Устройство для измерения вольтфарадных характеристик р-п переходов

Патент 693273

Авторы

• ГОЛОСОВ ЮРИЙ КОНСТАНТИНОВИЧ
• КРЫЛОВА МАРГАРИТА ВАСИЛЬЕВНА
• МИТРЯЕВ ВАЛЕРИЙ ГЕННАДИЕВИЧ

---

Классы МПК

• G01R31/26 - испытание отдельных полупроводниковых приборов (измерение содержания примесей G01N)
• H01L21/66 - испытания или измерения в процессе изготовления или обработки (после изготовления G01R 31/26)