Осевой турбомолекулярный насос

Осевой турбомолекулярный насос

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Союз Советских

Соцмалмстических

Реслублни

A H N IE (666300

И ЗОБРЕТЕ Н ИЯ

К ЬВтОРСКОМ СВИДИтЫЬСтВЮ (61) Дополнительное к авт. свид-ву— (22) Заявлено 03.05.73 (21) 1912883/25-06 с присоединением заявки № (23) Приоритет— (51) М. Кл

F 04 О 19/04

Государственный комитет

СССР ио делам изобретений и открытий (" ) ЛК 621527. .8 (088,8) Опубликовано 05.06.79. Бюллетень М. 21

Л,ата опубликования описания 05.06.79

Б. В. Иванов, Ю. Э. Кононов, В. Г. Кульпин, В. М. Николаев и ll. П. Юшин

/ г

Московский институт химического машиностроен л(72) Авторы изобретения (7 l) Заявитель (54) ОСЕВОЙ ТУРЬОМОЛЕКУЛЯРНЫЙ НАСОС

Изобретение относится к вакуумной технике.

Известен турбомолекулярный вакуумный насос, содержащий неподвижнь и корпус со статорными дисками, в котором на подшипниках установлен ротор, приводимый во вращение электродвигателем (1.) . 5

Недостатком известного насоса является невысокий коэффициент использования площади проточной части насоса, приводящий к ухудшению удельных характеристик.

Известен также осевой турбомолекулярный на-10 сос, содержагций вращающийся корпус с размещенными в нем роторными дисками и неподвижный газоподводяший патрубок, подключенный к откачиваемому объему (2) .

Известный насос приводит к увеличению количества элементов, работающих в неблагоприятных условиях, что, в конечном счете, снижает надежность насоса.

Цепью изобретения является повышение надежности.

Указанная цель достигается тем, что газоподводящий патрубок введен внутрь корпуса по его оси на всю длину роторных дисков и на нем укреплены статорные диски.

На чертеже изображен насос, продольный разрез.

Осевой турбомолекулярный насос содержит вращающийся корпус 1 с размещенными в нем роторными 2 дисками и неподвижный газоподводящий патрубок 3, подключенный к откачиваемому объему (на чертеже не показан). Газоподводящий патрубок 3 введен внутрь корпуса

1 по его оси на всю длину роторных дисков 2 и на нем укреплены статорные 4 диски.

Турбомолекулярный насос работает следующим образом.

После предварительной откачки приводится во вращение корпус 1 с роторными 2 дисками.

Молекулы откачиваемого газа, проходя по газоподводящему патрубку 3 и взаимодействуя с роторными 2 и статорными 4 дисками, переносятся на сторону форвакуума и откачиваются вспот могательным насосом, благодаря чему в объеме создается высокий вакуум.

Насос обладает уменьшенными габаритами, повышенной надежностью и наиболее целесооб666300 разен при необходимых скоростях откачки до

l00 л/сек.

Осевой турбомолекулярный насос, содержащий врашаюшийся корпус с размешенными в нем роторными дисками и неподвижный газоподводяшнй патрубок, подключенный к откачиваемому объему, и тл ич а ю щи и с я тем, что, с целью тв

Составитель О, Тишина

ТехРед 3 т1ужик Корректор Т, Скворцова

Редактор В. Ьольшакова

Заказ 3119/25

Тираж 771 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Формула изобретения повышения надежности, газоподводяший натру бок введен внутрь корпуса по его оси на всю длину роторных дисков и на нем укреплены статорные диски.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР М 294958, кл. F 04 0 19/04, 1971.

2. Авторское свидетельство СССР К 1.75166 кл. F 04 0 19/04, 1964.