Эмиссионный электронный микроскоп

Эмиссионный электронный микроскоп

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

В. M. Пумпурс, A. Г. Мазель, А. А. Бадун, Jl. A. Гобарев и Я. Е. Платацис (72) Aeteyaa

»зобретенн»

Латвийский ордена Трудового Красного днамени государственный университет им. П. Стучки (V1) За»в»тмь (54) ЭМИССИОННЫЙ ЭЛЕКТРОННЫЙ МИКРОСКОП

Изобретение относится к области эмиосионной электронной микроскопии и может быть использовано для исследования термоэлектронной эмиссии при фазовых переходах (плавлении) и из жидких расплавS ленных веществ.

Известны эмиссионные электронные .микроскопы, в которых исследуются образцы только при температурах ниже температуры плавления вещества (1J. .ФО

Известен также эмиссионный электронный микроскоп, содержащий колонну, высоковольтный изолятор, объектодержатель, иммерсионный объектив, отклоняющую систему и люминесцеитный экран (2 .

В известном устройстве образец требует специального закрепления, что не позволяет производить. исследования его при температурах, выше температуры плав ле ни я.

Целью изобретения является расширение диапазона рабочих температур объекта исследования, наблюдения фазового перехода и термоэлектронной эмиссии из расплавленного вещества, Указанная цель достигается тем,.что в предлагаемом микроскопе обьектодержа тель выполнен в виде тигля, который закреплен на высоковольтном изоляторе и установлен с иммерсионным объективом в нижнем основании колонны микроскопа.

На чертеже предстажчено схематическое изображение колонны эмиссионного эле ктронного микроскопа.

Микроскоп содержит иммерсионный объектив, образованный исследуемым образцом 1, фокусируюшим электродом 2 и анодом 3. Электронно-оптическое изображение формируется на люминесцентном .экране 4. Тигель 5 и иммерсионный объектив расположены и нижнем основании колонны 6 микроскопа. Фокусируюшпй элекгрод 2 иммерсионного объектива неподвижен, а изолятор 7, на котором закреплен. тигель с образцом, может перемешаться относительно фокусируюшего электрода как в вертикальной, так и в

686106 горизонтальной плоскости, а также изме.нять угол наклона по отношению к нему.

Анод 3 и контрастная диафрагма 8 могут быть перемещены квк вдоль оси колонны, так и перпендикулярно к ней. Отклоняющая система 9 выполнена в виде двух пар отклоняющих пластин.

Конструкция эмиссионного электроннсго микроскопа предусматривает также дифференциальную систему откачки через 10 патрубки 10 и 1 1 для поддержания более высокого вакуума в области объекта исследования. За люмннесцентным экраном

4 размещены средства измерения: цилиндр Фарадея 12 и электрометр 13;

Исследования на микроскопе проводятся следующим образом.

С помощью иммерсионного объектива и отклоняющей системы на люминесцентном экране 4 формируется электронно-оп- о тическое эмиссионное изображение. Локальный эмиссионный ток, попадающий в цилиндр Фарадея 12 измеряется электрометром 13. Зная увеличение микроскопа и диаметр отверстия в экране, можно оп25 ределить величину участка, с которого измеряется локальный ток, и рассчитать соответствующее эффективное значение локальной работы выхода, Перемещая обраЗО зец механически или смещая его электронно-оптическое изображение с помощью электрического поля, подаваемого на пластины отклоняющей системы 9, можно определить локальные значения работы выхода на любом участке образца и постро35 ить соответствующие функции распределения работы выхода по поверхности для данного образца.

При постепенном повышении температуры образца можно наблюдать процесс рекриствллизации и фазовый переход из кристаллического состояния в жидкое, а также исследовать термоэлектронную эмиссию из расплавленного образца.

Конструкция изолятора и объектодер. жателя позволяет длительное время поддерживать образец при высоких температурах а любой исследуемый образец устанавливается в углублении тигля без специального закрепления, Формула изобретения

Эмиссионный электронный микроскоп, содержащий колонну, высоковольтный изолятор, объектодержатель, иммерсионный объектив, отклоняющую систему и люминесцентный экран, о т л и ч а ю ш и йс я тем, что, с целью расширения диапазона рабочих температур объекта исследования, наблюдения фазового перехода и термоэлектронной эмиссии из расплавленного вещества, объектодержвтель выполнен в виде тигля, который закреплен на высоковольтном изоляторе и установлен с иммерсионным объективом в нижнем основании колонны микроскопа.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Патент Швейцарии % 493934, кл. Н 01 Х 37/26, опублик, 1970.

2. цружинин А. B. Исаев А. А.. Корольков Н. С, Эмиссионный микроскоп с, и безмасляной системой откачки, Известия

AH СССР",сер. физики, т. 32, Ир 7, 1968, с. 1275 (прототип).

686106

Составитедь 9. Гаврюшин

Редактор И. Шубина Техред M. Петко Корректор М. Пожо

Заказ 5472/52 Тираж 923 Подпис ное

ЦЯИЯПД Государственного комитета СССР по делам иэобретений и открытий

113035, Москва, Ж35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП Патент, r. Ужгород, ул. Проектная, 4