Мишень видикона

Мишень видикона

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

<и 672668

Сееэ Советских

С©циалистичаских

Ресеубпнн (61) Дополнительное к авт. сеид-ву (22} Заявлено 06. 02. 78 (2l} 2575420!18 25

3 (51} М. Кл.

Н 01 Х 29l36

Н 01 Х 31/38 с присоединением заявки ¹â€”

Гееудеретееяевй еемвтет

СССР ее делам хаоеретееб и еткрите» (23) Приоритет—

Опубликовано 05. 07. 79. Бюллетень № 25 (53) УДК 621. 385. .832 (088.8) Дата опубликования описания 05. 07. 79 (72) Авторы изобретения

А. И. Акселевич, С. Г. Доможиров н И. К. Евланова (тц Заявитель (54) МИШЕНЬ ВИДИКОНА

Изобретение относится к телевизионным передающим трубкам типа видикона, в частности к мишеням видиконов.

Известна мишень видикона, состоящая из подложки, сигнальной пластины, фотослоя и расположенного между сигнальной пластиной и фото.. З слоем высокопористого изолирующего слоя (1).

В этой мишени фотопроводник проникает в поры изолирующего слоя и образует множество кон- тактов с сигнальной пластиной. Ввиду того что контакт сигнальной пластины с фотослоем в разных точках мишени различный, конструкция имеет множество микродефектов s виде малопроводящих участков, рассеянных rio поверхности мишени. Эти дефекты проявляются затем на изображении и ухудшают его качество.

Известна также мишень видикона, содержащая подложку, проводящую сигнальную пластину, фотослой и сплошной непроводяший слой между сигнальной пластиной и фотослоем 12).

В этой мишени проводящим слоем является про36 зрачная металлическая пленка, а непроводяший слой иэ А1 0, выполняет функцию блокирующего контакта.

С течением времени тип контакта между сигнальной пластиной и фотослоем в такой мишени видикона может измениться на омическнй, что выражается в уменьшении темпового сопро- тивления мишени. Это связано с тем, что ионы щелочных металлов, особенно ионы натрия, дрейфуют в электрическом ноле как по поверхности, так и внутри окисла @елочные ионы движутся из стеклянной подложки к фотослою, уменьшая постепенно эффективную толщину блокирующего барьера. Изменение типа контакта между сигнальной пластиной и фотослоем приводит к выходу мишени и видикона из строя.

Целью изобретения является повышение процента выхода годных приборов и увеличение срока службы.

; Указанная цель достигается тем, что непроводящий слой выполнен иэ нитрида элемента 1П и М группы, например ингрида кремния.

Мишень видикона представляет собой подложку, на которой расположены сигнальная пластина, непроводяшйй слой и слой фотопроводника. Подложка, являкнцаяся фронтальным окном видикона, выполнена иэ прозрачного матеФормула изобретения

Составитель В. Белоконь

Редактор Т. Орловская Техред H. Бабурка Корректор О. Ковинская

Заказ 3901/51 . Тираж 922 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб,, д. 4/5

Филиал ППП "Патент", r,. Ужгород, ул. Проектная, 4

672668 риала, например стекла, кварца. В зависимости от применения видикона в качестве подложки может быть использована оптоволоконная пластина, лейкосапфир и другие материалы. Сигнальная пластина в виде прозрачного проводящего слоя располагается на стороне подложки, обращенной внутрь видикона.

Сигнальная пластина представляет собой тонкую пленку из металла, обеспечивающего требуемое спектральное светопропускание. Напри- >о мер, при работе видикона в ближней ультрафиолетовой области, используется пленка благородных металлов, таких как палладий или платина.

В зависимости от области применения сигнальная пластина может быть вьпвлнена из Прозрачных проводящих окислов, например окиси индия, окиси олова, окиси железа и др Сигнальная пластина обеспечивает контакт с внешним выводом видикопа.

Поверх сигнальной пластины находи ся непроводящий слой нитрида элемента 111 и 1V группы; например нитрида алюминия, нитрида герма. ния и т. д.

Наилучшие результаты дает слой из нитрида. кремния. Этот слой выполняет функций барьер- 25 ного зайирающего слоя и обеспечиваМ высокое . темповое сопротивление виущкона. Его толщина может быть, от 100 до 1500 А. Нижняя граница определяется возрастанием темпового тока, а верхняя — нарушением работы вйдикона в свя- зо зи с затрудненной разрядкой мишенй.

Поверх слоя нитрида размещен фотопроводящий слой. Этот слой может, быть выполнен на основе аморфнего селена с добавками As, Sb u

S или представляет собой систему полупровод- зс

„щ 4 ников группы А В, например CdSe — CdTe.

Материал и толщина полупроводникового слоя определяются требуемыми параметрами виднкона. Фотопроводящий слой может состоять из нескольких прослоек.

Использование в качестве непроводящего слоя, расположенного между сигнальной пластиной и фотослоем, пленки нитрида кремния обеспечивает мишени видикона высокую стабильность, так как нитрид кремния является стойкой маской от диффузии для различных ионов, в том числе и ионов щелочных металлов. В результате этого возрастает срок службы видиконов.

Применение нитрида кремния обеспечивает также повышение процента выхода годных видиконов по темновому фону.

1. Мишень видикоиа, содержащая подложку, проводящую сигнальную пластину и сплошной непроводяший слой между. сигнальной пластиной и фотослоем, отличающаяся тем, что, с целью повышения процента выхода годных приборов и увеличения срока, службы, непроводящий слой, выполнен из нитрида элемента 1П н tV группы.

2. Мишень по п. 1, отличающаяся тем, что непроводящий слой выполнен йз ингрида кремния, Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Патент С1йА М 288И40, кл. 313 †, 1956, 2. Авторское свидетельство СССР N 498662, кл. Н 01 У 31/38, 1977.