Травитель для полупроводниковых соединений типа aiiibv

Травитель для полупроводниковых соединений типа aiiibv

Реферат

Травитель для полупроводниковых соединений типа A^IIIB^V, преимущественно для антимонида индия, содержащий водорастворимые органические кислоты, преимущественно винную и этилендиаминтетрауксусную, окислитель и воду, отличающийся тем, что, с целью получения зеркально-гладкой поверхности травления при малых толщинах съема материала и улучшения эксплуатационных свойств травления, он дополнительно содержит соляную кислоту и кислородхлорсодержащий окислитель, преимущественно хлорноватистую кислоту, при следующем соотношении компонентов мас.%: Водорастворимые органические кислоты, преимущественно винная и этилендиаминтетрауксусная - 0,4 - 0,5 Соляная кислота (37%) - 7,5 - 8 Кислородхлорсодержащий окислитель, преимущественно хлорноватистая кислота - 7,5 - 10 Вода - Остальное