Видеоконтрольное устройство для растрового электронного микроскопа

Видеоконтрольное устройство для растрового электронного микроскопа

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Сею з Совет еюфк

Сецмалнстнчееннк реавублнк

ИЗО

М АВТО (61) Дополни (22)Заявлено е прнсеедине (23) Прнорит йеудвратеаааый юаню

ЕССР аа дамм sa4pereeaO а апрнтай

Опубляк

Дата оп (72) Автор изобретен ня

E. П. Бочаров (71) Заявитель

Известно ВКУ для РЭМ„содержащее детектор излучения с предусилителем, видеоусилитель, блок развертки и синхронизации, соединенный с отклоняющей системой электронно-оптической колонны, электронно-лучевой индикатор, блок устройств согласования, блок запоминания и виэуализаиии изображения, выполненный в виде запоминающей электронно-лучевой трубки (ЗЭЛТО), дисплея, усилителей электричес

19 ких сигналов и блоков раевврток и синхрониэации (21.

Устройство позволяет исследовать образны нри медленных и однокадровых развертках с использованием ЗЭЛТ, обвспе15 чнвающвй запоминание и последующее одновременное воспроизведение электронного изображения на дисплее. Однако вто устройство имеет сложную конструкдкю, ввиду того, что блок запоминания и ssЛб еуализании иэображения выпслвен в sane самос.гонтелъного дрнбора, требуюп1вго применения устройств согласования и дополнительных раэвертываюшнх и усилитель

Изобретение относится к электроннооптическому приборостроению, в частности, к устройств м видеосигналов, и может быть использовано в растровых электронных микроскопах.

Известны видеконтрольные устройства (ВКУ) для растровых електронных микроскопов (РЭМ), содержащие детектор излучения с предусилителем, блок разверток и сиихронизаиии, видеоусилитель, соединенный последовательно с электронно-лучевым индикатором(1) . В приведенном устройстве прн сканировании образна медленными или однокадровыми развертками изображениее получавтсн мелькающим или однократныме

Применение кинескопов с длительным послесвечвнием не обеспечивает всзможsod виеуапънско анализа участков малоконтактнык или с малой интенсивностью излучения, так как интенсивность сввчеюм строки в режимах возбуждения и поолесввчеющ отт1ичаетса иа несколько порааюь (54) ВИПЕОКОНТРОЛЬНОЕ УСТРОЙСТВО ДЛЯ РА СТРОВОГО

ЭЛЕКТРОННОГО МИКРОСКОПА

1 L1 !!т,!х сх м ппя согпясовання работы двухпучеt.oé ЗЭЛТ с дисплеем.

1!елью изобретения я ляется упрощение уст ройс т ва.

Лостигается это твм, что известное устройство дополнительно содержит коммутаторы раэвврток и видеосигналов и блок режимов работы видеоконтрольного устройства, причем, первый и - второй входь! коммутатора видеосигналов соеди- !О иены соответственно с выходом детектора излучений с предусилителем и первым выходом блока режимов работы ВКУ, второй выход которого подключен к управляюппгм входам блока развертки и синхрониза- !5 цни, и коммутатора разверток, две пары выходов которого соединены с отклоняю-! пнми системами электронно-ОптическОй кОпо!пы и электронно-лучевого индикатора соответственно, а пара входов подключена !О к выходам блока развертки и сихрониэации, другие два выхода которого соединены с отклоняю!пей системой запоминающей электронно-лучевой трубки, управляющий ехоп, а также сигнальные вход и выход которой подключены соответственно к второму t ttxotty блока режимов работ ВКУ и двум выходам коммутатора видеосигналов, прн атом второй выход которого соединен с входом ендеоус!!пнтепн.

На чертеже приведена функциональная схема устройства.

Ридеоко!!тропьное устройст!ю содержит электронно-оптическую колонну 1, детектор излучений 2 с нредусипитепем, коммутатор в!ьдеостнапое 3, блок 4 режимов рабо1ь! ВКУ, attttot tttttttutnyto электроннолучевую трубку 5, блок 6 разеерток и сннхроннза!гин, видеоусилитель 7, электронно-лучевой индикатор 8, коммутатор

Ю раз еерток 9.

Устройство работает следующим обреЭОМ.

Элек!роннь!й зонд, сформирован!гый в электронно-оптической колонне 1, сканирует по поверх!гости образца. Г1ри этом е результате взаимодействия зонда с поверхностью образца эмиттируются электроны, число которых находится в прямой зависимости от рельефа образца и посту59 пают на детектор 2 с предусилителем, который преобразовывает их в видеосигнал, усиливает и подает на вход коммутатора видеосигналов 3.

Елок режимрв работы ВКУ 4 может

55 устанавливать три режима работы видеоконтрольного устройства РЭМ посредством перекл!Очения видеосигнала, изменения уп1 2 4 равпяюнтнх напряжений . 4; ЛТ . s, 1!!рпв !опия блоком 6 развертки и синхроннзашп! и коммутатором раэверток 7.

В первом режиме осуществляется запись видеосит нала и запоминание его. Г1р!! этом видеосигнал через коммутатор видеосигналов

3 поступает на сигнальный вход ЗЭЛТ,", блок 6 развертки и сихрониэапии нодключается к отклоняющим системам электронно-оптической колонны и ЗЭЛТ, осуществляя при этом соответственно синхоонное сканирование электронного зонда по исследуемому Образцу и электронного луча по мишени ЗЭЛТ. В этом режиме происходит преобразование рельефа исследуемого образца в потенциальный рельеф на мишени ЗЭЛТ н запоминание его.

Во втором режиме осуществляется воспроизведение этого потенциального рельефа, записанного по мишени ЗЭЛТ, на электронно-лучевом индикаторе H. При этом блок 4 режимов работь! ВКУ отключает е коммутаторе видеосигналов 3 детектор излучений 2 с предусипителем, а в коммутаторе разверток 9 отклоняющую систему электронно-онтической колонны 1 и подключает отклоняющую систему электронно-лучевого индикатора 8. Кроме того, этот блок устанавпнвает на электродах

ЗЭЛТ напряжения, необходимые дпя данного режима рабо1ь!, т. е. режима считывания н передачи выходного сигнала с мишени ЗЭЛТ на видеоусилитель 7. В этом режиме создается непрерывное изображение рельефа образца на ЭЛТ.

Третий режим позволяет работать видеоконтропьному устройству РЭМ без запоминания, при этом блок 4 режимов работы ВКУ включают в коммутаторе видеосигналов 3 детектор излучения 2 с предусилителем непосредственно на вход вндеоусипнтепя 7, а блок 6 развертки и синхроннзанин подключается через коммутатор разеерток 9 на отклоняющгге системы электронно-оптической колонны 1 н апек! ронно-лучевого индикатора 8, осуществляя в ннх синхронное сканирование. В данном случае видеосигнал поступает непосредственно на вход электронно-лучевого индикатора 8.

Этот режим предназначен для работы с образцами, позволяющими исследовать их быстрыми развертками, Формула нзобрете ння

Видеоконтропьное устройство дпя рвстюеого электронного микроскопа, содержаЪ j l! -7.1! Ф ° >

1Р" Р т ° h ГГ)11 !1;3 !у ° !е!Гы с 1!1!еду! ИлитГ!лем ° электронно» !!у !!!Г!Гик !<в!/!!!к!11О1!и> и и!!1ъй

l 1j÷Ô < !у(!!л !! т!О. Гз> f)llcjjj ГФпзмз ртн и и сннх1ЭО- входов подкдю !сна к Г!ь! х 1!ла ! 6лОкп р !3»

11!м!и!!1, «о !лннен1п!А с отклоняю!пей сис- иертки и синхропизГ!!в!!1, дру! !!A лва Г!ых1 темой э!!ентрон!!о-юГ!тической колонн!и, да которого соединены с отклоняюцюй си»электронно-лучен>й индикатор, запоминаю- темой запоминаюпюй электроннолучеГ!ой пую электронно-лучевую трубку, о т л и- трубки, управляюГций вход, а также сигч а ю !и е е с я тем, что, с мелью уп- нальные вход н выход которой подключеро!пения устройства, оно дополнительно ны соответственно к второму выходу блока содержит коммутаторы разверток и видео» режимов работы видеоконтрольного устсигналов и блок режимов работы видео- !О ройства и двум выходам коммутатора вн контрольного устройства, причем, первый деоскгналов, при этом второй выход котои второй входы коммутатора виаеосигна- рого соединен со входом видеоусилители. лов соединены соответственно с выходом Источники ннфармадин, принятие но детектора излучений с вреаусилителем и внимание при экспертизе первым выходом блока режимов работы >> 1. Леркач B. П., Кияшко Г. Ф. видеокон!рольного устройства, второй вы- Кухарчук М. С. Электронно-лучевые устход которого подключен я управляю!дим ройства; Киев;!Наукова думкау1974, входам блока развертки и сихронизапии и с. 1 39-140. коммутатора раэвертон, две пары выходов Я.Scannjng Пес!пт И ооягору 07Г Ргукоторого соединены с отклони!оши. !и сис- ?О Ndings ot the 5й anntaP sconnlng Р(Рс1!ОВ mic темами электронно-оптической колонны и !ОБ ОРц symposiunl f_#_c, Chicago,Мбттp.!!2!5

11! Г111П111 Заказ 57 17/47 Тираж . 2. 1У! лГ1!1с.!Гое

Фил1!ал П11Г1 Патент", г. жгГ!род, ул. !1р» .к !.1!!!и, 1