Проекционный объектив
Иллюстрации
Реферат
ОП ИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕН ИЯ
И АВТОРСКОМУ СВИДВТВЛЬСТВУ
Союз Советскин
Социалистических
Республик (ii>678447 (6l) Дополнительное к авт. саид-ву— (22) Заявлено 05,01.78 (21) 2564946/18-10 с присоединением заявки PA— (23) Приоритет— (5!) М. Кл.
G 02 В 11/34
G 02 В 13/)4
Гасударственный квмнтвт
СССР
h0 делам изоервтеннй и втнрмтнй (53) УЛК
778 22 (088 8Э
Опубликовано 05,08.79. Бюллетень №29
Дата опубликования описания 05,08.79
Э. С. Гуревич и Г. В. Фокона
В ((((-, (72) Авторы изобретения уф гг» с ° В 1г1М дыы-;, -. "" I Я (71) Заявитель (54Э ПРОЕКЦИОННЫИ ОБЪЕКТИВ
Изобретение относится к оптическим системам, а именно к проекционным объективам для производства полупроводниковых приборов.
Известен проекционный объектив с увеличением — 0,1, содержащий две группы линз с расположенной между ними диафрагмой, первая из которых включает три компонента, а вторая — четыре, причем фокусное расстояние первой группы линз в десять раз превышает фокусное расстояние второй группы, а расстояние между ними равно 0,2.фокусного рассто- т© яния всего объектива (1).
Объектив имеет разрешение 0,6 мкм на всем. поле диаметром 3 мм и работает в области волн А = 425 — 445 нм.
Недостатком этого объектива является малое разрешение. Кроме того, такой объектив работает только и видимой области спектра.
Известен также проекционный объектив, содержащий две группы линз с размещенной между ними апертурой диафрагмой, первая из которых включает два компонента, вторая— четыре (2).
Недостатками этого объектива являются малая светосила и небольшое разрешение—
1100 лин/мм. Этот объектив также работает только в видимой области спектра.
По технической сущности к предлагаемому проекционному объективу наиболее близок проекционный объектив, содержащий одиночную положительную линзу, отрицательный мениск, обращенный выпуклостью к предмету, двухсклеенную линзу, положительную двухсклеениую линзу, две одиночные положительные линзы и положительный мениск, обращенный выпуклостью к плоскости предмета (3l.
Недостатками такого объектива являются недостаточные высокое поле зрения и разрешающая способность.
Объектив работает при Л = 486 — 589 нм.
Целью изобретения является увеличение поля зрения и разрешающей способности.
Цель достигается тем, что в проекционный объектив, содержащий одиночную положительную линзу, отрицательный мениск, обращенный выпуклостью к предмету, двухсклееннчю
678447
Тираж 588 Подписное
Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4 лийзу, положительную двухсклеенную линзу, = дв Годиночййе поломсительные линзы и положительный мениск, обращенный выпуклостью к плоскости предмета, введен дополнительный отрицательный мениск, обращенный вогнутостью к плоскости предмета и расположенный за
-ocHoBHbIM отрицательным мениском, при этом
"двухсклеенная линза выполнена положительной с фокусным расстоянием, равным 1,02 фокусного расстояния объектива, а соотношение ра- 10 диусов дополнительного отрицательного мениска равно 1:358.
На чертеже представлена оптическая схема объектива согласно изобретению. Объектив состоит из восьми компонентов 1 — 8.
Ко мпонент 1 — положительная одиночная линза, выполненная из флюорита с соотношением радиусов 1:1,8.
Компонент 2 — отрицательный мениск, обра- эо щенный вогнутостью к плоскости изображений, который выйолнен из крона с соотношением радиусов 2,4:1,0.
Компонент 3 — отрицательный мениск, обращенный вогнутостью к плоскости предметов, 2» выполненный из флинта с соотношением радиусов 1:358.
Компонент 4 — положительная линза, выполненная склеенной из отрицательной 9 и положительной 10 линз, изготовленных иэ флинта и флюорита, разность показателей преломления которых составляет 0,2011 для 4 = 365 нм,. а разность дисперсий — 57.
Компонент 5 — положительная линза, выполжнная склеенной из отрицательной линзы 11 и положительной линзы 12, изготовленных из флинта и флюорйта, разность показателей преломления которых составляет 0,2011 для
365, а разность дисперсий — 57.
Компонент 6 — положительная одиночная 4о линза, которая выполнена из флюорита с соотношением радиусов 1:2,7.ЦНИИПИ Заказ 4554/36
4 . Компонент 7 — положительная одиночная линза, выполненная из флюорита с соотношением радиусов 1:14,2.
Компонент 8 — одиночный положительный мениск, обращенный вогнутостью к плоскости изображений, изготовленный из особого крона с соотношением радиусов 1:1,6.
Указанные конструктивные особенности позволили создать проекционный объектив с увеличением — 0,1, с увеличенными полем зрения и разрешающей способностью при сохранении глубины резкости и светосилы для Л < 350—
380 нм.
Формула изобретения
Проекционный объектив, содержащий одиночную положительную линзу, отрицательный мениск, обращенный выпуклостью к предмету. двухсклеенную линзу, положительную двухсклеенную линзу; две одиночные положительные линзы и положительный мениск, обращенный выпуклостью к плоскости предмета, о тл и ч а ю шийся тем, что, с целью увеличения поля зрения и разрешающей способности, в него введен дополнительный отрицательный мениск, обращенный вогнутостъю к плоскости предмета и расположенный за основным отрицательным мениском, при этом двухсклеенная линза выполнена положительной с фокусным расстоянием, равным 1,02 фокусного расстояния объектива, а соотношение радиусов дополнительного отрицательного мениска равно 1:358.Источники информации, принятые во внимание при экспертизе
1. Авторское свидетельство СССР N 547706, кл. G 02 В 9/64, 1975.
2. Авторское свидетельство СССР N 486298, кл, G 02 В 9/64, 1973.
3. Патент США У 3806231, кл. 350 — 214.
1974.