Способ контроля дефектов диэлектрических пленок

Патент 693219

Авторы

• ГЛУХОВ АЛЕКСАНДР СЕРГЕЕВИЧ
• КОСОПЛЕТКИН АНАТОЛИЙ РОМАНОВИЧ

---

Классы МПК

• G01N27/46 - Исследование или анализ материалов с помощью электрических, электрохимических или магнитных средств (G01N 3/00-G01N 25/00 имеют преимущество; измерение переменных электрических или магнитных величин и исследование электрических или магнитных свойств материалов G01R)