей собой сердечник сопеноида, жестко закрепленный на одной из кареток и взаимодействуюший с эпектромагнитом, закрепленным на другой каретке. Привод врашения предметного стопа выполнен в виде храпового механизма, топкатепь которого жестко установлен на корпусе электромагнита tRj.

Подобный механизм шагового перемешения не обеспечивает вертикального возвратно-поступательного неремешения

666037

1О

$Q

55 координатного стола, а простое объединение его с предметным столом, установленным на каретке и имеюшим привод вертикального возвратно-поступательного перемешения, выполненный, например, в виде приводного от электромагнита клина, привело бы к увеличению габаритов и веса конструкции за счет установки дополнительного привода, а также к усложнению схемы управления.

Белью изобретения является расширеwe технологических возможностей механизма за счет сообшения каретке вертикального возвратно-поступательного движения от привода горизонтального перемешения каретки.

Поставленная цель достигается тем, что каретка снабжена шарнирно закрепленными на ней подпружиненными держателями, контактируюшими с направляюшими каретки, а цилиндрические направляюшие установлены под углом к направлению горизонтального перемешения каретки, причем электромагнитный зажим выполнен регулируемым по высоте.

На фиг. 1 изображен механизм в разрезе, на фиг. 2 — механизм, вид сбоку.

Механизм шагового перемешення содержит основание 1, направляюшие 2 и 3 с вогнутыми цилиндрическими рабочими поверхностями, каретку 4, предметный стол 5, магнитный зажим 6, цилиндрические направляюшие 7 и 8 с жестко закрепленными на них электромагнитами

Ьи 10. цилиндрические направляюшие 7 и 8 установлены цод углом к направлению горизонтального перемешения каретки 4.

На каретке 4 .при помоши осей 11, 12 шарнирно установлены подпружиненные пружиной 13 держатели 14, 15 с роликами 16, 17, контактируюшими с рабочими поверхностями направляюших 2, 3. В держателях 14, 15 установлены винчы 18, 19, контактирующие с ут орами 20,21, жестко закрепленными на каретке 4, Механизм шагового перемешения работает следуюшим образом. В исходном положении электромагниты 9, 10, электромагнитный зажим 6 каретки 4 отключены, и каретка удерживается в крайнем положении силой упругости пружины 13, воздействуюшей своими рабочими концами на держатели 14, 15, При этом винты 18,19 контактируют с упорами 20, 21, обрабатываемая деталь 22 контактирует с инструментом 23, а между электромагнитным;зажимом 6 и основанием 1 имеется зазор.

Г1ри включении электромагнитов 9, 10 цилиндрические направляюшие 7, 8 фиксируются относительно основания. Затем включается электромагнитный зажим

6, и каретка 4 перемешается по цилиндрическим направляюшим 7,8 вниз и влево (см. фиг. 1). Г1ри этом держатели 14, 15 повооачиваются вокруг осей 11, 12; пружина 13 деформируется, а ме>кду винтами 18,19 и упорами 20, 21 образуется зазор. Так как рабочие поверхности направляк>ших 2,3 выполнены в виде вогнутых цилиндрич еских поверхностей, то контакт между ними и роликами 16, l7 держателей 14,15 во время перемещения каретки 4 вниз нэ нарушается.

После этого отключаются электромагниты 9, 10, электромагнитный зажим 6, и каретка 4 под действием пружины I 3 поднимается в крайнее верхнее положение, Прн этом винты 18, 19 упираются в упоры 20, 21 а инструмент соприкасается с деталью 22. Цикл повторяется.

Величина горизонтального и вертикального перемешения каретки определяется величиной зазора между электромагнитным зажимом 6 и основанием 1 и углом наклона цилиндрических направляющих

7, 8 по отношению к основанию 1, Ве-личина зазора между электромагнитным зажимом 6 и основанием 1 регулируется при помощи винта 24 и пружины 25, Формула изобретения

1. Механизм ша гов ого пере лле щения, содержаший каретку с электромагнитным зажимом и предметным столом, перемешаюшуюся в направляюших от привода горизонтального перемещения, выполненного в виде установленных в каретке цилиндрическими направляюших, взаимодействуюших с электромагнитами, о тл и ч а ю ш и и с я тем, что, с целью расширения технологических возможностей механизма за "÷åò сообшения каретке вертикального возвратно-поступател! ного перемешения от привода горизонтального перемешения, каре гка снаб>кена шарнирно закрепленными на ней чодпружиненными держателями, взаимодейстувзшими с направляюшими каретки, а цилиндрические направлпошие установлены под углом к направлению горизонтального перемешения каретии.

2. Механизмцо и. 1, отл и ч а юш и и с я тем, что, с целью регулиро666037 вания шага перемешения каретки, электромагнитный зажим установлен с возможностью регулирования по высоте относительно основания механизма.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе о

1. Техническое описание и инструкция по эксплуатации Б6М2 688 004.ЧО автомата разбраковки микросхем на ила=тине Зонд-А ЧМ".

2. Авторское свидетельство СССР

Ло 50 93 93, кл. В 23 Ц 5/00.

Составитель B. Жиганов

Редактор И. Карпас Танкред Jj, Алферова Корректор М. Иигула Заказ 3045/12 Тираж 1221 Подписное

UHHHHH Государственного комитета СССР по делам изобретений и открьггий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП Патент, г. Ужгород, ул. Проектная, 4