Устройство для присоединения выводов к контактным площадкам интегральных схем и корпуса

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОП И С-АНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

СОюз С016тских

Социалистииеасих

Республик

«»668029

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву— (22) Заявлено 11.05.76 (2!) 2359852/18-25 с присоединением заявки №вЂ” (23) Приоритет— (51) М. Кл.

Н 01 L 21/60

Гес1ц1арственный нвмнтет

СССР по делам нзебретеннй н открытий

Опубликовано 15.06.79. Бюллетень № 22

Дата опубликования описания 25.06.79 (53) УДК621.382. .002 (088.8) (72) Автор изобретения

Б. М. Больш а к о в (71) Заявитель (54) УСТРОЛСТВО ДЛЯ ПРИСОЕДИНЕНИЯ ВЫВОДОВ К

КОНТАКТНЫМ ПЛОЩАДКАМ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ

И КОРПУСА

Изобретение относится к электронной технике и может найти применение при конструировании и изготовлении технологической оснастки, необходимой в производстве полупроводниковых приборов, в частности, ири развертке корпуса и кристалла больших интегральных схем.

Известно устройство для присоединения методом перевернутого кристалла, которое позволяет с высокой точностью осуществлять совмещение перевернутого кристалла с подложкой (1). Однако такое устройство не 1в предусматривает поочередного соединения проволокой контактных площадок корпуса и кристалла.

Известно также устройство для присоединения выводов к контактным площадкам

ЭМ-439А интегральных схем, содержащее

15 блок сварки, блок визуального совмещения и пантограф со столиком для установки корпуса с кристаллом (2). Работа на такой установке состоит в следующем: перемещая вручную пантограф и интегральную схему, под микроскопом визуально совмещают центр первой контактной площадки с электродом, находящимся над этой площадкой. Удерживая пантограф в выбранном положении и

2 работая рычагом управления электродом, опускают его на контактную площадку, производя одновременно необходимые включения.

Однако отмечается недостаточная точность присоединения, так как настройка по электроду затруднена из-за оптического искажения, связанного со значительным удалением друг от друга контактной площадки и электрода; вызывает трудности удержание пантографа в неподвижном состоянии при одновременной работе рычагом управления электродом с обеспечением необходимых включений.

Цель изобретения — повышение точности присоединения и производительности труда.

Поставленная цель достигается тем, что устройство для присоединения выводов к контактным площадкам интегральных схем и корпуса содержит имитатор кристалла, снабженный направляющими, выполненный в виде пластины с выемками по периферии, расположение которых повторяет размещение контактных площадок кристалла в произволь— ном масштабе увеличения относительно оси симметрии; имитатор корпуса с ползуном, 668029 выполненный в виде кольца, имеющего диаметр в том же масштабе увеличения, что и имитатор кристалла, с направляющими, расположенными в соответствии с направляющими имитатора кристалла и имеющими изгиб на свободном конце, а также блок настройки и соединенный с ним механизм перемещения блока настройки и имитатора кристалла.

На фиг. 1 схематически изображено устройство для присоединения проводников к контактным площадкам интегральных схем и корпуса; на фиг. 2 — взаимное расположение контактных площадок интегральной схемы и корпуса и направляющих имитатора корпуса и кристалла.

Предлагаемое устройство содержит стол

1, на котором установлен корпус 2 с кристаллом 3 интегральной схемы, контактные площадки 4 и 5 корпуса и кристалла, имитатор 6 кристалла, имитатор 7 корпуса с ползуном 8, блок сварки 9, блок 10 визуального совмещения (например, микроскоп), блок настройки 11, механизм 12 перемещения блока настройки и имитатора кристалла, маховики 13, 14, 15 перемещения по оси х и по оси у и по углу соответственно. Имитатор 6 кристалла выполнен в виде пластины с выемками 16 по периферии, расположение которых повторяет размещение контактных площадок 5 кристалла в произвольном масштабе увеличения относительно оси симметрии устройства.

Каждая выемка 16 пластины имитатора

6 кристалла снабжена направляющей 17.

Имитатор 7 корпуса представляет собой кольцо, также снабженное направляющими 18, расположенными в соответствии с направляющими 17 имитатора 6 кристалла. Направляющие 18 имеют изгиб на свободном конце.

Внутренний диаметр кольца имитатора 7 корпуса с учетом диаметра ползуна 8 соответствует диаметру расположения выбранных точек сварки на контактных площадках

4 корпуса 2 в упомянутом масштабе увеличения.

Необходимые перемещения узлов устройства осуществляет привод 19.

Предлагаемое устройство работает следующим образом.

На стол 1 устанавливается корпус 2 с кристаллом 3, который присоединен к корпусу 2 с возможностью произвольного смещения. Контактные площадки корпуса 2 и кристалла 3 необходимо соединить проволокой. При помощи блока 10 визуального совмещения, вращая маховики 13, 14, 15 механизма 12, совмещают блок настройки 11 с кристаллом 3 интегральной схемы, при этом имитатор 6 кристалла одновременно перемещается в ту же сторону с редукцией, равной произвольному масштабу увеличения, и занимает вполне определенное положение относительно имитатора 7 корпуса о

1$ о

25 эю яо

55 с ползуном 8. При этом устройство устанавливается относительно блока сварки 9 таким образом, что первая контактная площадка 4 корпуса 2 для присоединения проволоки находится под электродом блока сварки 9. Это положение фиксируется ползуном 8.

На этом настройка устройства по данной интегральной схеме заканчивается и присоединение проводников к контактным площадкам можно производить автоматически.

Блок сварки 9, опускаясь, присоединяет проволоку к первой контактной площадке

4 корпуса 2 и, возвращаясь в исходное положение, подает команду приводу 19 на движение ползуна 8 в сторону имитатора 6 кристалла.

От этого же привода 19 получает движение все устройство, которое начинает движение навстречу ползуну 8.

Как толькЛ ползун 8 пройдет направляющую 18, произойдет поворот устройства от привода 19, и ползун 8 пойдет вдоль направляющей 17. Движение устройства и ползуна 8 прекратится, когда ползун 8 войдет в выемку 16 имитатора 6 кристалла, жестко зафиксировав контактную площадку 5 кристалла 3 под электродом блока сварки 9.

Блок 9, опускаясь, присоединяет проволоку к контактной площадке 5 кристалла 3 и, возBp3Ill3Hcb в исходное положение, подает команду приводу 19 на движение ползуна 8 в сторону имитатора 7 корпуса, а устройства — в противоположном направлении. Как только ползун 8 проходит между направляющими 17 и 18, благодаря изогнутому концу направляющей 18 происходит поворот всего устройства от привода 19, а ползун 8 скользит по следующей направляющей 18 и занимает положение упора с имитатором корпуса, останавливая движение и тем самым выставляя вторую контактную площадку. 4 корпуса 2 под электрод блока сварки 9.

Дальнейшие движения повторяются в той же последовательности до возвращения устройства в первоначальное положение.

Устройство позволяет повысить производительность труда за счет увеличения скорости подачи под электрод точек сварки, так как конструкция позволяет произвести разовую первичную настройку, исключающую все последующие по точкам присоединенияиспользовать оператора более низкой квалификации, так как нет необходимости изучать последовательность присоединения и иметь навык быстрой настройки контактной площадки по электроду и удержания ее пантографом вручную при ручном опускании на нее электрода, а также увеличить качество присоединения за счет определенной программы движения устройства, задаваемой имитаторами, что исключает присоединение проволоки вне контактной площадки или ошибку в последовательности присоединения.

668029

Формула изобретения

Фиг.!

Устройство для присоединения выводов к контактным площадкам интегральных схем и корпуса, содержащее блок сварки и блок визуального совмещения, отличающееся тем, что, с целью повышения точности присоединения и увеличения производительности, оно содержит имитатор кристалла, снабженный направляющими и выполненный в виде пластины с выемками по периферии, расположение которых повторяет размещение контакт- t4 ных площадок кристалла в произвольном масштабе увеличения относительно оси симметрии; имитатор корпуса с ползуном, выполненный в виде кольца, имеющего диаметр в том же масштабе увеличения, что и имитатор кристалла, с направляющими, расположенными в соответствии с направляющими имитатора кристалла и имеющими изгиб на свободном конце, а также блок настройки и соединенный с ним механизм перемещения блока настройки и имитатора кристалла.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Патент Японии М! 41 — 15904, кл. 99/5/ С 13, опублик. 1966. 2. ТОЯ 2М2 335.032ТО к установке ЭМ

439А, выпускаемой в г. Витебске за инв. М 874, 1975.

668029

Фиг. 2

Редактор Н. Белявская

Заказ 3478/47

Составитель Т. Большакова

Техред О. Луговая Корректор С. Патрушева

Тираж 922 Подписное

ЦН И И П И Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ПП П «Пагент>, г. Ужгород, ул. Проектная, 4