Устройство для регулирования скорости конденсации тонких пленок

Устройство для регулирования скорости конденсации тонких пленок

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Союз Советских

Социалистических

Республик (61) Дополнительное к овт. сеид-sy (22) Заявлено OL07.77 (21 j 2503486/18-24

0 7/00

С 13/08 с прйсоэдиибиибм заивкн ¹ (23) Г(риормтет

Государствениый комитет ссср по делам иэобретеиий и открытий

Оп бликОианО 150879, Бирллетень И2 30

27 (088,8) Лата < ós t © Н описания 15.0879

В.Н.Черняев, Ю.Г.Обичкин, О.П.Глудкин и А.H.Ãóñòîà (71) Заявитель

Московский авиационный технологический институт имени К.З.Циолковского (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ РЕГУЛИРОВАНИЯ СКОРОСТИ

КОЯДЕНСАЦИИ ТОНКИХ ПЛЕНОК

Изобретение относится к области технологии производства микросхем.

Известно устройство для термического испарения жидких растворов с автоматическим регулированием скорости испарения.

Устройство содержит испаритель с электронагревателем, датчик скорости испарения с преобразователем его сигналов, задатчик стабилизируемой величины скорости испарения, суммирующее звено, регулирующий орган, программный блок и датчик массы иснаренного раствора (lj. I 5

Недостатком данного устройства является высокая.инерциончость контура регулирования.

Наиболее близким техническим решением к данному изобретению является устройство для регулирования скорости конденсации тонких пленок, содержащее испаритель, подложку, токовый трансформатор, программный блок, датчик скорости конденсации, соединенный с измерителем скорости конденсации, выход которого подключен к первому входу элемента сравнения, ко второ"у входу которого поди чен задатчик 3 а элемент сравнения соединен с уси лителем-преобразователем (2), Исполнительным уэлом в привеценном техническом решении является блок управления тиристорами и испарителем (илн нагревателем испарителя) — это определяет высокую инерционность контура регулирования.

Целью настоящего и" îáðåòåíèÿ является повышение быстродействи" устройства.

Поставленная цель достигается тем, что уСтройство содержит решетку переменного свободного сечения с приводом, расположенную между испарнтелем и подложкой, и генератор низкой частоты, причем первый вход привода соединен с выходом генератора низкой частоты, а второй — с усилителем-преобразователем, вход которого соединен с последовательно соединенными программньм блоком, токовым трансформатором и испарителем.

На фиг. 1 представлена блок-схема устройства; на фиг. 2-выполнение. решетки. Устройство содержит: испаритель 1, подложку 2, датчик скорости конденсации 3, измеритель скорости конденсации 4, ЭЛемент сдавне -, 679949 ния Б, задатчик 6, усилитель-преобразователь 7, привод 8, генератор низкой частоты 9, решетку переменного свободного сечения 10, программный блок 11, токовый трансформатор 12,. 5 (Решетка,в частности, может быть выполнена так, как показано на фиг. 2, из отдельных гибких пластин, соединенных между собой. При растягивании пластины отходят друг от друга, а при )0 снятии нагрузки вновь соединяются, закрывая освободившиеся отверстия, i

Устройство работает следующим образом.

Программный блок 11,постепенно> повышая входное напряжение токового транаформатора, устанавливает его на уровне, котЬр;.й должен соответствовать мощности испарения н скорости испарения, которые близки к 20 заданным. После этого программный блок дает команду на смещение шага решетки 10 через усилитель-преобразователь 7 и привод 8 и включает схему автоматического регулирования. g$

Испаряемый материал поступает на подложку 2 н датчик скорости конденсации 3, сигнал с датчика поступает в измеритель скорости конденсации 4, а затем сигнал с измерителя скорости ЗО поступает на элемент сравнения 5 °

Также поступает сигнал с эадатчика 6.

0ба сигнала сравниваются, а их разность усиливается усилителем-преобразователем 7, сигнал которого управ- 3 ляет приводом 8. При отклонении скорости конденсации от заданной свободное сечение сетки изменяется таким образом, чтобы вернуть скорость конденсации к прежнему значению.

Для того, чтобы пластины решетки не затеняли подложки, на привод 8 подается переменное напряжение с генератора низкой частоты 9, обеспечивающее колебания решетки с ампли- 45 тудой, равной удвоенной толщине пластины решетки. Частота колебаний выбирается такой, чтобы циклические изменения потока пара не -повлияли на процесс конденсации (обычно Г350 Гц) .Я

Предлагаемое устройство обеспечивает регулирование .скорости конденсации с постоянным качеством, не зависящим от изменения статических и динамических характеристик испарителей. Низкая инерционность устройства (постоянная времени много меньше, нежели постоянная времени испарнтеля), обеспечивает высокое быстродействие системы автоматического регулирования (CAP) скоростью конденсации и уменьшает ее динамическую ошибку.

Устройство обеспечивает точнов регулирование скорости конденсации, что обеспечивает улучшение воспроизводимости электро-физических параметров пленки, повышает процент выхода годных пленок, качество и надежность микросхем на их базе, Формула изобретения устройство для регулирования скоростии к onден сации тонких пленок, содержащее испаритель, подложку, токовый трансформатор, программный (блок, датчик скорости конденсации, соединенный с изиврителем скорости конденсации, выход которого подключен к первому входу элемента сравнения, ко второму входу которого подключен эадатчик, а элемент сравнения соединен с усилителем-преобразователем, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения быстродействия устройства, оно содержит решетку переменного свободного сечения с приводом, расположенную между испарителем и подложкой, и генератор низкой частоты, причем первый вход привода соединен с выходом генератора низкой частоты, а второй— с усилителем-преобразователем, вход которого соединен с последовательно соединенными программным блоком, токовым трансформатором и иапарителем..

Источники йнформации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР

Р 333226, кл. С 23 С 13/08.

2. Данилин Б.С, Вакуумная техника в произвоцстве интегральных схем. N °, Энергия, 1972 г, 679949

Составитель Цаллагова

Техред М. Келемеш Корректор М. Селехман

Редактор 3.Губницкая

Тираж 1015 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Заказ 4793/43

Филиал ППП Патент, г.ужгород, ул.Проектная,4