Стекло

Стекло

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОП ИСАНИЕ

Союз Советских

Социалистических

<,,672165 (72) Авторы изобретения

Г, И. Артамонова, Э. Н. Каплина и Т. Н. Половникова

Государственный научно-исследовательский институт стекла (7I ) Заявитель (54) СТЕКЛО l5

Изобретение относится к составам легкоплавких стекол, используемых преимушественно в качестве изолируюших покрытий в полупроводниковой и радиоэлектронной промышленности.

Известно стекло, применяемое для герметизации активных элементов полупроводниковых приборов, содержашее

Р1) С 65-75; 5j Од 8-12; ВдО 7-8;, и 0 5-15; COO 0,5-3;Сс10 0,5-1,5;

AP. О (11. Указанное стекло иомеет температуру оплавления 420-430 C н коэф фициент линейного термического расширения 85 10 1/+C

Наиболее близким к изобретению является стекло, содержашее следуюшие компоненты, вес. %: РЬО 75,8-77,3

3 О 8,0-90

Ss О 3,7-4,7

AE,О, 1,5 2.,0

H кроме того, МрО 8 5g 5 (2) .2

Стекло этого состава имеет темпера. о туру оплавления 460:И.О С, коэффициент линейного термического расширения

< SO+5) 1О-7 Ио Целью изобретения является снижение температуры оплавления стекла.

Это достигается тем, что описываемое стекло, включаюшее РЬО, В О,%0

А О, дополнительно содержит:ит

Мп О и PzO при следуюшем соотношении указанных компонентов, вес.%:

Рц О 79-85

ВЯОЭ 4-6,5

S1 О2 2

АЕ О . 0.5-2

МП2О . 015,5

Р О 0,3-1.

Введение в состав стеклаМ1 0 овместно с Р 0н снижает температуру размягчения стекла, н кроме того, снижает способность к восстановлениюРЬО, что обусловливает постоянство электрических характеристик изделий с покрытием из предлагаемого стекла при дли797 82 828 80 81 845

5,3 6,5 4 5,8 4,5 4

8203

81 0

АО20>

hAnz0

12 8 10 92 11 84

0,5 1,5 2 0,7 1,0 2

15 1 07 40 17 05

Таблица 2

Физико-механические свойства материалов

Гемпература оплавления, С

314 305 306 310 308 300

Коэффициент термического расширения

10 (1/ С) 85 88 89 89

87 93

Диэлектрическая проницаемость

6,5 7,0 6,8 7,9 8,3

9,3

Удельное объемное сопротивление, ом см

1076 1016 10 16 10 5Р 1016 10 5

Адгезия к электровакуумному стеклу, кг/см

190 190 190, 190 190 190

Химстойкость (потери веса) к воде

002 003 002 003 002 0035 к 0,1 ИНСК, мг/дм й

47 52 48 55

5,6 6,1 о

Температура варки, С

1000 1000 1000 950 1000 1000

3 67216 тельной эксплуатации. Изолируюшее покрытие обеспечивается толшиной 5070 мкм.

В таблице приведены конкретные ( примеры составов стекол.

Физико-механические свойства этих материалов показаны в табл. 2.

В качестве сырьевых материалов для варки стекла могут быть использо<а

5. 4 ваны: окись свинца, борная кислота, кремневая кислота, фтористый алюминий, окись марганца, фосфорнокислый аммоний марки "Ч" и ХЧ .

Предложенное стекло относится к типу химически стойких изолируюших легкоплавких стекол и предназначено для использования в радиоэлектронной промышленности в качестве тонкопленочных покрытий материалов.

Таблица 1

05 03 08 06

S 67

Формула изобретения

Стекло, включающее РоО, 5 О, g О

Ak,отличаюшеес я тем, что, с целью снижения температуры плавления, оно дополнительно содержит )WE Î иР 0 при следуюшем соотношении указанных компонентов, вес.%:

РЬ 0 79-85

В О. 4-6,5

51О2 8 12

2 3

М дО 0,5-4,5

Р О 0 3-1,0 °

Источники информации, принятые во внимание при акспертизе

1. Авторское свидетельство СССР № 349652„C 03 С 3/10, 1971.

2. Авторское свидетельство СССР

¹ 471319, С 03 С 3/12, 1973.

Состав игель Э. Каплина

Редактор И. Квачадзе Техред М. Келемеш Корректор Н. Горват

Заказ 3822/23 Тираж 555 Подписное

БНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035,. Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент, г, Ужгород, ул. Проектная, 4