Ленточный конвейер

Ленточный конвейер

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советс»ик

Социалистичес»их

Респубпи» (! и 691363 (61) Дополнительное к авт. сеид-ву (22) Заявлено 13.10,77 (21) 2532544/27 — 03 с присоединением заявки .% (23) П риоритет (51)М. Кл.

В 65 G 15/60

Гесудврстввннь!й квивтет

СССР вв делам вэебрвевний...к вткрытвй

Опубликовано 15.10.79. Бюллетень М 38 (53) УДK 622.674. .2:621.867.2 (088.8) Дата опубликования описания 15.10.79 (72) Автор (54) ЛЕНТОЧНЫЙ КОНВЕЙЕР

Изобретение относится к промышленному . транспорту, в частности к ленточным конвейерам для транспортирования чзделий плоской формы и может быль использовано в электройной промышленности при производстве полупроводниковых приборов, например, на операциях фотолитографии, связанных с термообработкой слоя фоторезиста, нанесенного на полупроводниковую пластину.

Данная операция необходима для удаления .20 остатков растворителя из пленки фоторезиста, а также для обеспечения большей адгезии между подложкой и фоторезистом. От проведения этой операции зависит качество формируемого в пленке изображения.

Известен ленточный конвейер, включающий грузонесущую сетчатую ленту, огибающую концевые барабаны, снабженные приспособлениями, фиксирующими на них ленту и предотвращающими ее боковой сход. При этом каждое фик20 сирующее приспособление выполнено в виде обрезиненных роликов, установленных нод холостой ветвью конвейера, взаимодействующих д с элементами наружной стороны сетчатой ленты. Ролики создают усилие, направленное в сторону, противоположную усилию, возникающему при взаимодействии элементов внутренней стороны ленты с обводным барабаном (1).

Однако данный конвейер не исключает схода ленты с барабанов в процессе работы. В результате этого на ленте образуются гофры и складки. Это отрицательно сказывается на качестве обработки материала, Известен ленточный конвейер, включающий приводной и натяжной барабаны с проточками на одном из краев, ленту с выступами, расположенными в проточках барабанов (2).

Недостатком конвейера является неравномер. ность термической обработки тфанспортируемого материала, так как натяжение ленты по ширине не одинаково.

1(елью изобретения является повышение равномерности термической обработки транспортируемого материала путем обеспечения выравнивания натяжения ленты по ширине.

Указанная цель достигается тем, что барабаны выполнены с наклоненными в сторону нроточек винтовыми канавками.

3 6913

На фиг. 1 изображен ленточный конвейер, общий вцд; на фиг. 2 — разрез А — А на фиг. 1; на фиг. 3 — схема действия сил в точке контактирования полотна ленты с выстуйом винтовой канавки барабана.

Конвейер содержит замкнутую грузонесущую ленту 1, натянутую на приводной 2 и натяжной 3 барабаны. Лента 1 выполнена из стек1 лоткани, армированной фторопластом (отвечающей по качеству требованиям полупровод. 1о пикового производства при термической обработке слоя фоторезиста)., По одному краю ленты 1 выполнена стальная полоска 4, на которой на разном расстоянии друг от друга имеются выступы 5 (металлические шипы). 15

На поверхностях природного 2 и натяжного 3 барабанов соответственно выступам 5 выполнены проточки 6. Кроме того, по всей поверхности каждого барабана выполнены наклоненные в сторону проточек винтовые канав- 2о ки, образующие выступы 7 и впадины 8. Натяжное средство конвейера выполнено в виде двух винтов 9, а привод осуществляется от мотор-редуктора 10.

При включении мотор-редуктора 10 барабаны 2 и 3 начинают вращаться. При этом в точках контактирования верхнего полотна лен-ты 1 возникает сила натяжения Р, составляющая которой — тангенциальная Pt направлена ЗО в противоположную сторону от металлических шипов 5. Налйчие указанных сил при работе конвейера обеспечивает натяжение ленты 1 на барабанах 2 и 3 по ширине, в результате

63 4 чего на полотне ленты 1 полностью отсутствуют неровности (гофры, складки). При гран. спортировании обрабатываемых иэделий, например, полупроводниковых пластин, изделия находятся в контакте с полотном грузонесушей ленты 1 всей своей поверхностью.

Использование данного ленточного конвейера, в частности, в установках инфракрасной конвейерной термообработки, предназначенных для сушки (задубливания) слоя фоторезиста, нанесенного на полупроводниковую пластину, обеспечивает одинаковый температурный режим в зоне обработки для всех обрабатываемых пластин, Формула изобретения

Ленточный конвейер, включающий приводной и натяжной барабаны с проточками на одном из краев, ленту с выступами, расположенными в проточках барабанов, о т л нч а ю ш и и с я тем, что, с целью повышения равномерности термической обработки транспортируемого материала путем обеспечения выравнивания натяжения ленты по ширине, барабаны выполнены с наклоненными в сторону проточек винтовыми канавками.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР Р 191406, кл. В 65 G 15/54, 1965.

2. Авторское свидетельство СССР И 249258, кл. В 65 6 15/42, 1968 (прототип).

691363

Составитель Г Ненахов

Техред З.Фанта

Корректор А, Гриценко

Редактор Г. Мозжечкова

Филиал ППП "Патент", r.. Ужгород, ул. Проектная, 4

Заказ 6132/13 Тираж 958 Йоднисное

ВНИКНИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская наб., д. 4/5