Измеритель потока разреженного газа

Измеритель потока разреженного газа

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОП ИСАНИ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистииеских

Республик

/ (61) Дополнительное к авт. свид-ву— (22) Заявлено 04.04.77 (21) 2477217/18-10 с присоединением заявки №вЂ” (23) Приоритет— (51) М. Кл

G 01 F 1/34

G 0I F 15/06

Государственный кюкатет

СССР ао делам нзооретенмй . . и открытий

Опубликовано 15.06.79. Бюллетень № 22

Дата опубликования описания 25.06.79 (53) УДК 681.121..84 (088.8) (72) Авторы изобретения

Е. А. Пенчко и Л. А. Фальковский (71) Заявитель (54 ) ИЗМЕРИТЕЛЬ ПОТОКА РАЗРЕЖЕННОГО ГАЗА

Изобретение относится к области вакуумной техники и касается измерения потока разреженного газа:

::: —.- Известно устройство, в котором величину потока разреженного газа определяют с помощью манометрического преобразователя и заслонки с приводом, установленным в трубопроводе (1) . Манометрический преобразователь измеряет давление газа то с одной, то с другой стороны качающейся. заслонки. Выходной сигнал манометрического преобразователя состоит из двух составляющих — постоянной, указывающей на среднее давление в вакуумной камере измерителя потока, и переменной, прямо пропорциональной потоку разреженного газа.

Это устройство не обеспечивает измерения потока в широком диапазоне rlo одной шкале.

Целью изобретения является обеспечение измерения потока разреженного газа по од- ной шкале.

Поставленная цель достигается тем, что 2О измеритель потока разреженного газа содержит два логарифмирующих устройства, устройство отделения и детектирования пере- менной составляющей, фильтр и сумматор, причем вход первого логарифмического устройства соединен с манометрическим преобразователем, а выход через фильтр с первым входом сумматора и через устройство отделения и детектирования переменной составляющей с входом второго логарифмического устройства, выход которого подключен ко второму входу сумматора, а выход сумматора соединен с регистрирующим прибором.

На чертеже показана принципиальная схема предлагаемого устройства, обеспечивающего контроль потока по одной шкале с логарифмическим распределением отсчета.

Устройство содержит модулятор потока и манометрический преобразователь 1, устанавливаемые в трубопроводе с измеряемым потоком газа, первое логарифмическое устройство 2; устройство отделения переменной составляющей сигнала, например, конденсатор 3; детектор-выпрямитель 4 переменного сигнала в постоянный; второе логарифмическое устройство 5; устройство 6, пропускающее постоянную, но задерживающее переменную составляющую сигнала (фильтр), например в виде ййдукционного дросселя; сумматор 7; регистрирующий прибор 8. 667810

Формула изобретения

Составитель О. Цирлин

Редактор М. Харитонова Техред О. Луговая Корректор А. Гриценко

Заказ 3448/35 Тираж 865 Подписное

ЦНИИПИ Государствет1ного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП «Патент», r. Ужгород, ул. Проектная, 4

Устройство работает следующим образом.

Выходной сйгнал майометрйческого преобразователя- датчика- давления, установленного в преобразователе потока (модуляторе потока) 1, соСтойт из двух"состав 1яющих: постоянной, пропорциональной давлению Хр.= КР и переменной, пропорциональной потоку газа Лв =1®. Этот суммарный ток логарифмируется в устройстве 2, т. е. выполняется действие:

Е„(тр+ у,) =Е„гр+ „(1+ )

Исходя из практических соображений при "откачке проводится частичная модуляция с коэффициентом модуляции m = Ja/УРпорядка 0,1. При выполнении этого условия быстрота откачки практически не меняется.

Тогда второй член может быть апроксимирован выражением g„(1 + — ) = — —.

На выходе логарифмирующего устройства 2 отделяется переменная составляющая от постоянной в устройстве - 3, например, в конденсаторе, детектируется в устройстве 4 и затем логарифмируется в устройстве 5.

Устройство 6 пропускает постоянную, но за держивает переменную составляющую. Поэтому в сумматоре 7 складывается выходной сигнал второго логарифмирования с постоянной составляющей первого логарифмировае. е.-ф-+ау,= е,=е(ец), у и регистрирующий прибор 8 фиксирует величину потока газа 11.

Внедрение изобретения обеспечивает из— " мерение потока разреженного газа по одной логарифмической шкале; измерение давления по одной логарифмической шкале, так как постоянная составляющая на выходе первого логарифмированйя пропорциональна логарифму давления; контроль потока в производственных условиях с записью, блокировкой и управлением технологическим процессом от ЭВМ.

to Измеритель потока разреженного газа, содержащий модулятор потока газа, манометрический преобразователь и регистрирующий прибор, отличающийся тем, что, с целью измерения потока разреженного газа в широком диапазоне по одной шкале, в него введены два логарифмирующих устройства, устройство отделения и детектирования переменной составляющей, фильтр и сумматор, причем вход первого логарифмического устройства соединен с манометрйческим преобразователем, а выход через фильтр с первым вХодом сумматора и через устройство отделения и детектирования переменной составляющей с входом второго логарифмического устройства, выход которого подключен- ко второму входу сумматора, а выход суМЯатбра соединен с регистрирующи4 прибором.

Источники информации, принятые во вни" мание при экспертизе

1. Авторское свидетельство № 440555, зо кл, G 01 F 1/00, 1972.