Органический проявитель для позитивных фоторезистов на основе нафтохинондиазидов

Органический проявитель для позитивных фоторезистов на основе нафтохинондиазидов

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Ресцублнк

<и 691799 (61) Дополнительное к авт. свид-ву— (gy) у )(2

G 03 С 5/30 (22) Заявлено 29.07.74 (21) 2050001/23-04 с присоединением заявки №(23) ПриоритетГосударственный «омнтет

СССР по делам изобретений и открытий (53) УДК 771.72 (088. 8) Опубликовано 151079. Бюллетень ¹ 38

Дата опубликования описания 15.1079 (54} ОРГАКИЧЕСКИИ ПРОЯВИТЕЛЬ ДЛЯ ПОЗИТИВНЫХ

ФОТОРЕЗИСТОВ HA ОСНОВЕ НАфТОХИНОНДИЛЗИДОВ

Изобретение касается проявителя рельефа на пленке позитивного фото-, резиста и может быть использовано в микроэлектронике, радиотехнике, полиграфии и других отраслях промьааленности .

Известен органический проявитель для позитивных фоторезистов на;, основе нафтохинондиазидов, включающий моноэтаноламин, триэтаноламин и воду (1).

Недостатком известного проявителя является плохая воспроизводимость результатов, малые скорость и контраст проявления, нестабильность, Цель изобретения заключается .в устранении указанных недостатков.

Поставленная цель достигается тем", что проявитель включает моноэтаноламин, триэтаноламин, воду и гликоль, например этиленгликоль, при следующем соотношении компонвн" тов, % об,:

Моноэтаноламин 15-18

Триэтаноламин 5- 7

Гликоль 32-40

Вода Остальное.

Проявитель позволяет точно и четко воспроизводить рисунок фотошаблона на слое фотореэиста, увеличивать время проявления до 1,5 мнн без ухудшения качества проявленного изображения и увелиЧивать контраст проявления до 70-80.

В таблицах приведены зависимости изменения .размеров элементов проявленного изображения от времени экс- . понирования и от времени проявления.

Табл. 1, 2 » для проявителя coc" тава, В об.:

Моноэтаноламин. 15

Триэтаноламин 5

Этиленгликоль . 35

Вода 45.

Табл. 3, 4 — для проявителя состава, Ъ об.:

Моноэтаноламин 18

Триэтаноламин .7

Этиленгликоль 40

Вода 35.

Во всех сЛучаях толщина слоя фоторе», эиста составляла 0,7 0,5 мкм время сушки слоя фоторезиста 15 мин> температура сушки 95 5 С; размер элемента на фотошаблоне 5,5 мкм. При определении зависимости, изменения размеров элемента проявленного изоб:ражения.от времени проявления время экспонирования составляло 2, 4 с при освещенности поля 102000i800 лк.

691799

5,52

5,50

5,55

5,54

5, 60.

35

5,68

5,65

5,75

45

6,00

5,85

6,16

6,02

60

6 18

6,34

6,51

75

6,63

5,50

80

3О

6,75

5,52

5,55

35

5,60

5,65

35

5,73

5 р50

5,79

5,, 3

5,83

40

5,60

5,95

5 66

6,03

5,75

6,08

5,85 6, 19

80 6,10 б., 26

1а

6,38

5,95

35

5,52

45

5,54

3

Таблица 1

5,72 5,80

Таблица 2

Таблица 350

5,52

5,60

5,75

5,82

6,25

6,36

Таблица 4

Таблица 5

Таблица 6

691799

Продолжение табл, 8

Продолжение табл. 6

5,56

5,54

55

5,60

5,56

5,65

5,60

65

5,73

5,65

5,78

5,82

5,90

5,73

60 75

5,78

70

5,82

5,99

5,90

6,10

80

5,99

6,20

6,10

Таблица 7

6,20

6,33

30 В табл. 5,6 приведены данные для проявителя состава,% об.:

Моноэтаноламин 15

Триэтаноламин 5

2,3-Бутиленгликоль 35

35 Вода Остальное.

Табл. 7,8 - для проявителя состава, В об.:

Моноэтаноламин

Триэтаноламин

40 2,5-гександиол

Вода

5,50

5,52

5,54

5,57

5,60

Формула изобретения

5,60

Органический проявитель для позитивных фоторезистов на.основе нафто : хинондиазидов, включающий моноэтаноламин, триэтаноламин и воду, о т л и ч а ю шийся тем, что, с целью повышения контраста, воспроизводимости результатов и технологической стабильности процесса проявления слоя фоторезиста, он дополнительно содержит гликоль при следующем соотношении компОнентов, Ъ об.:

Моноэтаноламин 15 - 18

Триэтаноламин 5 - 7

Гликоль 32 — 40

Вода Остальное.

Источники информации, принятые

gl во внимание при экспертизе

1. Пресс Ф. П. Электронная техника . Сер.2,У 1, 1970, с.175-181., Тираж 548, Подписное

5,85

6,00 6,15.

6,25

6,40

12

Таблица 8

5,50

35 5,52

Ф

IJHHHIIM Заказ 6210/36

Филиал ППП Патент, г. Ужгород, ул, Проектная, .4