Масс-спектрометрический течеискатель

Масс-спектрометрический течеискатель

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

О П И С А Н И Е 633375

Союз Советских

Социалистических

Республик

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дололн ительное к BiBT. свирид-ву— (22) Заявлсно 10.05.78 (21) 2612332/25-28 с присоединением заявки №вЂ” (23) Приоритет— (43) Опубликовано 30.09.79. Бюллетень ¹ 36 (45) Дата опубликования описания 01.10.79 (51) М.Кл.2 С 01 N 27/62

G 01 М 3/02

Государственный комитет ло делам изобретений и открытий (53) УД1 620,165.29 (088.8) (72) Авторы изобретения О. А. Загорянский, Л. П. Махлин и М. И. Селиверстов (71) Заявитель и (54) МАСС-СП ЕКТ РОМ ЕТР И Ч ЕСКИ Й ТЕЧ ЕИСКАТЕЛ Ь

Изобретение относится к приборам для масс-спектрометрического анализа и предназначено для контроля герметичности различных устройств.

Известны анализаторы заряженных частиц, где отключающая система выполнена в виде набора электромагнитных.а нализаторов с различными радиусами орбит I;1).

Известны также анализаторы, имеющие направленное фокусирование, позволяющие в некоторых пределах изменять фокусировку, т. е. траекторию пучка ионов (2).

Однако, при изменении орбиты от наибольшей к наименьшей соответственно снижается разрешающая способность приборов, кроме того из-за ограниченной возможности изменения ускоряющего напряжения они также могут применяться лишь для близких по массе газов.

Наиболее близким по технической сущности к изобретению является масс-спектрометрический течеискатель, например, типа

ПТИ, содержащий масс-анализаторную камеру статического типа, размещенную между полюсами магнита, вакуумную систему, блок питания камеры и измерительную систему 3).

Течеискатель настроен на измерение парциального давления только одного контрольного газа, перестройка же течеискателя на другой газ может выполняться изменением ускоряющего напряжения только в небольших пределах, иначе происходит расфокусировка пучка и резкое ухудшение чувствительности и разрешающей способности прибора. Практически возможна его перестройка только на газ с близкой эффективной массой и с понижением чувствительности.

Целью изобретения являстся расширение спектра анализируемых газов, Указанная цель достигается тем, что масс-анализаторная камера выполнена с двумя П-образными карманами, расположенными вдоль орбиты полета ионов газов, а течеискатель снабжен вставками из магнитопроводного материала, устанавливаемыми в эти карманы.

На фиг. 1 схематически изображенг

20 предлагаемое устройство, на фиг. 2 — разрез А — Л на фиг. 1.

Течеискатель состоит пз масс-анализаторной камеры 1 статического типа с 180градусной фокусировкой ионных пучков в

25 однородном поле магнита 2, измерительной системы 8, вакуумной системы 4 и блока 5 питания камеры. Внутри камеры расположены источник 6 ионов и приемник 7, а снаружи П-образные карманы 8 с магнитомяг

ЗО к1.ми вставками 9.

688875

Рог.2 сонг./

Составитель А.. Петросян

Тех реп H. Строганова

Корректор С. Файн

Редактоп Т. Морозова

Заказ 857/1075 Изд. № 540 Тираж 1090 Подписное

11ПО «Поиск» Государствеипого комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Я(-35, Раушская иаб., д. 4/5

Тип. Харьк. фил. пред. «Патент»

Работает течеискатель следующим образом.

Поступающий за счет диффузии в вахуумируемый оо.ьем камеры 1 газ понизируется и вытягивается в виде узкого пучка из источника б ионов в пространство камеры I, где под действием электрического и магнитного полей он движется по круговой орбите радиуса R и попадает в приемник 7.

Ионный ток регистрируется измерительной системой 8. При изменении -ипа контрольного газа карманы 8 камеры заполняются магнитомягкими вставками 9 из электротех-. нической стали или сплава на высоту, соответствующую изменению массового числа газа. Перестройка такого течеискателя на новый контрольный газ сводится к установке (или снятию) калиброванных магнптонроводных вставок, имеющихся в наборе, и небольшой подстройке течеискателя изменением ускоряющего напряжения. Так, например, перестройка с гелия на аргон требует установки 8-миллиметровых вставок из стали Э-42.

Течеискатель позволяет без дополнительных затрат и без уменьшения его чувствительности быстро производить перенастройку с одного анализируемого газа на другой в широком диапазоне массовых чисел газов.

Формула изобретения

Масс-спсктрометрический течеискатель, содержащий масс-анализаторную камеру статического типа, размещенную между полюсами маги та, вакуумную систему, блок

Рз питания камеры и измерительную систему, отличающийся тем, что, с целью расши рсния спектра анализируемых газов, масс-анализаторная камера выполнена с двумя П-образными карманами, располо15 жснными вдоль орбиты полета ионов газов, а течеискатель снабжен вставками из магнитопроводного материала, устанавливаемыми в эги карманы.

20 Источники информации, принятые во внимание при экспертизе:

1. Авторское свидетельство СССР

¹ 253945, кл. Н 01 J 39/34, 1969.

2. Патент США № 3213276, кл. 250-41.9, 1967.

3. Ланис В. А., Левина Л. Е. Техника вакуумных испытаний, «Госэнергоиздат», 1963, с. 199 — 207, (прототип).