Интерферометр для контроля качества оптических деталей

Интерферометр для контроля качества оптических деталей

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Союз Советских

Социалистических

Республик

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

84296 (61) Дополнительное к авт. свид-ву— (22) Заявлено 03.02.78 (21) 2577832)25-28 с присоединением заявки №вЂ” (23) Приоритет— (51) М. Кл.

G 01 В 9/02

Государственный квинтет ссср

ll0 долам нзооретнннй н открытий

Опубликовано 05.09.79. Бюллетень № 33

Дата опубликования описания 15.09.79 (53) УДК 531.715.. 1 (088.8) (72) Автор изобретения

А. И. Кузнецов (71) Заявитель (54) ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ КОНТРОЛЯ КАЧЕСТВА

ОПТИЧЕСКИХ ДЕТАЛЕЙ!

Изобретение относится к оптическому приборостроению и может быть использовано для контроля качества поверхностей крупных оптических деталей и систем.

Известен интерферометр, содержащий источник света, конденсор, диафрагму, плоское зеркало, тубусную линзу, микрообъектив, полусферическую линзу с эталонной поверхностью, светоделительную пластину,выключающийся объектив, окуляр 11).

Недостатком данного интерферометра является совмещение осветительной и наблюдательной систем, что ограничивает.-его применение для контроля крупногабаритных оптических поверхностей.

Наиболее близким по технической сутцности к предлагаемому устройству является интерферометр для контроля качества оптических деталей, содержащий монохроматический источник излучения, рабочую ветвь включающую систему плоских зеркал, телескопическую систему и микрообъектив, светоделительный блок, установленную за ним наблюдательную ветвь, и эталонную поверхность 2).

Недостатком известного устройства является то, что интерферометр может применяться для контроля оптических поверхностей с отношением диаметра и радиуса кривизны только до 1:3, при контроле систем с отношением, превышающим указанную величину, собственные аберрации интерферометра резко возрастают, что делает интерферометр совершенно непригодным для контроля высокоточных светосильных систем и поверхностей.

Целью изобретения является повышение точности контроля.

Указанная цель достигается тем, что светоделительный блок. выполнен в виде двух линзовых полусфер,. на. плоскую поверхность одной из которых нанесено светоделительное покрытие. центры кривизны сферических поверхностей совмещены с предметной точкой микрообъектива на светоделитель-ном слое, а в качестве эталонной поверхности используется часть сферической поверхности со стороны выходного пучка.

На чертеже показана принципиальная схема устройства.

684296

Уст!)ОЙ с Tt30 co;! P?K!IT x! of!ox Poxi?IT!! >Ie(K!4 ff исT0 !Ник 1 излу I(. Ния, систему !(лоских зеркал 2 и 3, тслсскопическу(0 систему 4, микроОб.(OK! ив 5, с!!сто.(слительный олок 6, выпс)лн !4flf>IH в виде двх x,л ннзо!3ых полусфер, 1!я плоскук) повсpxftocTI одной из которых (япссс нo свстодслительное покрытие, центры кривизны сферич cKHx 1!of3epxliocTCA совME!цены с предмет!(ой точкой х!Икрообъскт(вя ня свстодслительном слог; исследуемую пс)всрхность 7, наблк)дятельну(о ветвь 8, я

В кач(стВс эталонной ttof3epxfloc «я» используетсяя >! ЯС1 ь сферической (to()epx»oc T со стороны выходного пучка; в обратном ходе лучей за телескопической системой 4 установлен смеtlltl IH свстодслитсль 9 и !остироВоч и я я II«().(юдатс и ьна я cHcTc!>(а 1 0 с I!E .pE крсстием.

Предлагаемый интс рфероыетр работает

СГ(С (VK) It(If )I O() P H:30)t.

I 1>> чок ct)eтс! От монохром ятичсского источникая 1 излучения после отра?кения от плоских зеркал 2 и 3 расширяется телескоIIH>lE .cKoI1 cIIcTE. мой 4, з (т(. xf )IHKpoo()ъеKTH13

5 преобразует его в сходящийся пучок, лучи которого Ilo нормалям проходят од«ó половину сферической повер:(ности cf)eòoäåëHTeëi>ного блока 6 и собираются в центре кривизны эталонной поверхности «а», образуя предметную светящуюся точку О. От поверхности «а» свет частично отра?кается и, возвращаясь по нормалям, создает волновой фронт сравнения с центром в точке О. Другая часть света без преломления проходит поверхность «а» и падает на исследуемук) поверхность 7. Если центр кривизны исследуемой поверхности или фокус исследуемой системы 0" совмещен с точкой О пучок лучей возвращается по тому ?ке пути и интерфсрирует с волновым фронтом сравнения.

Набл!одение интс рференционной картины и фотографирование се осущсствля(тся с помощью наблюдательной системы !О.

Юстиро()ка интерфсромстра, т. с. cовмсщение предметной свстя(цсйся точки и центра кривизны эталонной поверхности «а», и проверка сохр(!Нсния 10стирОВки производятся в автоколлимационной схеме от эталонной поверхности «а» с помощью элементов 16, сменного светоделителя 9 и (остировочной нао 1!oлятслы!ой системы 10 с псрскрсстис)1. с:(3сToдслитсл1> 9 llpll !ОСTI(po(3KC интеpp(4)(.роыстра ыст!(ня!37!!4В(!стл((3)tecòo плоского з. ркяля 3. с. II() )loll(f>K) перемещения си(тсм !>(4, 5, 1 О, к((к Одно цсло(., я Втоко.1. Н(ма цно;! и(>! и О. f!IK () I эта;!»Н пои Ilot!Cpx Ности «а» приводится в цс нтр перекрестия с

ыи! Ныалы!ыы сl о р?!зх!ероы. В рабо (сы реи<имс интсрфероыетра !!Лосhoc зс ркяло 3 у Tdнавливастся I3 pano«e>t поло?кении (ля у)tett»щения потерь световой э!(оргии. 11римснсIIHE. линзового свстодслитсльного б,н)ка позволяет создать эта lot IIII>llf и рабочий пучок лучей интерфсромстра с апертурой до 0,7, тяк как прсдмстняя свстян(яяся точка хорошсгo качества сформирована внутри стекла этого блока. Применен((с предлагаемого и!Псрферомстра для Kol!Tpoë« крупногабаритной Оптики НОЗВОл>!е! IlpOKOI!TI)oлирОВять, а следовятслыщ, H изготовить с высокой точностью крупногабари»1 te опilt«ccK!tc Лета ill и системы с япсртурои;(о 0,7.

28

Фс?/7.!1!7>(с) ияоб)!7(1 с ни)!

Интсрфсромстр для контроля качества оптически. дс гялси, содср?ка щи и монохроматический источник излу (ения, рабочую ветвь, вкл!очающую систему плоских зеркал, телескопическую систему и микрообъсктив, светоде, 1 H Teë ü í ht É Ол 0 к, vc T EI и О В.) e H f t 3 ю 3 я н и м няблюдательну!о ветвь, и эталонную поверхность, отли!а)ои(ийся тем, что, с целью нов Ittte(IIIH то tltocTH контроля, светоделительпый блок выполнен В виде двух линзовых полусфер, «а плос кую поверхность одной из которых нанесено светоделительное покрытие, центры кривизны сферических поверхностей совмещены с предметной точкой микрообъектива на светоделительном слое, я В качестве эталонной поверхности испол ьзус тся часть сферической поверхности со стороны выходного пучка.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

l. «Оптико-механическая промышленность», !973, хго 10, с. 25 — 27.

2. «Новая техника в астрономии». Вып. 3, «Ня< ка», 1970, с. 207.

684296

Составитель Н. Захаренко

Редактор А. Мурадян Техред О. Луговая Корректор М. Селехман

Заказ 5268/30 Тираж 866 Подписное

ЦН И И ПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская наб., p,. 4/5

Филиал ППП «Патент», г. Ужгород, ул. Проектная, 4