Колонна электронного микроскопа

Колонна электронного микроскопа

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

а(-.rt,„он! ля л)

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

Союз Советскик

Социалистических

Республик (б1) Дополнительное к авт. саид-ву (22) Заявлено031276 (21) 2425552/18-25 с присоединением заявки М (23) Приоритет (51)М, Кл.2

Н 01 3 37/26

Государственный комитет

СССР по деяам нзооретенкй н открытий

Опубликовано0509.79. Бюллетень Nо 33

Дата опубликования описания 080979 (53) УДК 621.385. .833 (088 . 8) (72) Автор изобретения

П.A.Ñòoÿíoâ (71) Заявитель (54) КОЛОННА ЭЛЕК1 РОННОГО МИКРОСКОПА

Изобретение относится к электронно-оптическому приборостроению и может быть использовано при конструировании колонн электронных микроскопов.

Известны колонны электронных микроскопов, содержащие несколько линз, например два конденсора, объектив-— ную,промежуточную и две проекционные линзы. Каждая линза обеспечивает заданную функциональным назначением магнитодвижущую силу .вследствие чего размеры и конструкции окон под обмотки во всех линзах различны и не согласованы, а для питания каждой линзы применяется индивидуальный источник (1 .

Однако известное устройство имеет сложную конструкцию и недостаточно стабильно,что обусловлено применением источников питания с различной стабильностью.

Наиболее близким к изобретению техническим решением является колонна электронного микроскопа, содержащая магнитные линзы, каждая из которых состоит из магнитопровода с размещенной в его окне секционированной обмоткой возбуждения. Обмотки возбуждения каждой линзы состоят из связанных между собой секций (модулей) и питаются от одинаковых стабилизаторов тока. В данном устройстве достигаются расширение диапазона регулировки обмотки линз и снижение нестабильности токов линз 12 .

Однако это известное устройство также сложное, что обусловлено раэ— личием конструкций электронных линз и их несогласованностью, оно имеет недостаточно высокую стабильность, что обусловлено невысокой ста- . бильностью источников питания мощных магнитных линз.

Целью изобретения является повышение стабильности работы устройства и его упрощение.

Для этого обмотки возбуждения магнитных линз выполнены из расположенных концентрично в один или несколько слоев кольцевых обмоток-модулей одинаковой высоты, толщина мо25 дуля и диаметр среди го витка которых связаны соотношением а ° ol =,ОП5 причем внутренний диаметр окна равен внутреннему диаметру одного иэ модулей, внешний диаметр окна равен внешнему диаметру того же или боль684648 шего модуля, а высота окна равна сумме высот модулей и промежутка. между их верхними и нижними слоями, Размеры всех линз и модулей взаимно увязываются таким образом, чтобы обмотку любой линзы можно было набрать из нескольких типовых модулей. Число набираемых модулей зависит от магнитодвижущей силы линзы и будет наибольшим для объективной линзы и наименьшим для длиннофокусного конденсора, а типоразмеры модулей зависят от диаметра керна и наружного диаметра линзы.

На фиг.1 приведена схема конструкции устройства; на фиг.2 — сечение слоя обмотки, набранного из модулей.

Колонна электронного микроскопа (см.фиг.1) состоит из нескольких магнитных линз — первого короткофокусного конденсора 1, второго длиннофокусного конденсора 2, объективной линзы 3, промежуточной линзы 4, дифракционной линзы 5 и проекционной линзы 6.Каждая из вышеназванных линз включает в себя магнитопровод 7 с размещенными в его окне обмотками возбуждения, состоящими из модулей

8-10 .

Обмотки возбуждения всех линз набраны, например, иэ модулей трех типоразмеров: модуль 8 — с толщиной а и диаметром среднего витка Д1," модуль 9 — с толщиной а и диаметром среднего витка г ; модуль 10 с толщиной Оз и диаметром среднего витка d . Модули в обмотках расположены концентрично в один или несколько слоев.

Модули разных типоразмеров, выполненные в соответствии с формулой Q ° д = C o 5, обладают одинаковыми значениями мощности, сопротивления и потребляемого тока, не связаны между собой в устройстве и эапитываются каждый от одинаковых источников питания.

Таким образом, упрощение устройства достигается за счет конструктивноГо согласования различных, магнитных линз путем набора их обмоток из типовых модупей с ВО3М0Кностью простой их замени в процессе эксплуатации и питания модулей отдельными одинаковыми источниками тока с пониженной мощностью. Повышение стабильности работы устройства достигается высокой стабильностью источников тока низкой мощности и снижением среднестатистической нестабильности системы модулей.

Описанное устройство обладает следующими дополнительными преимуществами.

Упрощенная и более точная регулировка тока возбуждения обмотки, так как в группе источников, питающих обмотку, достаточно иметь один регулируемый источник, а остальные †. нерегулируемые ° Простота изменения оптических характеристик лийз колонны электронного микроскопа путем отключения части модулей или

15 переводом их из согласованного включения к встречному. Возможн сть быстрого обнаружения неисправного источника питания модуля любой линзы путем поочередного подключения их к промежуточной линзе и последующего

2р наблюдения на экране электронного микроскопа каустики в режиме микродифракции .

Формула изобретения

Колонна электронного микроскопа, содержащая магнитные линзы, каждая из которых состоит из магнитопровоЗр да с размещенной в его окне секционированной обмоткой возбуждения, отличающаяся тем, что, с целью повышения стабильности работы устройства и его упрощения, 35 обмотки возбуждения магнитных линз выполнены из расположенных концентрично в один или несколько слоев кольцевых обмоток-модулей одинаковой высоты, толщина модуля и диа4р метр среднего витка которых связаны соотношением а d = const, причем внутренний диаметр окна равен внутреннему диаметру одного из модулей, внешний диаметр окна равен внешнему диаметру того же или большего модуля, а высота окна равна сумме высот модулей и промежутка между их верхними и нижними слоями.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Патент США Р 3852597 кл.250-311, 0 3.12.74.

2. Поливанов В.В. и др. ПИтающее устройство электронного микроскопа

УЭМБ-100. — Известия AH СССР, сер.физич.,т.ХХШ, 1959, Р 4, с. 450-453.

684648 а,г аг п

Рог. а

Составитель В. Вдовин

Р дактор A.Çèíüêîâñêèé Текред M.Келемеш Корректор С. Патрушева

Заказ 530-1/49 Тираж 923 Подписное

gdHMHH Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, E-35, Раушская наб.,д.4/5

Филиал ППП Патенг, r.Óæãîðîä, ул.Проектная.4