Стекло
Иллюстрации
Показать всеРеферат
I опислнй.r.
ЙЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
; 68ЬМ9
Союз Севетскик
Соарвалистическии
Республик (61) Дополнительное к авт. свид-ву(22) Заявлено 240378 (21)2593840/29-33 (51) М. Кл.2
С 03 С 3/14 с присоединением заявки Мо
Государственный комитет
СССР по деяам изобретений и открытий (23) Приоритет— (53) УДН666.112..92(088.8) Опубликовано 250879 Бюллетень Но 31
Дате опубликования описания 250879 (72) Авторы изобретения
B. Д. Халилев, Н. Б. Князян и В. И. Вахрамеев (71) Заяв ель аявитель
Ленинградский ордена Трудового Красного Знамени технологический институт (54 ) СТЕКЛО
36-4 5
18-25
l8-24
5-18
2-9
1 7
Изобретение относится к составам стекол, используемых в электронной промышленности, в частности, для герметизации и склейки полупроводниковых приборов, изготовляемых на основе арсенида галлия.
Известен состав стекла, имеющего низкую температуру плавления и используемого для влагонепроницаемого покрытия деталей в электронике, содержащий следующие компоненты, мол.%! PbF> 17,5-30,0; 8ZO>
35,0-45,0; ZnO 27,5-42,5 (1).
Стекло синтезируется из борной кислоты, фторида свинца и окиси цинка. Шихту смешивают н спекают при температуре 800-1000 С. Готовое стекло выливают в воду, получают фритту, затем ее сушат, измельчают. Наносимый раствор (эмаль) получают смешиванием стекла с органическим растворителем и органической связкой.
Раствор наносят методом печати или из пульверизатора при температуре спаивания (440-570 С).
Недостатком данного способа является низкая химическая. устойчивость и малое электрическое сопротивление.
Наиболее близким к изобретению является состав стекла, содержащий
37-63 вес.% PbFzi 7-12 вес ° % ZnO< 12"
15 вес.% ВзОв 10-15 вес.% CdO u
3-5, вес.% Абс з (2) .
Это стекло йе проявляет признаков кристаллизации в широком интервале температур.
Недостатком этого состава является невысокое удельное электрическое сопротивление, так при температуре 150 С оно составляет (1 2то
1,4) ° 10 ом ° ñì и повышенный КТР (10 6- 112 ) ° 10 1/град.
Цель изобретения — повышение . удельного электрического сопротивления и снижение коэффициента термического расширения.
Это достигается тем, что стекло, включающее В О, ZnO, Cd0, РЫ ., АСР., дополнительно содержит МпО при следующем соотношении компонентов, мол.%:
2 Ъ
ZnO
CdO
PbFz
AeF
Мп0
681009
22,5
0,5
4,0
0,4 вес. %
2 мол. %
30,4 19,0
29,4
17,4
3,4
40,0
5,5
21 Ро
20,5
2,5
10,5
26,9 16,5 вес.%
3 мол.% вес.%
4 мол.%
25,5
1,7
24,9
4,5
37,5 19 0
24,7 14,6
38,5 19,0
24,4 14,1
20,0
4,0
12,0
7,5
24,3
2,7
27,8
5,9
19 0
5 5
15,0
33,5
3,0 вес.%
22,2
3 5
2,3
462й5,0
450*5,0
42015,0
73,3+3,0
76,9+3,0
78,2+3,0
81,5+3,0
1,0 10
2,5 10 1,2 10
1,25 10
6,5 10
8,5 10
1 1. 101
1,6 10
0,8 1013
0,4 ° 10
405+5,0
445+5,0
395+5,0
3802 5, 0
0 95 ° 1010
435+5,0
Формула изобретения
Тираж 556 Подписное
ЦНИИПИ Заказ 5007/21
Филиал ППП Патент, г. Ужгород, ул. Проектная,4
Данные стекла синтезируют в корунцовых тиглях в электрической пе" чи при температуре до 1000 С в течение 30-40 мин. Исходными реактивами служат реактивы марки 4 и Х4.
Выработку стекла производят на холодную металлическую плиту. Далее стекло перетирают в порошок, из которого приготавливают сметанообраэяую суспенэию, используемую в качестве растворителФ воды. Далее эту массу наносят на изготовленный элемент и обжигают в электрическо 1 печи при температуре 350-370 С в течение 3-5 мин. Стекло расплавляется, ровным слоем герметизирует
Стекло, включающее B O ZnO, CdO, РЬГ (AfГ, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения удельного электрического сопротивления и снижения коэффициента термического расширения, оно дополнительно содержит Мп0 при следующем соотношении компонентов, мол.%:
2 3
36-4 5
ZnO 18-25 рабочий узел элемента, образуя при этом вакуум плотный, прочный спай с арсенидом галлия.
В табл.l приведены составы предла.гаемого стекла, содержащие компо кенты в мол.% и вес.%.
В табл. 2 пРиведены свойства составов предлагаемого стекла.
Предлагаемые стекла легко синтезируются по существующим технолоtO гическим режимам, значительно более устойчивы к кристаллизации, легко образуют прочные вакуумплотные спаи при температуре 450-470 С последующей герметизацией.
Т а б л и ц а 1
CdO 18-24
Р Га 5-18
АЮГ 2-9
NnO 1-7
Источники информации, принятые во внимание при экспертизе
1. Патент Японии 9 3467, кл. 21 A 296, 1971.
2. Заявка Р 2554142/33, 60 кл. С 03 С 3/18, 1977, по которой принято решение о выдаче авторского свидетельства.