Способ эллипсометрического контроля фазовой пластины

Патент 693176

Авторы

• ВАНЮРИХИН АЛЕКСАНДР ИВАНОВИЧ
• ГЕРЧАНОВСКАЯ ВИКТОРИЯ ПЕТРОВНА

---

Классы МПК

• G01N21 - Исследование или анализ материалов с помощью оптических средств, т.е. с использованием инфракрасных, видимых или ультрафиолетовых лучей (G01N 3/00-G01N 19/00 имеют преимущество; измерение механических напряжений вообще G01L 1/00; оптические элементы измерительных приборов G02B; анализ изображений путем обработки данных G06T)