Аппарат для глубокой очистки веществ

Аппарат для глубокой очистки веществ

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

@@теитио- - -. ° о и и Ск"й-%i

Союз Советских

Социалистических республик

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. саид-ву р 592439 (22) Заявлено 18.05.78 (21) 2616722/23-26 с присоединением заявки Ю

Гвсудэрстееинык NwTtT

СССР ее делам лзабретенлл и еткриткл

{23) Приоритет

Опубликовано. 15.10.79 Бюллетень РЙ 3

Дата опубликования описания 15.10.79

А. В. Ванюков; Л. С. Гершман, А. А. Герасимов и В. К, Керножицкий (72) Авторы изобретения

Московский ордена Трудового Красного Знамени институт стали и сплавов (71) Заявитель (54) АППАРАТ ДЛЯ ГЛУБОКОЙ ОЧИСТКИ ВЕЩЕСТВ

Изобретение относится к области глубокой очистки веществ, идущих на синтез полупроводниковых материалов, и является усовершенствованием изобретения по авт. св. Р 592439, По основному авт. св. Н 592439 известен

5 аппарат, выполненный в виде вертикального трубчатого теплообменника, у которого капилляры расположены в трубах теплообменника, электроды на концах каждой трубы, а тепло.нбситель находится в межтрубном пространст10 ве (1).

Недостаток известного аппарата состоит в том, что в нем происходит очистка вещества лишь от примесей, имеющих одноименный заряд. Поэтому, чтобы получить чистое вещестi5 во, т, е. беэ примесей, имеющих как положительный,так и отрицательный эффективный заряд, последовательно с первым аппаратом ставят второй подобный аппарат, но с противо20 положной по отношению к первому полюсностью электродов. Это осложняет аппаратурное оформление процесса и увеличивает его стоимость.

Цель изобретения- — обеспечение одновреI,, менной очистки веществ от примесей, имеющих разноименные. заряды, упрощение аппаратурного оформления процесса и его удешевление.

Эта цель достигается тем, что аппарат для глубокой очистки веществ снабжен дополнительными электродами, расположенными в средней части каждой трубы Hà BblcoTe 0,5 — 0,6 ее общей длины.

Такое размещение дополнительных электродов является оптимальным, так как при заданных геометрических размерах аппарата, плотности постоянного электрического тока, пропускаемого через аппарат, степени очистки вещества, производительность аппарата будет максимальной или при заданной производительности аппарата степень очиспси вещества будет максимальной.

Предлагаемый аппарат изображен на чертеже.

В общем корпусе 1 находятся, например, четыре электродиффузионных ячейки 2. Каждая ячейка представляет собой кварцевую трубу

3 длиной 100 см с внутренним диаметром не

69,1188 пространстве, куда поступает по трубе 17 и выходит по трубе 18.

Использование предлагаемого аппарата позволяет одновременно очищать вещество от примесей, имеющих разноименные заряды, в одном аппарате и за счет этого существенно

-упростить и удешевить процесс очистки. Так как предлагаемый аппарат по эффективности очистки заменяет собой два последовательно G . установленных известных аппарата, экономический эффект будет выражаться в снижении стоимости очистки вещества примерно в 1,5—

2 раза.

Заказ 6091/4

Подписное

ЦНИИПИ

Тираж 877

3 более 10 мм, в которой имеются три токоввода 4, 5, 6. Токовводы 4, 5 ввариваются в торцы трубы, токоввод 6 — в среднюю часть трубы на высоте 05 — 0,6 ее общей длины. Токовводы представляют собой вваренные вакуумно плотно в кварцевое стекло молибденовые стержни. Электрический контакт между молибденовыми стержнями и очищаемым веществом осуществляется через промежуточные стержни

7 из графита. Труба 3 заполнена кварцевыми капиллярами 8 с внутренним диаметром 0,5 м

Между торцами пучка капилляров и электродами имеются зазоры 9, 10, 11 высотой 4 мм.

Снизу на высоте 0,1 общей длины трубы также имеется.зазор 12 высотой 3 мм. 15

Устройство работает следующим образом.

По трубе 13 в зазор 12 поступает исходное вещество, которое заполняет капилляры и межкапиллярные пространства. Полюсность электродов задают так, чтобы примеси диффундировали сверху вниз, например, если на электроды

4, 5 подается положительный потенциал, то на электрод 6 отрицательный . Анодноочищенное вещество отводится по трубе 14, катодноочищенное вещество — по трубе 15, чистое вещест-25 во, т. е. вещество, очищенное от примесей, имеющих как положительный, так и отрицательный эффектйвный заряд, отводится по трубе 16. Теплоноситель находится в межтрубном

Формула изобретения

Аппарат для глубокой очистки веществ по авт, св. Р 592439, отличающийся тем, что, с целью одновременной очистки веществ от примесей, имеющих разноименные заряды, он снабжен дополнительными электродами, расположенными в средней части каждой трубы на высоте, равной 0,5 — 0,6 ее общей длины.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР No592439 кл. В 01 К 1/00, 1976.

Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная. 4